專利名稱：一種硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械裝置，尤其涉及一種干燥既全面又徹底、成本較低的硅
片旋轉(zhuǎn)甩干裝置。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的裝置具有以下的不足之處1)干燥程度不徹底、不全面；2)成本較高、性價(jià)比不高。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型提供一種干燥既全面又徹底、成本較低的硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置。 本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是 —種硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置，包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸自上而下設(shè)有軸承、花籃，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設(shè)有一花籃。 所述軸承設(shè)于軸承座，所述花籃設(shè)于花籃托盤內(nèi)。
由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下的有益效果 干燥程度更加全面、更加徹底；制造成本更加低廉，性價(jià)比大大提升。

圖1是本實(shí)用新型的剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。 —種硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置，包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸自
上而下設(shè)有軸承、花籃，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設(shè)有一花籃。 所述軸承設(shè)于軸承座，所述花籃設(shè)于花籃托盤內(nèi)。 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于干燥程度更加全面、更加徹底；制造成本更加低廉，性價(jià)比大大提升。 顯然，本實(shí)用新型的上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明本實(shí)用新型所作的舉例，而并非是對本實(shí)用新型的實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。凡是屬于本實(shí)用新型的技術(shù)方案所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之列。
權(quán)利要求一種硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置，其特征在于包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸自上而下設(shè)有軸承、花籃，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設(shè)有一花籃。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置，其特征在于所述軸承設(shè)于軸承座，所述花籃設(shè)于花籃托盤內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械裝置，具體公開了一種硅片旋轉(zhuǎn)甩干裝置，包括一槽體，該槽體中心位置具有一旋轉(zhuǎn)軸，該旋轉(zhuǎn)軸自上而下設(shè)有軸承、花籃，所述旋轉(zhuǎn)軸的下端與一同步帶輪相連接，該同步帶輪上纏繞有同步帶，所述槽體的左方設(shè)有一花籃。所述軸承設(shè)于軸承座，所述花籃設(shè)于花籃托盤內(nèi)。本實(shí)用新型具有干燥更全面、更徹底，制造成本低、性價(jià)比高的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號F26B5/08GK201488476SQ200920150860
公開日2010年5月26日 申請日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者耿彪 申請人:耿彪