專利名稱：紅外線爐系統(tǒng)的制作方法
紅外線爐系統(tǒng)
背景技術(shù)：
太陽(yáng)能電池或光伏電池通過(guò)將導(dǎo)電墨水以所需圖案沉積在太陽(yáng)能電池晶片的頂部和底部上而被制造。晶片在爐系統(tǒng)中被以熱的方式處理以使導(dǎo)電墨水變干燥并且燃燒掉粘合劑及其它材料，然后點(diǎn)燃所述材料以在晶片表面上形成金屬化圖案。用于這種金屬化過(guò)程的爐系統(tǒng)典型地采用紅外線加熱以提供處理晶片所需要的快速熱處理。一般可以認(rèn)為已知的晶片燃燒爐的特征在于包括三個(gè)區(qū)段位于晶片在該處被裝入爐中的入口處的干燥區(qū)、通常被認(rèn)為是中間區(qū)的燃盡區(qū)/點(diǎn)燃區(qū)、以及位于端部處并具有晶片從該處被移除的出口的冷卻區(qū)段。在許多晶片燃燒爐中，被用于處理晶片通過(guò)區(qū)段的傳送帶通常是單一帶的結(jié)構(gòu)，其中相同的帶根據(jù)帶的部分所位于的區(qū)段而經(jīng)受不同的溫度。然而，帶有貫穿其整個(gè)長(zhǎng)度的單一傳送帶的爐提供的處理只具有一個(gè)速率以用于使晶片通過(guò)系統(tǒng)。因此，所述單一速率限制了在晶片在傳送帶上穿過(guò)爐時(shí)由晶片經(jīng)歷的熱曲線。如果必須改變晶片在爐的一個(gè)區(qū)段內(nèi)所花費(fèi)的時(shí)間量，那么皮帶速度必須被提高或降低，這然后也改變了晶片在系統(tǒng)的另一個(gè)區(qū)段中經(jīng)歷的持續(xù)時(shí)間。已知通過(guò)以相比于在爐的另一個(gè)區(qū)域中的速度提高的速度來(lái)運(yùn)行第二傳送帶，第二傳送帶和驅(qū)動(dòng)器可以置于爐的燃盡區(qū)/點(diǎn)燃區(qū)中，以便在不降低最高溫度的情況下縮短溫度峰值的持續(xù)時(shí)間。然而，設(shè)置第二帶引起一些問(wèn)題，例如如何在不損壞處理中的晶片的情況下，從以不同速度運(yùn)行的帶、即比當(dāng)前的帶相對(duì)較慢或較快的帶上接收晶片，或者傳輸晶片到所述帶上。所需要的是一種晶片處理爐，其提供用于更改爐的各個(gè)區(qū)段中的熱曲線的靈活性，以使得每個(gè)爐節(jié)段都可以單個(gè)地被調(diào)整，而不會(huì)不利地影響另一個(gè)爐區(qū)段。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，紅外線爐系統(tǒng)包括多個(gè)區(qū)段，例如干燥、燃盡/點(diǎn)燃和冷卻的區(qū)段，每個(gè)區(qū)段都具有獨(dú)立的傳送帶以使得工件可以以與工件穿過(guò)任何其它區(qū)段可能具有的速率不同的速率穿過(guò)相應(yīng)的區(qū)段。有利地，本發(fā)明的紅外線爐允許調(diào)整工件在爐的相應(yīng)區(qū)段中花費(fèi)的時(shí)間的量，同時(shí)使占據(jù)面積、即爐使用的占地空間的量最小化。調(diào)整駐留時(shí)間允許用于優(yōu)化每個(gè)區(qū)段的所需的熱持續(xù)期，這然后也使得在每個(gè)區(qū)段內(nèi)的加熱和 /或冷卻曲線最優(yōu)化。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，設(shè)有傳輸傳送帶以將工件從工作于第一速度下的一個(gè)傳送帶傳輸?shù)焦ぷ饔诘诙俣认碌牡诙魉蛶?，其中所述第二速度不同于第一速度?傳輸傳送帶通過(guò)防止工件在各個(gè)帶以彼此不同的速度行進(jìn)的位置處位于兩個(gè)不同的傳送帶上來(lái)防止工件受損壞。設(shè)有滾子以支撐工件和保持工件如其被移動(dòng)到下一個(gè)區(qū)段的適當(dāng)?shù)亩ㄏ颉１景l(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式提供了加熱燈支撐件或觸發(fā)器組件，其為加熱燈提供電力并且便于更換和替換加熱燈。觸發(fā)器支撐件包括彼此聯(lián)接的觸發(fā)器支撐件前面板部分和觸發(fā)器支撐件后部分。多個(gè)觸發(fā)器箱體(pods)被限定在觸發(fā)器支撐件后部分中。觸發(fā)器支撐件提供觸發(fā)器箱體以接收相應(yīng)的觸發(fā)器。觸發(fā)器包括燈連接器，其通過(guò)相應(yīng)的觸發(fā)器開(kāi)口伸出以與相應(yīng)的燈接觸。觸發(fā)器通過(guò)內(nèi)部彈簧被保持就位。當(dāng)觸發(fā)器沿與彈簧的力相反的方向被拉動(dòng)時(shí)，相應(yīng)的加熱燈被脫開(kāi)并且可以被移除或更換。在又一個(gè)實(shí)施方式中，爐包括具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第一區(qū)段；具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第二區(qū)段；以及具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第三區(qū)段。第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括設(shè)于相應(yīng)的至少一個(gè)產(chǎn)品傳送帶上方或下方的一系列燈，其中每個(gè)燈都包括位于第一端部端子和第二端部端子之間的細(xì)長(zhǎng)管狀部位；第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括用于冷卻燈的端部端子的燈冷卻系統(tǒng)。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，過(guò)程氣體通過(guò)設(shè)置在爐的區(qū)域之間的排氣支柱被移除。排氣支柱被設(shè)置在傳送帶的上方和下方并且?guī)椭薅ú煌瑓^(qū)域的輪廓。每個(gè)排氣支柱包括排氣管，其用于使過(guò)程氣體從區(qū)域中通氣排出。排氣管可以包括上排氣管和下排氣管。上下排氣管輸入到與排氣塔聯(lián)接的文丘里管區(qū)段中。每一個(gè)上下排氣管都具有沿其定位的多個(gè)孔，以便將要被通氣到系統(tǒng)外部的氣體抽吸進(jìn)來(lái)。用于提供抽吸力來(lái)抽吸處理過(guò)的氣體離開(kāi)區(qū)域的機(jī)構(gòu)包括插入在文丘里管區(qū)段的側(cè)壁中的直角高壓管。壓縮接頭與高壓管的遠(yuǎn)端聯(lián)接，并且空氣噴嘴與壓縮接頭聯(lián)接。在運(yùn)行中，大約SOpsi的高壓空氣被提供進(jìn)入高壓管的近端并且從空氣噴嘴被排出。由于文丘里效應(yīng)，因此這在從空氣噴嘴出來(lái)的空氣后面建立了一個(gè)抽吸并且導(dǎo)致空氣通過(guò)孔被吸入。有利地，在這一空氣壓力水平下使用空氣噴嘴提供了空氣的充分運(yùn)動(dòng)，大約為大致71立方英尺/分鐘。


