專利名稱：硅料專用烘箱及其移動(dòng)式硅料烘干專用物料架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料干燥技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及硅料烘干設(shè)備。
技術(shù)背景隨著半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)的不斷發(fā)展壯大，硅料的需求量越來越大。硅料的純度 對(duì)最終產(chǎn)品的質(zhì)量至關(guān)重要，有些硅料表面附帶有很多雜質(zhì)，對(duì)之必須用酸洗的方法將表 面雜質(zhì)去除，然后再進(jìn)行清洗。清洗過的硅料在投爐前須經(jīng)過烘干處理，以去除附著在硅料 上的水份。常規(guī)的方法是將硅料用周轉(zhuǎn)箱分裝好后，以疊加方式裝入普通烘箱中，加熱器設(shè) 置在料箱的下方，通電加熱進(jìn)行烘干處理，采用常規(guī)的底部加熱烘箱進(jìn)行烘干，位于底層的 硅料很快就烘干，而位于中上層的硅料則不易烘干，同時(shí)烘箱內(nèi)的水汽不易排出，烘箱內(nèi)的 溫度不易控制，硅料的受熱不均勻，硅料烘干效率低，能耗高，迫切需要高效節(jié)能型硅料專 用烘箱。為此申請(qǐng)人研制了一種硅料可分層烘干且物料架可自由移動(dòng)的硅料專用烘箱
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供了一種硅料專用烘箱及其移動(dòng)式硅料烘干專用物料架。它不僅烘 于效率高，能耗低，而且整箱硅料可直接移入烘箱中烘干，大幅度壓縮了工藝準(zhǔn)備時(shí)間，同 時(shí)能減輕操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是本實(shí)用新型所述硅料專用烘箱，包括保溫殼體、內(nèi)膽、通熱風(fēng)道、加熱器、循環(huán)風(fēng) 機(jī)、抽濕風(fēng)機(jī)、排濕管、濕度傳感器和溫度傳感器，內(nèi)膽置于保溫殼體內(nèi)，在內(nèi)膽的頂部設(shè)有 高溫氣體腔，高溫氣體腔由內(nèi)膽的頂部與保溫殼體的內(nèi)腔頂部圍合成，高溫氣體腔通過透 氣孔與內(nèi)膽的內(nèi)腔相通；所述通熱風(fēng)道由保溫殼體的內(nèi)腔與內(nèi)膽圍合而成，加熱器設(shè)置在 通熱風(fēng)道內(nèi)，通熱風(fēng)道通過透氣孔與內(nèi)膽的內(nèi)腔相通；在高溫氣體腔與通熱風(fēng)道之間裝有 循環(huán)風(fēng)機(jī)，抽濕風(fēng)機(jī)安裝在保溫殼體的頂部，抽濕風(fēng)機(jī)的吸風(fēng)口與內(nèi)膽的內(nèi)腔相通；在烘箱 的底部設(shè)有便于移動(dòng)式硅料烘干專用物料架進(jìn)出的導(dǎo)軌；在內(nèi)膽的內(nèi)腔中設(shè)有溫度傳感器 和濕度傳感器，加熱器由溫度傳感器控制，濕度傳感器控制整個(gè)烘箱。進(jìn)一步，所述通熱風(fēng)道由左風(fēng)道、右風(fēng)道、后風(fēng)道和下風(fēng)道組成，在左風(fēng)道、右風(fēng) 道、后風(fēng)道和下風(fēng)道中都設(shè)有加熱器，抽濕風(fēng)機(jī)通過排濕管與內(nèi)膽的內(nèi)腔相通。所述移動(dòng)式硅料烘干專用物料架，包括框架體、滾輪和由不銹鋼網(wǎng)板折制而成的 硅料箱，所述框架體由四根立柱和橫檔焊接成一體，橫檔沿立柱高度方向等間距地分布，在 每一根橫檔的上邊設(shè)有限位塊，所有橫檔上的相應(yīng)限位塊在豎直方向直線排列，硅料箱置 于橫檔上并由限位塊限位，框架體裝滿硅料箱后，形成多條橫向氣道和縱向氣道，滾輪安裝 在框架體的底部。由于在烘箱內(nèi)設(shè)置了由保溫殼體和內(nèi)膽圍合成的通熱風(fēng)道和溫濕氣體腔，溫濕氣 體腔設(shè)置在烘箱的內(nèi)頂部，通熱風(fēng)道設(shè)置在烘箱的內(nèi)側(cè)面，在通熱風(fēng)道中裝有加熱器，在內(nèi) 膽的三個(gè)內(nèi)側(cè)面上均勻地開設(shè)了透氣孔，循環(huán)風(fēng)機(jī)能迫使通熱風(fēng)道中的高溫?zé)釟鈴膬?nèi)膽的側(cè)面透氣孔中進(jìn)入內(nèi)膽內(nèi)，從物料架上縱橫氣道與硅料箱中硅料充分接觸，附著在硅料上 的水份被加熱汽化成水汽，由置于烘箱頂部的抽濕風(fēng)機(jī)將內(nèi)膽內(nèi)腔中的水汽抽出烘箱外， 而進(jìn)入溫濕氣體腔中高溫氣體則由循環(huán)風(fēng)機(jī)送入通熱風(fēng)道中實(shí)現(xiàn)熱氣循環(huán)使用。