專利名稱：真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種真空爐的電極散熱結(jié)構(gòu)，屬于真空爐技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
真空爐是一種在真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備，其真空室通過真空泵抽成真空。真 空爐的一般結(jié)構(gòu)如圖1所示，真空室1用管道與真空泵系統(tǒng)聯(lián)接，變壓器4的次極(變壓器 4變壓后的輸出電壓為5V)兩端分別通過連接板5與兩個(gè)電極2連接，兩個(gè)電極2與真空 室1內(nèi)的石墨加熱床連接，工件放在石墨加熱床上加熱。由于加熱過程中電極2的溫度達(dá) 到100—20(TC ，產(chǎn)生大量的熱，使銅制電極2受熱伸長，因?yàn)檫B接板5是剛性的，銅制電極2 只能向上伸長，容易造成電極2與真空室1連接處的密封裝置6損壞，致使真空室1內(nèi)的真 空度下降，真空爐隨之失去應(yīng)有的性能。因此，真空爐都設(shè)有為電極2散熱的裝置。目前， 真空爐上電極2的散熱裝置是在電極2的外側(cè)纏繞有螺旋狀冷卻管3，冷水由冷卻管3的一 端進(jìn)入，由另一端流出，通過間接熱傳導(dǎo)將電極2產(chǎn)生的熱量由冷水帶走，達(dá)到電極2散熱 的目的。但是這種方式，由于是間接傳導(dǎo)散熱，散熱效果差，速度慢，而且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有真空爐電極散熱技術(shù)存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、散熱 效果好的真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)。 本實(shí)用新型的真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)采用下述技術(shù)方案 該真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)是將真空爐的電極鉆有一個(gè)盲孔，在該盲孔的開口處連接 有堵頭，堵頭上設(shè)有與盲孔連通的進(jìn)水管和出水管。 由進(jìn)水管向盲孔內(nèi)通入冷水，冷水與電極直接熱交換后由出水管排出。 本實(shí)用新型直接在電極上制作散熱結(jié)構(gòu)，省去了電極外側(cè)的螺旋狀冷卻管，簡化
了結(jié)構(gòu)，降低了成本，同時(shí)冷水與電極直接接觸熱交換，提高了散熱效率。

圖1是現(xiàn)有真空爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是本實(shí)用新型真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)的示意圖。 圖中1、真空室，2、電極，3、冷卻管，4、變壓器，5、連接板，6、密封裝置，7、堵頭，8、 進(jìn)水管，9、出水管，10、盲孔。
具體實(shí)施方式如圖2所示，本實(shí)用新型的真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)是將真空爐的電極2沿軸線鉆一 個(gè)深至底部的盲孔IO，在該盲孔10的開口處通過螺紋連接有一個(gè)堵頭7，堵頭7上設(shè)有與 盲孔10連通的進(jìn)水管8和出水管9，出水管9長至盲孔10的底部，進(jìn)水管8較短。 由進(jìn)水管8向盲孔10內(nèi)通入冷水，冷水與電極2直接熱交換后由出水管9排出。由于冷水與電極2直接接觸，提高了散熱效率。由于電極2的電壓為5V低壓，所以電極2 內(nèi)通入水后不會(huì)帶來安全隱患。
權(quán)利要求一種真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)，其特征是真空爐的電極鉆有一個(gè)盲孔，在該盲孔的開口處連接有堵頭，堵頭上設(shè)有與盲孔連通的進(jìn)水管和出水管。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)。該真空爐電極散熱結(jié)構(gòu)是將真空爐的電極鉆一個(gè)深至底部的盲孔，在該盲孔的開口處連接有堵頭，堵頭上設(shè)有與盲孔連通的進(jìn)水管和出水管。由進(jìn)水管向盲孔內(nèi)通入冷水，冷水與電極直接熱交換后由出水管排出。本實(shí)用新型直接在電極上制作散熱結(jié)構(gòu)，省去了電極外側(cè)的螺旋狀冷卻管，簡化了結(jié)構(gòu)，降低了成本，同時(shí)冷水與電極直接接觸熱交換，提高了散熱效率。
文檔編號F27D9/00GK201528432SQ200920252568
公開日2010年7月14日 申請日期2009年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月12日
發(fā)明者張立基, 趙仕慶, 馬玉水 申請人:山東高唐杰盛半導(dǎo)體科技有限公司