通過(guò)結(jié)合附圖參考以下描述，可以更好地理解本發(fā)明的實(shí)施方式，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的紅外線爐系統(tǒng)的框圖；圖2是如圖1所示的紅外線爐系統(tǒng)的剖視圖；圖3-6是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的傳輸傳送帶的各種視圖；圖7和8是在傳輸傳送帶上行進(jìn)的晶片的各種視圖；圖9和10是滾子的不同實(shí)施方式的視圖；圖11-13是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的爐的區(qū)段的橫截面視圖；圖14是通過(guò)線J-J截取的圖11的橫截面視圖；圖15是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的排氣系統(tǒng)；圖16是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的方法；圖17是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的用于保持加熱燈的端部的溫度的透視圖；圖18是如圖17所示的實(shí)施方式的交替的視圖；圖19是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的觸發(fā)器支撐件的透視圖；圖20是如圖19所示的觸發(fā)器支撐件的側(cè)視圖；圖21是如圖19所示的觸發(fā)器支撐件的頂視圖；圖22是安裝在觸發(fā)器支撐件中的燈觸發(fā)器的透視圖23是燈觸發(fā)器的分解視圖；圖M是如圖22所示安裝在觸發(fā)器支撐件中的燈觸發(fā)器的頂視圖；圖25是在用于支撐燈的位置安裝在觸發(fā)器支撐件中的燈觸發(fā)器的側(cè)視圖；圖沈是在觸發(fā)器支撐件內(nèi)位于其退回位置中的燈觸發(fā)器的側(cè)視圖；圖27是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的帶有偏置燈絲的加熱燈的視圖；圖觀是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的U形加熱燈的視圖；以及圖四是本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式的視圖。將可理解的是，為了視圖的簡(jiǎn)單和清楚起見(jiàn)，附圖中示出的元件并不一定精確地或按比例地繪制。例如，一些元件的尺寸可能相對(duì)于其它元件放大以便于清楚，或者多個(gè)物理構(gòu)件可以包括在一個(gè)功能塊或元件中。此外，在認(rèn)為適當(dāng)時(shí)，附圖標(biāo)記可以在多個(gè)附圖中間重復(fù)以表示相應(yīng)的或類似的元件。此外，在附圖中示出的一些區(qū)塊可以結(jié)合成單個(gè)功能。
具體實(shí)施例方式在下面的詳細(xì)說(shuō)明中，給出了多個(gè)詳細(xì)的細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的徹底的理解。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解的是，本發(fā)明的這些實(shí)施方式可以在沒(méi)有一些細(xì)節(jié)的情況下實(shí)踐。在其它情況下，公知的方法、過(guò)程、構(gòu)件和結(jié)構(gòu)可以不被詳細(xì)描述，以便不使本發(fā)明的實(shí)施方式模糊。如將在下面更詳細(xì)地描述的那樣，根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式，紅外線爐系統(tǒng)提供了一種系統(tǒng)，其允許調(diào)整晶片在爐的相應(yīng)區(qū)段中花費(fèi)的時(shí)間的量，而同時(shí)使占據(jù)面積、即使?fàn)t使用的占地空間的量最小化。有利地，本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式允許優(yōu)化每個(gè)區(qū)段的所需的熱持續(xù)期，這然后也使得在每個(gè)區(qū)段內(nèi)的加熱和/或冷卻曲線最優(yōu)化。將可理解的是，本發(fā)明的應(yīng)用不限于在以下描述中所闡述的或在附圖中所示出的構(gòu)件的結(jié)構(gòu)和布置的細(xì)節(jié)。本發(fā)明能夠被實(shí)施為其它實(shí)施方式或以多種方式被實(shí)踐或執(zhí)行。并且，將可理解的是，在此使用的措辭和術(shù)語(yǔ)是用于描述的目的并且不應(yīng)該被認(rèn)為是限制。此外，為了清楚在分開(kāi)的實(shí)施方式的上下文中描述的本發(fā)明的某些特征也可以在單一的實(shí)施方式中以結(jié)合的方式提供。相反地，為了簡(jiǎn)潔在單一的實(shí)施方式的上下文中描述的本發(fā)明的各個(gè)特征也可以被分開(kāi)提供或以任何適當(dāng)?shù)淖咏Y(jié)合提供。根據(jù)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式，爐設(shè)有多個(gè)帶。在一個(gè)實(shí)施方式中，爐的每一個(gè)區(qū)段設(shè)置一個(gè)帶。使?fàn)t設(shè)有多個(gè)帶允許調(diào)整工件、例如太陽(yáng)能電池晶片在爐的每個(gè)區(qū)段中花費(fèi)的時(shí)間的量的前述靈活性，因?yàn)橄鄳?yīng)傳送帶的速度可以單個(gè)地調(diào)整。此外，在一個(gè)區(qū)段中的傳送帶網(wǎng)目尺寸可以不同于另一個(gè)區(qū)段的網(wǎng)目尺寸，由此允許改善每個(gè)區(qū)段的加熱或冷卻能力或者空氣流。此外，本發(fā)明的實(shí)施方式提供晶片從一個(gè)傳送帶到下一個(gè)傳送帶的安全和可靠的傳輸，同時(shí)在晶片從一個(gè)帶到下一個(gè)帶過(guò)渡時(shí)保持晶片的適當(dāng)?shù)膶?duì)齊，因?yàn)樵诰瑥囊粋€(gè)帶到下一個(gè)帶過(guò)渡時(shí)，通過(guò)移除晶片可能蓄積的任何旋轉(zhuǎn)誤差來(lái)使晶片被重新對(duì)齊。通過(guò)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式可以獲得的這些優(yōu)點(diǎn)連同其它優(yōu)點(diǎn)將在下面更詳細(xì)地描述。