在烘干過 程中，由于在烘箱內(nèi)設(shè)置了濕度傳感器和溫度傳感器，加熱器由溫度傳感器控制，當(dāng)烘箱內(nèi) 的溫度低于預(yù)設(shè)溫度時(shí)，溫度傳感器即發(fā)出電信號(hào)，控制加熱器，確保烘箱內(nèi)的溫度穩(wěn)定預(yù) 定值；當(dāng)烘箱內(nèi)的濕度預(yù)定預(yù)定濕度時(shí)，說明硅料烘干已達(dá)到要求，濕度傳感器即發(fā)出電信 號(hào)，自動(dòng)關(guān)閉烘箱，反之烘箱則會(huì)正常烘干。這種硅料專用烘箱克服了現(xiàn)有普通烘箱存在的 缺點(diǎn)，循環(huán)風(fēng)機(jī)的設(shè)置，使得烘箱內(nèi)部的熱氣流能在烘箱內(nèi)形成回流，更便于熱氣流與置于 物料架上的硅料充分接觸。溫度傳感器和濕度傳感器的設(shè)立實(shí)現(xiàn)了硅料烘箱的自動(dòng)化控 制。移動(dòng)物料架能方便硅料的裝卸和進(jìn)出，節(jié)約烘干準(zhǔn)備時(shí)間，減輕操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度， 這種硅料專用烘箱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、熱氣運(yùn)行路徑暢通，更利于硅料的加熱與烘干，且能自動(dòng) 化控制，不僅能提高烘干效率，而且能大幅度降低能耗，人力成本低。

圖1、圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中A-A剖視圖。1-保溫殼體；2-內(nèi)膽；3-通熱風(fēng)道；4-加熱器；5-循環(huán)風(fēng)機(jī)；6-抽濕風(fēng)機(jī)；7_排 濕管；8-濕度傳感器；9-溫度傳感器；10-高溫氣體腔；13-透氣孔；14-導(dǎo)軌；15-物料 架；151-立柱；152-橫檔；153-硅料箱；154-限位塊；155-滾輪；31-左風(fēng)道；32-右風(fēng)道； 33-后風(fēng)道；34-下風(fēng)道。
具體實(shí)施方式
如附圖1、圖2所示，本實(shí)用新型所述硅料專用烘箱，包括保溫殼體1、內(nèi)膽2、通熱 風(fēng)道3、加熱器4、循環(huán)風(fēng)機(jī)5、抽濕風(fēng)機(jī)6、排濕管7、濕度傳感器8和溫度傳感器9，內(nèi)膽2置 于保溫殼體1內(nèi)，在內(nèi)膽2的頂部設(shè)有高溫氣體腔10，高溫氣體腔10由內(nèi)膽2的頂部與保 溫殼體1的內(nèi)腔頂部圍合成，高溫氣體腔10通過透氣孔13與內(nèi)膽2的內(nèi)腔相通；所述通熱 風(fēng)道3由保溫殼體1的內(nèi)腔與內(nèi)膽2圍合而成，它由左風(fēng)道31、右風(fēng)道32、后風(fēng)道33和下 風(fēng)道34組成，在左風(fēng)道31、右風(fēng)道32、后風(fēng)道33和下風(fēng)道34中都設(shè)有加熱器4，所有通熱 風(fēng)道3通過透氣孔13與內(nèi)膽2的內(nèi)腔相通；在高溫氣體腔10與通熱風(fēng)道3之間裝有循環(huán) 風(fēng)機(jī)5，即循環(huán)風(fēng)機(jī)5的進(jìn)風(fēng)口與高溫氣體腔10相通，出風(fēng)口與通熱風(fēng)道3相通；抽濕風(fēng)機(jī) 6安裝在保溫殼體1的頂部，抽濕風(fēng)機(jī)6通過排濕管7與內(nèi)膽2的內(nèi)腔相通；在烘箱的底部 設(shè)有便于移動(dòng)式硅料烘干專用物料架15進(jìn)出的導(dǎo)軌14 ；在內(nèi)膽2的內(nèi)腔中設(shè)有溫度傳感 器9和濕度傳感器8，加熱器4由溫度傳感器9控制，濕度傳感器8控制整個(gè)烘箱。所述移 動(dòng)式硅料烘干專用物料架15由框架體、滾輪和由不銹鋼網(wǎng)板折制而成的硅料箱組成，所述 框架體由四根立柱151和橫檔152焊接成一體，橫檔152沿立柱151高度方向等間距地分 布，在每一根橫檔152的上邊設(shè)有限位塊154，所有橫檔152上的相應(yīng)限位塊154在豎直方 向直線排列，硅料箱153置于橫檔152上并由限位塊154限位，框架體裝滿硅料箱153后， 形成多條橫向氣道和縱向氣道，滾輪155安裝在框架體的底部。
