專利名稱：改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有擴(kuò)散爐設(shè)備，其工藝氣體直接從爐尾進(jìn)氣口進(jìn)入，工藝氣體分散效果差，最終 導(dǎo)致方阻均勻性較差。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是現(xiàn)有擴(kuò)散爐設(shè)備擴(kuò)散均勻性差。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò) 散爐，包括爐管，爐管上的進(jìn)氣口和尾氣管，在進(jìn)氣口設(shè)置氣流均勻分散器。具體地，氣流均勻分散器為石英材質(zhì)的平板，在平板上開有均勻分布的通氣孔。本實(shí)用新型的有益效果是由于現(xiàn)有擴(kuò)散設(shè)備在擴(kuò)散過程中，工藝氣體直接從爐 管尾進(jìn)氣口進(jìn)入爐管，沒有分散，造成爐管內(nèi)氣流不均勻，最終造成擴(kuò)散后方阻均勻性較 差。通過在爐尾進(jìn)氣口添加勻流器，可以有效地改善氣流均勻性，最終達(dá)到方阻均勻性改善 的效果。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明；


圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的氣流均勻分散器的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1.爐管，2.進(jìn)氣口，3.尾氣管，4.氣流均勻分散器，5.通氣孔。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附
圖1和2對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示 意圖，僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。如
圖1所示，一種改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐，包括爐管1，爐管1上的進(jìn)氣口 2 和尾氣管3，在進(jìn)氣口 2設(shè)置氣流均勻分散器4。如圖2所示，氣流均勻分散器4為石英材 質(zhì)的平板，在平板上開有均勻分布的通氣孔5。攜帶磷源的小氮?dú)饬魍ㄟ^氣流均勻分散器4 均勻分散，最終達(dá)到改善方阻均勻性的效果。
權(quán)利要求1.一種改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐，包括爐管(1)，爐管(1)上的進(jìn)氣口(2)和尾氣 管(3)，其特征是在所述的進(jìn)氣口( 設(shè)置氣流均勻分散器G)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐，其特征是所述的氣流均勻 分散器(4)為石英材質(zhì)的平板，在平板上開有均勻分布的通氣孔(5)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種改善擴(kuò)散方阻均勻性的擴(kuò)散爐，它包括爐管，爐管上的進(jìn)氣口和尾氣管，在進(jìn)氣口設(shè)置氣流均勻分散器。由于現(xiàn)有擴(kuò)散設(shè)備在擴(kuò)散過程中，工藝氣體直接從爐管尾進(jìn)氣口進(jìn)入爐管，沒有分散，造成爐管內(nèi)氣流不均勻，最終造成擴(kuò)散后方阻均勻性較差。通過在爐尾進(jìn)氣口添加勻流器，可以有效地改善氣流均勻性，最終達(dá)到方阻均勻性改善的效果。
文檔編號(hào)F27B17/00GK201852445SQ20102054774
公開日2011年6月1日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者蔣文曲 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司