將可理解的是，在此討論的方法和裝置的各個(gè)實(shí)施方式并不將其應(yīng)用限于在以下描述中所闡述的或在附圖中所示出的構(gòu)件或步驟的結(jié)構(gòu)和布置的細(xì)節(jié)。方法和裝置能夠通過(guò)以各種方式被實(shí)踐或被執(zhí)行的其它實(shí)施方式實(shí)施。特定的實(shí)施方式或?qū)嵗氖纠诖吮惶峁﹥H用于說(shuō)明性的目的而不意在限制。與任何一個(gè)實(shí)施方式結(jié)合討論的特定動(dòng)作、元件和特征都并不意在從任何其它實(shí)施方式中的類似元素中排除。并且，在此使用的措辭和術(shù)語(yǔ)是用于描述的目的并且不應(yīng)該被認(rèn)為是限制。“包括”、“包含”、“具有”、“含有”、“涉及”及其變化形式在此的使用意思是涵蓋此后所列的項(xiàng)目及其等同元素，以及補(bǔ)充的項(xiàng)目。現(xiàn)在參考圖1，紅外線爐系統(tǒng)100包括干燥區(qū)段102、燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104和冷卻區(qū)段106，它們一般地按照已知的那樣相繼串聯(lián)地布置。第一傳輸區(qū)段108位于干燥器區(qū)段 102和燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104之間。第二傳輸區(qū)段110位于燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104和冷卻區(qū)段 106之間。如圖2所示，干燥器傳送帶202設(shè)置在干燥器區(qū)段102內(nèi)，燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204 設(shè)置在燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104內(nèi)，并且冷卻傳送帶206設(shè)置在冷卻區(qū)段106內(nèi)。第一傳輸傳送帶208設(shè)置在第一傳輸區(qū)段108中，并且第二傳輸傳送帶210設(shè)置在第二傳輸區(qū)段110中。在運(yùn)行中，例如為太陽(yáng)能電池晶片的待處理的物品被提供至干燥器區(qū)段102的入口并且由干燥器傳送帶202傳輸通過(guò)干燥器區(qū)段102。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，一個(gè)或多個(gè)紅外線平板加熱器設(shè)于干燥器區(qū)段102的上部分中。這些紅外線平板加熱器沿著干燥器區(qū)段102的長(zhǎng)度設(shè)置，并且通常干燥器傳送帶202在下面或在它們之間經(jīng)過(guò)。在一個(gè)實(shí)施方式中，紅外線平板加熱器可以具有玻璃陶瓷表面，并且紅外線加熱元件可以設(shè)于玻璃陶瓷表面上方以使得玻璃陶瓷表面位于晶片和紅外線加熱元件之間。所述裝置類似于燃燒器位于玻璃“下面”或后面的玻璃頂爐灶。有利地，這些平板加熱器提供均勻的紅外線輻射穿過(guò)干燥器區(qū)段102的整個(gè)寬度和長(zhǎng)度。玻璃陶瓷表面設(shè)置得相對(duì)容易從其中清潔塵土或殘?jiān)８稍锲鲄^(qū)段102的底部部分可以包括滴落托盤，其收集在晶片被加熱時(shí)從晶片上滴落的殘?jiān)４送?，在一個(gè)實(shí)施方式中，不銹鋼面板襯墊腔室的內(nèi)部，工件被傳輸通過(guò)所述腔室以便于清潔。在干燥器區(qū)段102的末端，工件或晶片通過(guò)第一傳輸傳送帶208的運(yùn)行從干燥器傳送帶202被傳輸?shù)饺急M/點(diǎn)燃傳送帶204。在一個(gè)實(shí)施方式中，有時(shí)被稱作“點(diǎn)燃處理”區(qū)段的燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104包括設(shè)置在上下區(qū)段中的每一個(gè)中以用于加熱工件的一系列紅外線加熱燈，所述工件由燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204傳輸通過(guò)燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104。燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104可以具有不同的區(qū)域，由此提供多區(qū)域運(yùn)行，其中不同的區(qū)域具有不同的溫度，其可以根據(jù)所需要的處理為工件提供溫度曲線。當(dāng)工件已經(jīng)到達(dá)燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104的端部時(shí)，其通過(guò)第二傳輸傳送帶210的運(yùn)行從燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204被傳輸?shù)嚼鋮s傳送帶206。在冷卻區(qū)段106內(nèi)，工件的溫度在這樣的受控處理下被降低到稍微高于室溫。類似于燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104，冷卻區(qū)段106可以具有設(shè)定在不同溫度下的各個(gè)區(qū)域，其在工件穿過(guò)時(shí)為工件提供預(yù)限定的冷卻曲線。然后完工件在冷卻傳送帶206的端部被取走以用于后-爐處理，所述處理在此沒(méi)有必要描述。一般地，每個(gè)傳輸傳送帶208、210運(yùn)行以將晶片從一個(gè)爐區(qū)段的傳送帶運(yùn)送到下一個(gè)相鄰爐區(qū)段的傳送帶。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，在任何給定的系統(tǒng)中所需要的傳輸傳送帶的數(shù)量是分開(kāi)的區(qū)段的數(shù)量的函數(shù)，其中工件在所述分開(kāi)的區(qū)段之間被運(yùn)送。因此，帶有三個(gè)區(qū)段的爐在此被描述為有兩個(gè)傳輸傳送帶在運(yùn)行中，這僅僅用于說(shuō)明的原因而并非意在限制。因此，干燥器傳送帶202、第一傳輸傳送帶208和燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204的運(yùn)行將描述為系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的運(yùn)行的一個(gè)示例。如圖3所示，第一傳輸傳送帶208包括多個(gè)傳輸軸306-1……306-6，它們沿著由箭頭T代表的行進(jìn)方向間隔開(kāi)。