權(quán)利要求一種硅料專用烘箱，其特征是包括保溫殼體(1)、內(nèi)膽(2)、通熱風(fēng)道(3)、加熱器(4)、循環(huán)風(fēng)機(jī)(5)、抽濕風(fēng)機(jī)(6)、排濕管(7)、濕度傳感器(8)和溫度傳感器(9)，內(nèi)膽(2)置于保溫殼體(1)內(nèi)，在內(nèi)膽(2)的頂部設(shè)有高溫氣體腔(10)，高溫氣體腔(10)由內(nèi)膽(2)的頂部與保溫殼體(1)的內(nèi)腔頂部圍合成，高溫氣體腔(10)通過透氣孔(13)與內(nèi)膽(2)的內(nèi)腔相通；所述通熱風(fēng)道(3)由保溫殼體(1)的內(nèi)腔與內(nèi)膽(2)圍合而成，它由左風(fēng)道(31)、右風(fēng)道(32)、后風(fēng)道(33)和下風(fēng)道(34)組成，在左風(fēng)道(31)、右風(fēng)道(32)、后風(fēng)道(33)和下風(fēng)道(34)中都設(shè)有加熱器(4)，所有通熱風(fēng)道(3)通過透氣孔(13)與內(nèi)膽(2)的內(nèi)腔相通；在高溫氣體腔(10)與通熱風(fēng)道(3)之間裝有循環(huán)風(fēng)機(jī)(5)，即循環(huán)風(fēng)機(jī)(5)的進(jìn)風(fēng)口與高溫氣體腔(10)，出風(fēng)口與通熱風(fēng)道(3)相通；抽濕風(fēng)機(jī)(6)安裝在保溫殼體(1)的頂部，抽濕風(fēng)機(jī)(6)通過排濕管(7)與內(nèi)膽(2)的內(nèi)腔相通；在烘箱的底部設(shè)有便于移動(dòng)式硅料烘干專用物料架(15)進(jìn)出的導(dǎo)軌(14)；在內(nèi)膽(2)的內(nèi)腔中設(shè)有溫度傳感器(9)和濕度傳感器(8)，加熱器(4)由溫度傳感器(9)控制，濕度傳感器(8)控制整個(gè)烘箱。
2.權(quán)利要求1所述移動(dòng)式硅料烘干專用物料架(15)，其特征是它由框架體、滾輪和由 不銹鋼網(wǎng)板折制而成的硅料箱組成，所述框架體由四根立柱(151)和橫檔(152)焊接成一 體，橫檔(152)沿立柱(151)高度方向等間距地分布，在每一根橫檔(152)的上邊設(shè)有限位 塊(154)，所有橫檔(152)上的相應(yīng)限位塊(154)在豎直方向直線排列，硅料箱(153)置于 橫檔(152)上并由限位塊(154)限位，框架體裝滿硅料箱(153)后，形成多條橫向氣道和縱 向氣道，滾輪(155)安裝在框架體的底部。
專利摘要一種硅料專用烘箱及其移動(dòng)式硅料烘干專用物料架，包括保溫殼體、內(nèi)膽、高溫氣體腔、通熱風(fēng)道、加熱器、循環(huán)風(fēng)機(jī)、抽濕風(fēng)機(jī)、排濕管、濕度傳感器、溫度傳感器、框架體、滾輪和硅料箱，在內(nèi)膽的頂部設(shè)有高溫氣體腔，在內(nèi)膽周圍設(shè)有通熱風(fēng)道，在其中設(shè)有加熱器，在高溫氣體腔與通熱風(fēng)道之間裝有循環(huán)風(fēng)機(jī)，抽濕風(fēng)機(jī)與內(nèi)膽的內(nèi)腔相通；溫度傳感器和濕度傳感器的設(shè)立實(shí)現(xiàn)了硅料烘箱的自動(dòng)化控制，移動(dòng)物料架能方便硅料的裝卸和進(jìn)出，節(jié)約烘干準(zhǔn)備時(shí)間，它不僅烘干效率高，能耗低，而且整箱硅料可直接移入烘箱中烘干，大幅度壓縮了工藝準(zhǔn)備時(shí)間，同時(shí)能減輕操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度。
文檔編號(hào)F26B25/06GK201666715SQ20102002230
公開日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2010年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月20日
發(fā)明者蔣新民 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司