在一個(gè)實(shí)施方式中， 干燥器傳送帶202由干燥器傳送帶驅(qū)動(dòng)器302驅(qū)動(dòng)，燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204由燃盡/點(diǎn)燃傳送帶驅(qū)動(dòng)器304驅(qū)動(dòng)。每一個(gè)傳輸軸306-n都具有安裝在其上的兩個(gè)傳輸滾子308-1、 308-2，它們被設(shè)定尺寸和間隔開(kāi)以接收在系統(tǒng)內(nèi)被傳輸?shù)木蚬ぜ?。滾子可以包括帶有特富龍《籠的陶瓷軸承以提供工件的較好的“自由旋轉(zhuǎn)”和運(yùn)動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，在每個(gè)傳輸軸306-n上傳輸滾子308_1、308_2之間的距離可以依據(jù)被處理的晶片被調(diào)整。備選地，傳輸滾子308之間的間隔可以固定，而整個(gè)傳輸軸306-n由傳輸滾子308之間具有不同間隔的傳輸軸306_n替換。傳輸滾子308可在相應(yīng)的傳輸軸306上自由地旋轉(zhuǎn)。在沒(méi)有晶片被傳輸滾子308支撐的情況下，傳輸滾子308 以與它們安裝在其上的傳輸軸306相同的速率旋轉(zhuǎn)，僅僅被轉(zhuǎn)動(dòng)慣量和傳輸滾子308的軸承固有的摩擦力驅(qū)動(dòng)。傳輸滾子308被允許自由旋轉(zhuǎn)，以使得當(dāng)例如為晶片的工件從一個(gè)速度下的滾子移到另一個(gè)速度下的滾子時(shí)，兩個(gè)滾子都不會(huì)抵靠晶片的底表面旋轉(zhuǎn)而導(dǎo)致磨損。滾子和晶片之間的摩擦力足夠克服被動(dòng)地驅(qū)動(dòng)滾子的慣性，以使得滾子將加快或者減慢來(lái)匹配晶片的速度。當(dāng)更多那些滾子接觸到晶片的底表面時(shí)，晶片慢慢地加速/減速到第二組滾子的速度。如圖3所示，最接近于干燥器傳送帶202的傳輸軸306-1、306-2和306-3由第一帶 310驅(qū)動(dòng)以便以與干燥器傳送帶202的鏈輪相同的速率旋轉(zhuǎn)，其中所述干燥器傳送帶202將晶片供給到第一傳輸傳送帶208。最接近于燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204的傳輸軸306-4、306-5 和306-6由第二帶312驅(qū)動(dòng)以便以與燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204的鏈輪相同的速率旋轉(zhuǎn)，其中所述燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204將接收晶片或工件。現(xiàn)在參考圖4，在晶片的相反端具有成角度的側(cè)邊緣的大致矩形的晶片402位于干燥器傳送帶202上。如圖所示，晶片402將沿方向A朝向第一傳輸傳送帶208的傳輸軸 306運(yùn)動(dòng)，如箭頭A所表示的那樣。傳輸滾子308被設(shè)定形狀為在晶片402沿著傳送帶路徑從干燥器傳送帶202朝向燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204行進(jìn)時(shí)，保持晶片402對(duì)齊，或者如果必要的話，使晶片402重新對(duì)齊。傳輸滾子308的形狀將在下面更詳細(xì)地描述。如圖5所示，在晶片402變得歪斜或以其它方式被錯(cuò)誤地放置在傳送帶202上的情況下，當(dāng)晶片402到達(dá)傳輸軸306的傳輸滾子308時(shí)，晶片402將變得筆直。當(dāng)滾子308 接觸晶片402的拐角時(shí)，晶片402的重新對(duì)齊將會(huì)出現(xiàn)。結(jié)果，參考圖6，通過(guò)隨后的傳輸軸306-4、306-5和306-6的運(yùn)行，晶片402現(xiàn)在在第一傳輸傳送帶208內(nèi)將被適當(dāng)?shù)囟ㄏ蛞杂糜趥鬟f到燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204上。如上所述，較接近相鄰傳送帶定位的傳輸軸306由與相鄰傳送帶的傳動(dòng)裝置連接的鏈輪驅(qū)動(dòng)，以使得傳輸軸以與相鄰傳送帶的軸相同的速率旋轉(zhuǎn)，從而提供相同的線速度。 當(dāng)傳輸滾子308可在它們的相應(yīng)的軸上自由旋轉(zhuǎn)時(shí)，晶片沿著傳輸區(qū)段移動(dòng)并且以隨后接收的傳送帶的速度被運(yùn)送到相鄰傳送帶上。
傳輸滾子由適當(dāng)?shù)牟牧现瞥梢圆粫?huì)損壞晶片的碰觸表面。典型地，這些材料是耐熱塑料，例如PEI。為了說(shuō)明的目的已經(jīng)示出了多個(gè)傳輸軸306和傳輸滾子308。然而，應(yīng)當(dāng)指出的是，沿著任何傳輸傳送帶的行進(jìn)路徑都應(yīng)該設(shè)置充足數(shù)量的傳輸軸306，以使得晶片402在其從一個(gè)傳送帶移到下一個(gè)時(shí)完全靠置在傳輸滾子308上。換句話說(shuō)，應(yīng)該設(shè)置充足數(shù)量的軸306，以使得晶片402不會(huì)同時(shí)接觸兩個(gè)傳送帶，從而不會(huì)由于兩個(gè)傳送帶之間速度的差異而損壞晶片402。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解的是，盡管干燥器傳送帶202和燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204 每一個(gè)都被示出為由帶傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)，但應(yīng)當(dāng)理解的是也可以使用替換的機(jī)構(gòu)以用于驅(qū)動(dòng)傳送帶。這包括但不限于位于開(kāi)式回路或反饋控制上的齒輪和單獨(dú)的伺服控制馬達(dá)。此外，通過(guò)齒輪、與所述馬達(dá)同步的單個(gè)馬達(dá)的運(yùn)行或相應(yīng)傳送帶的運(yùn)行，或者通過(guò)任何一個(gè)或多個(gè)其它已知和等同的機(jī)構(gòu)，傳輸軸可以被控制以相對(duì)于它們的相應(yīng)傳送帶運(yùn)行。傳輸滾子308被設(shè)定形狀為使得沿著傳輸傳送帶行進(jìn)的晶片402保持對(duì)齊或重新對(duì)齊。如圖7所示，傳輸滾子308具有斜坡表面或凹表面502，其用于在晶片在其行進(jìn)中未對(duì)齊的情況下使晶片402在滾子308上居中。如圖所示，當(dāng)晶片402到達(dá)傳輸傳送帶區(qū)段并且其不筆直、即其歪斜時(shí)，或當(dāng)晶片的中心平面不平行于傳送帶的中心平面時(shí)，傳輸滾子 308將接觸晶片拐角并且使晶片重新對(duì)齊。由此，如圖7所示，未對(duì)齊的晶片402將通過(guò)傳輸滾子308的運(yùn)行變得筆直以獲得如圖8中所示定向的晶片402。當(dāng)晶片在其接近傳輸滾子308的時(shí)候側(cè)向地或旋轉(zhuǎn)地偏置時(shí)，晶片402將被強(qiáng)制遠(yuǎn)離傳輸滾子308的較高的點(diǎn)，這引起晶片運(yùn)動(dòng)退回到傳送帶的中心。結(jié)果，每個(gè)傳輸傳送帶將會(huì)安全地運(yùn)送晶片402從一個(gè)爐區(qū)段傳送帶到可以以相同的或不同的速度行進(jìn)的下一個(gè)爐區(qū)段傳送帶。作為一個(gè)典型示例，并且為了更好地理解帶的相對(duì)速度，干燥器區(qū)段的傳送帶可以以120英寸每分鐘(ipm)的速度移動(dòng)，并且燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段的傳送帶可以具有 240ipm的速度。此外，冷卻區(qū)段的傳送帶可以具有120ipm的速度。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，晶片402可能相對(duì)傳送帶的中心向左或向右地偏離中心高達(dá)約四分之一英寸，逐漸變細(xì)的傳輸滾子將通過(guò)使晶片402在傳送帶上重新居中來(lái)使晶片402重新對(duì)齊，并且同時(shí)校正傳送帶可能已經(jīng)經(jīng)歷的由于晶片402沿著傳送帶的長(zhǎng)度行進(jìn)而引起的任何旋轉(zhuǎn)誤差。備選地，傳輸軸306可以包括單塊材料，其被配置為提供與傳輸滾子308-1、308_2 提供的支撐類似的支撐。傳輸軸306的示例僅僅用于解釋性的目的，而并非相反地意在限制。在本發(fā)明的備選實(shí)施方式中，可以設(shè)有具有平坦輪廓的傳輸滾子350，如圖9所示。此外，現(xiàn)在參考圖10，可以設(shè)有錐形滾子352。在此，錐形滾子352可以被稱作具有“狗骨”形狀。平坦?jié)L子350或狗骨滾子352可以被設(shè)定尺寸為如將被運(yùn)送經(jīng)過(guò)它的工件那么寬。在平坦?jié)L子350的情況下，可能不存在在工件移動(dòng)越過(guò)時(shí)使其變得筆直的需要，而備選地，狗骨滾子352則可以提供與如上所述類似的這種定向功能。如圖11所示，燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104包括用于將過(guò)程氣體引入燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104 的頂側(cè)中的過(guò)程氣體入口 602-1以及用于將過(guò)程氣體輸入燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104的底側(cè)的第二過(guò)程氣體入口 602-2。燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204移動(dòng)晶片402通過(guò)燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104，晶片402在該處暴露于由多個(gè)紅外線加熱燈604提供的紅外線熱量下。每個(gè)頂加熱燈604 包括帶有加熱元件在內(nèi)部的細(xì)長(zhǎng)石英管。這些都為本領(lǐng)域技術(shù)人員所已知，并且不需要在此更詳細(xì)地描述。所述燈橫向于帶的行進(jìn)方向被布置，因此在圖11、12和13中被示出為 “進(jìn)入”附圖所在頁(yè)面。燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104可以包括子區(qū)域606，IR加熱燈604在其中被設(shè)定為運(yùn)行在不同溫度下，由此在晶片402通過(guò)燃盡/點(diǎn)燃傳送帶204向前移動(dòng)時(shí)為晶片 402提供特定的溫度曲線。氣體被引導(dǎo)通過(guò)設(shè)置在爐殼體中的多個(gè)槽縫603以便移動(dòng)經(jīng)過(guò) IR加熱燈604。過(guò)程氣體在移動(dòng)經(jīng)過(guò)頂加熱燈604時(shí)通過(guò)頂加熱燈604被加熱，而同時(shí)通過(guò)被吹動(dòng)經(jīng)過(guò)頂加熱燈604的氣體的運(yùn)行冷卻頂加熱燈604。為了移除過(guò)程氣體，排氣支柱610被設(shè)置在每一個(gè)區(qū)域606之間。排氣支柱610 被設(shè)置在傳送帶204的上方和下方并且?guī)椭薅ú煌瑓^(qū)域606的輪廓。每個(gè)排氣支柱610 包括排氣管612，其用于使過(guò)程氣體從區(qū)域606中通氣排出?，F(xiàn)在參考圖14，其中示出了沿線J-J截取的如圖11所示的系統(tǒng)的部分橫截面視圖。如圖14所示，傳送帶204現(xiàn)在被示出為行進(jìn)進(jìn)入附圖所在頁(yè)面中。在一個(gè)實(shí)施方式中， 排氣管612包括上排氣管612U和下排氣管612L。上下排氣管612U和612L輸入到與排氣塔620聯(lián)接的文丘里管區(qū)段618中。每一個(gè)上下排氣管612U、612L都具有沿其定位的多個(gè)孔622，以便將要被通氣到系統(tǒng)外部的氣體抽吸進(jìn)來(lái)。在一個(gè)實(shí)施方式中，上下排氣管612U 和612L中的每一個(gè)都在每個(gè)側(cè)上包括孔622，并且取決于在系統(tǒng)中的位置可以抽吸氣體以從兩個(gè)不同的區(qū)域排出。備選地，孔622可以僅僅設(shè)置在排氣管的一側(cè)，以便僅僅從一個(gè)區(qū)域抽吸氣體。孔的位置和尺寸取決于移除氣體的需要并且由此被選擇?，F(xiàn)在參考圖15，示出了用于提供抽吸力來(lái)從區(qū)域606中抽吸處理過(guò)的氣體的機(jī)構(gòu)。直角高壓管630被插入文丘里管區(qū)段618的側(cè)壁中。壓縮接頭632與高壓管630的遠(yuǎn)端聯(lián)接，并且空氣噴嘴634與壓縮接頭632聯(lián)接。在一個(gè)實(shí)施方式中，空氣噴嘴是可以從俄亥俄州的辛辛那提的Exair公司買到的1103SST型號(hào)的超級(jí)空氣噴嘴。在運(yùn)行中，大約SOpsi的高壓空氣被提供進(jìn)入高壓管630的近端并且從空氣噴嘴 634被排出。由于文丘里效應(yīng)，因此這在從空氣噴嘴634出來(lái)的空氣后面建立了一個(gè)抽吸并且導(dǎo)致空氣通過(guò)孔622被吸入。有利地，在這一空氣壓力水平下使用空氣噴嘴634提供大約大致71立方英尺/分鐘的空氣的充分運(yùn)動(dòng)，同時(shí)也提供相對(duì)安靜的運(yùn)行，因?yàn)閬?lái)自系統(tǒng)的聲級(jí)在排氣塔620的輸出端測(cè)量為大致77分貝。在一個(gè)備選實(shí)施方式中，并不將高壓管630相對(duì)連接器632和噴嘴634以直角設(shè)置，而是管道630可以被設(shè)置成一直線。有利地，通過(guò)過(guò)程氣體冷卻加熱燈604提供了多個(gè)益處。被冷卻的頂加熱燈604 提供發(fā)射的紅外光的較短波長(zhǎng)，所述較短波長(zhǎng)處于改善被運(yùn)送通過(guò)爐的硅晶片的加熱的波長(zhǎng)范圍中。所述冷卻還在石英燈管的外殼層上保持較低的溫度來(lái)提高燈的使用壽命。此外， 如上所述，所述冷卻還幫助使得內(nèi)部元件溫度更高，其使得燈在較短的波長(zhǎng)下運(yùn)行。較短的波長(zhǎng)幫助以非常陡峭的溫度梯度加熱晶片。利用陡峭的溫度梯度，處理時(shí)間保持到最少，并且陡峭的溫度斜坡被用于避免不利的分散，所述分散會(huì)影響電池單元的使用壽命和效率。 更進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，由于區(qū)段之間的分開(kāi)和空氣的急劇變化(turnover)，通過(guò)使過(guò)程氣體在它們之上運(yùn)動(dòng)來(lái)冷卻燈還提供了殘?jiān)那宄透玫那€控制。作為冷卻氣體以用于燈的過(guò)程氣體可以在室溫下被引入腔室的頂部和底部。在另一個(gè)實(shí)施方式中，過(guò)程氣體可以在低于室溫的溫度下被引入以提供更強(qiáng)的冷卻效果?，F(xiàn)在參考圖12和13，過(guò)程氣體通過(guò)以高于傳統(tǒng)系統(tǒng)5-150倍的流量運(yùn)行的鼓風(fēng)機(jī) (未示出)被引入入口管道702和被控制。所述高流速的一個(gè)益處是改善的曲線控制和來(lái)自晶片上的粘膠的溶劑和/或有機(jī)物的更好的清除。放氣門704被設(shè)置在入口管道702內(nèi)以控制運(yùn)動(dòng)的過(guò)程氣體的量，所述氣體然后被傳輸進(jìn)區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)(或增壓充氣)部708 以用于每個(gè)相應(yīng)的子區(qū)域606。流量計(jì)706被設(shè)置在放氣門704內(nèi)以便監(jiān)視與控制被帶入?yún)^(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部708的過(guò)程氣體的流量。運(yùn)動(dòng)的過(guò)程氣體從區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部708被引導(dǎo)通過(guò)多個(gè)槽縫603以運(yùn)動(dòng)越過(guò)相應(yīng)的頂加熱燈604。每個(gè)子區(qū)域可以具有其自身的相應(yīng)的放氣門704以允許特定量的過(guò)程氣體進(jìn)入?yún)^(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部708以及從該處經(jīng)過(guò)紅外線加熱燈604。有利地，每個(gè)放氣門704都可以被分別控制以便在燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104的特定子區(qū)域606內(nèi)根據(jù)需要提供適當(dāng)?shù)倪\(yùn)行特性。現(xiàn)在參考圖16，現(xiàn)在將描述在一個(gè)區(qū)段中進(jìn)行的控制過(guò)程氣體的過(guò)程750。初始地，在步驟752中，在一個(gè)實(shí)施方式中，用于所需區(qū)段運(yùn)行的預(yù)定設(shè)定從具有易失性和非易失性存儲(chǔ)器在其上的基于計(jì)算機(jī)的控制系統(tǒng)(未示出)檢索出。所述設(shè)定例如可以包括由流量計(jì)706測(cè)量的流量、在子區(qū)域606中所需的溫度和/或可以是可測(cè)量的或可控制的任何其它過(guò)程參數(shù)。曲線可以被預(yù)先確定和在存儲(chǔ)器或存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)為“配方”以用于以后的選擇和使用。“配方”可以用作處理過(guò)程的“基礎(chǔ)”，然而，其中一部分過(guò)程參數(shù)由用戶改變或調(diào)整以用于特定的過(guò)程?！靶碌摹被颉案淖兊摹迸浞揭虼丝梢员粌?chǔ)存為新的“基礎(chǔ)”配方以用于相同的用戶或另一個(gè)用戶在隨后的使用。隨后，在步驟754中，構(gòu)件被調(diào)整以便達(dá)到所需的表現(xiàn)特性。所述調(diào)整可以包括設(shè)定放氣門704的開(kāi)度、控制鼓風(fēng)機(jī)在入口管道702中的速度或設(shè)定紅外線加熱燈604中的功率級(jí)。過(guò)程的控制包括在步驟756中測(cè)量運(yùn)行參數(shù)，其包括但不限于放氣門704內(nèi)的實(shí)際空氣速度、區(qū)域606內(nèi)的溫度，以及單獨(dú)的紅外線加熱燈604的溫度。在步驟758中，這些測(cè)量的運(yùn)行參數(shù)與所需的參數(shù)范圍相比較，以確定爐是否運(yùn)行在所需的過(guò)程點(diǎn)。如果測(cè)量的參數(shù)處于范圍內(nèi)，控制進(jìn)行到步驟760，其繼續(xù)運(yùn)行并且返回到步驟756的測(cè)量運(yùn)行參數(shù)?，F(xiàn)在返回步驟758，如果參數(shù)不處于所需的范圍內(nèi)，那么在步驟762中構(gòu)件設(shè)定被改變， 以使得運(yùn)行適應(yīng)于所需的結(jié)果，并且控制返回到步驟756的測(cè)量運(yùn)行參數(shù)。結(jié)果，可以在子區(qū)域內(nèi)提供更陡峭的加熱曲線并且由于過(guò)程氣體的流動(dòng)因此頂加熱燈604的工作壽命可以提高。參考以上所述，紅外線燈604在形狀上呈大致管狀，并且具有沿著燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段 104的上部分和/或下部分設(shè)于間隔開(kāi)的陣列中的端部端子802，如圖17所示。燈604的端子端部802設(shè)于相應(yīng)的冷卻管道或?qū)Ч?06內(nèi)，在其中流動(dòng)的空氣或其它氣體冷卻燈604 的端部端子802。燈端部端子802的冷卻提高了燈的壽命，因?yàn)樵谳^低的端部密封溫度下燈的壽命趨向于變得更長(zhǎng)。此外，現(xiàn)在參考圖18，隨著端部端子802被插入連接器902中，通過(guò)減少在連接器902內(nèi)在電觸點(diǎn)上聚集的氧化層，燈端部802的冷卻還允許在端部端子802和連接器 902之間保持改善電連接。在另一個(gè)實(shí)施方式中，燈端部端子802的冷卻將它們保持在約 80° -120°C的工作溫度。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中，冷卻空氣通過(guò)引入空氣流動(dòng)通過(guò)冷卻管道806的鼓風(fēng)機(jī)提供。在冷卻管道806中循環(huán)的空氣可以是封閉系統(tǒng)的一部分，這一點(diǎn)上相同的空氣在再次越過(guò)燈端部端子802之前被環(huán)繞循環(huán)但是被重新冷卻。備選地，“新鮮的”空氣可以在越過(guò)端子802之前從管道的外部被抽吸進(jìn)來(lái)，并且然后被向后通氣出去?！愕?，如上所述的加熱燈604被設(shè)為橫越傳送帶。在一個(gè)實(shí)施方式中，設(shè)有筆直的管狀加熱燈604。這些加熱燈604被安裝在彈簧加載的連接器中以接收和定向燈604在傳送帶上。如本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所已知的那樣，連接器被配置為與燈604的端部端子802 交接。由此，這些連接器的結(jié)構(gòu)已知并且適應(yīng)于使用在系統(tǒng)中的加熱燈604的特定類型的需求。為了便于插入和移除加熱燈604，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式提供了一種機(jī)構(gòu)，其允許單手移除管狀燈604?，F(xiàn)在參考圖19，示出了觸發(fā)器支撐件2000。觸發(fā)器支撐件2000包括彼此聯(lián)接的觸發(fā)器支撐件前面板部分2002和觸發(fā)器支撐件后部分2004。在一個(gè)實(shí)施方式中，觸發(fā)器支撐件前部分2002和觸發(fā)器支撐件后部分2004由高強(qiáng)度塑料材料制成。用于觸發(fā)器支撐件 2000及其相關(guān)部件的材料的選擇將可根據(jù)環(huán)境來(lái)確定，觸發(fā)器支撐件在所述環(huán)境中被運(yùn)行 (或?qū)⒈贿\(yùn)行)并且屬于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員的技能。多個(gè)觸發(fā)器箱體2006被限定在觸發(fā)器支撐件后部分2004中，并且由獨(dú)立的翼片 2007限定輪廓。在此，嚴(yán)格地用于解釋性目的，5個(gè)(五個(gè))獨(dú)立的翼片2007被示出以便劃分4個(gè)(四個(gè))觸發(fā)器箱體2006。每個(gè)觸發(fā)器箱體包括觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008，下面將更詳細(xì)地描述其作用。多個(gè)觸發(fā)器開(kāi)口 2010設(shè)置在觸發(fā)器支撐件前部分2002中。每個(gè)觸發(fā)器箱體2006有一個(gè)觸發(fā)器開(kāi)口 2010，觸發(fā)器開(kāi)口 2010與觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008對(duì)齊。如圖20所示，其中示出了沿圖19中的線H-H截取的觸發(fā)器支撐件2000的橫截面視圖，觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008為由與觸發(fā)器支撐件2000相同的材料制成的空心圓筒。觸發(fā)器纜線管道2014設(shè)置在觸發(fā)器支撐件后部分2004中并且與圓筒形的觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件 2008對(duì)齊。由此，與觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008對(duì)齊的觸發(fā)器開(kāi)口 2010，以及觸發(fā)器纜線管道 2014限定圓筒形開(kāi)口。如圖所示，觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008設(shè)置在觸發(fā)器支撐件后部分2004 的彈簧止擋壁2012處。圖21是如圖19所示的觸發(fā)器支撐件組件2000的頂視圖。在此，同樣如圖20所示，觸發(fā)器開(kāi)口 2010、觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008和觸發(fā)器纜線管道2014的對(duì)齊可從上方觀察到。為了便于提供電力至相應(yīng)的加熱燈604，必須設(shè)置適當(dāng)?shù)臒暨B接器。觸發(fā)器支撐件 2000提供觸發(fā)器箱體2006以接收相應(yīng)的觸發(fā)器2100，如圖22所示。將在下面更詳細(xì)地描述的觸發(fā)器2100包括燈連接器2102，在觸發(fā)器2100設(shè)置在觸發(fā)器支撐件2000的觸發(fā)器箱體2006中時(shí)，所述燈連接器2102通過(guò)相應(yīng)的觸發(fā)器開(kāi)口 2010伸出以與相應(yīng)的燈接觸。現(xiàn)在參考圖23，觸發(fā)器2100包括由高強(qiáng)度材料制成的U形的觸發(fā)器框架，所述高強(qiáng)度材料例如為塑料，與用于觸發(fā)器支撐框架2000的材料類似。燈連接器2102被安裝到通常由金屬組成的觸發(fā)器面板2104上。一個(gè)或多個(gè)鉚釘2106被用于使燈連接器2102與觸發(fā)器面板2104連接。電源線2108與燈連接器2102電接合并且通過(guò)觸發(fā)器框架2101供電。如將在下面描述的那樣，觸發(fā)器彈簧2110被提供并且被用于偏壓觸發(fā)器2100在觸發(fā)器框架2000內(nèi)就位。一對(duì)螺釘2112被用于通過(guò)螺釘2112進(jìn)入位于觸發(fā)器框架2101上的相應(yīng)插孔2114中的交互作用來(lái)使觸發(fā)器面板2104與觸發(fā)器框架2100連接。為了便于觸發(fā)器2100在觸發(fā)器支撐件2000內(nèi)運(yùn)行，觸發(fā)器框架2101包括觸發(fā)器手柄2116，其具有容易由操作者的手操縱的形狀。圖M是觸發(fā)器2100位于觸發(fā)器支撐件2000的觸發(fā)器箱體2006內(nèi)的頂視圖。觸發(fā)器彈簧2110被定位為使得一個(gè)端部位于圍繞觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件2008，而另一個(gè)端部推動(dòng)抵靠觸發(fā)器2100的觸發(fā)器面板2104。觸發(fā)器彈簧2110推動(dòng)抵靠彈簧止擋壁2012由此導(dǎo)致燈連接器2102通過(guò)位于觸發(fā)器支撐件前部分2002中的觸發(fā)器開(kāi)口 2110伸出。應(yīng)該注意的是，燈連接器2102本身具有內(nèi)部彈簧，在燈與燈連接器2102連接時(shí)所述內(nèi)部彈簧提供一定的調(diào)整量。燈連接器2102內(nèi)的所述彈簧并沒(méi)有一般地被示出為燈連接器2102被設(shè)置為用于結(jié)合進(jìn)觸發(fā)器2100單塊件。此外，盡管僅示出了一個(gè)觸發(fā)器2100，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可理解在運(yùn)行中在每個(gè)觸發(fā)器箱體2006中都將有一個(gè)觸發(fā)器2100。此外，盡管僅示出了四個(gè)觸發(fā)器箱體，但很好理解根據(jù)需要可以通過(guò)特定的設(shè)計(jì)在觸發(fā)器支撐件2000中設(shè)置任何的數(shù)量。如上所述，在觸發(fā)器的正常位置，由于觸發(fā)器彈簧2110偏壓抵靠彈簧止擋壁2012 導(dǎo)致觸發(fā)器燈連接器2102與加熱燈(未示出)接合，如圖25所示。盡管圖23中示出的觸發(fā)器的分解視圖沒(méi)有示出觸發(fā)器支撐件2000，但本領(lǐng)域技術(shù)人員知道觸發(fā)器2110如何被組裝以及如何結(jié)合到觸發(fā)器支撐件2000中，以使得觸發(fā)器彈簧2110與觸發(fā)器彈簧引導(dǎo)件 2008聯(lián)接，以便適當(dāng)?shù)仄珘河|發(fā)器燈連接器2102。為了移除燈，觸發(fā)器2100沿與觸發(fā)器彈簧2110提供的推動(dòng)力相反的方向運(yùn)動(dòng)。 這樣做拉動(dòng)觸發(fā)器燈連接器2102遠(yuǎn)離其所連接的燈并且允許將所述燈從系統(tǒng)移除。觸發(fā)器手柄2116便于拉動(dòng)特定的觸發(fā)器2100，特別是在觸發(fā)器支撐件2000內(nèi)設(shè)有多個(gè)觸發(fā)器 2100、即彼此緊挨著設(shè)置的情況下。如圖沈所示，當(dāng)觸發(fā)器2100被拉“回”時(shí)觸發(fā)器燈連接器2102通過(guò)便于移除和更換燈的觸發(fā)器開(kāi)口 2010退回。一旦替換的燈(如果有的話) 被插入，觸發(fā)器2100到其常規(guī)位置的返回就提供充分量的壓力以保持燈就位。當(dāng)然，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，觸發(fā)器彈簧2110的特征被選擇來(lái)提供充分的力以保持燈就位，而沒(méi)有出現(xiàn)沿相反方向拉動(dòng)的人難以克服的力。在本發(fā)明的一個(gè)備選實(shí)施方式中，使用了具有偏置燈絲的紅外線燈或燈管。如圖 27所示，紅外線加熱燈1002被設(shè)置為具有居中的燈絲1004，其中燈1002提供的熱量處于其中心。另外，設(shè)有左側(cè)的燈1006，如圖中所定向的那樣，其燈絲1004位于所述附圖的左側(cè)，其峰值熱量將位于該處。還設(shè)有具有其燈絲1004在右側(cè)的右側(cè)的紅外線燈1008。應(yīng)該注意的是，僅僅是交換位置，右側(cè)的紅外線燈1008可以是左側(cè)的燈1006，然而，可以設(shè)置非對(duì)稱的右側(cè)的和左側(cè)的燈。任何給定的燈絲的長(zhǎng)度可以是可調(diào)節(jié)的，像燈相對(duì)于彼此居中、 右側(cè)和左側(cè)的相對(duì)位置那樣，以使得其間的或重疊的距離、X和Y值可以根據(jù)需要通過(guò)特定的過(guò)程被調(diào)節(jié)以提供橫越帶204的曲線。備選地，如圖28所示，可以設(shè)有U形的燈1010以便加熱在下面在傳送帶204上向前移動(dòng)的工件。在此，帶204被示出為運(yùn)動(dòng)進(jìn)入頁(yè)面。當(dāng)然，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，通過(guò)所述描述，可以設(shè)想U(xiǎn)形燈1010和任意的偏置燈1002、1006和1008的定向和結(jié)合。此外，紅外線加熱燈不限于單燈絲裝置，可以使用例如具有“圖8”或雙管形式的管，其例如可以從佐治亞州的Duluth的Heraeus Noble Light公司買到?？梢詮腍eraeus買到的短波雙管加熱器包括其中提供了多個(gè)燈絲管以獲得重疊的或移位的加熱曲線的結(jié)構(gòu)。干燥器區(qū)段102、燃盡/點(diǎn)燃區(qū)段104和冷卻區(qū)段106中的每一個(gè)都可以具有上下殼體部分，其可以移動(dòng)以便為相關(guān)區(qū)段的構(gòu)件提供入口。如圖四所示，中心部分902可以包括相應(yīng)的傳送帶202、204、206和相關(guān)機(jī)械構(gòu)件。上殼體部分904和下殼體部分906被附接到升降致動(dòng)器908上以便使上下殼體部分904、906移動(dòng)進(jìn)入或離開(kāi)用于允許進(jìn)入?yún)^(qū)段內(nèi)的位置。升降致動(dòng)器908可以是電動(dòng)的或液壓的。當(dāng)然，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，上殼體部分904或下殼體部分906可以獨(dú)立于另一個(gè)進(jìn)入或離開(kāi)工作位置。這允許便利于進(jìn)入以及系統(tǒng)的任何構(gòu)件的相互作用的觀測(cè)。并沒(méi)有打算使附圖中的傳送帶的描述將它們表示為呈實(shí)體材料，傳送帶并沒(méi)有被如此限制。設(shè)想傳送帶可以包括由具有適當(dāng)尺寸的帶有圖案的適當(dāng)材料制成的網(wǎng)狀材料。 此外，一個(gè)區(qū)段中的帶材料和網(wǎng)目圖案可以不同于另一個(gè)區(qū)段中的帶材料和網(wǎng)目圖案，以適應(yīng)相應(yīng)區(qū)段的功能和運(yùn)行條件。已經(jīng)描述了在晶片在多個(gè)傳送帶系統(tǒng)上穿過(guò)爐時(shí)提供用于干燥、加熱和冷卻晶片的紅外線爐系統(tǒng)。爐包括外殼，其具有頂部、底部和側(cè)壁的，以及入口和出口部分。第一傳送帶系統(tǒng)被包含在干燥器區(qū)段內(nèi)并且沿著干燥器區(qū)段的長(zhǎng)度傳輸晶片。傳送帶的速度是要求晶片保持在干燥器區(qū)段內(nèi)的時(shí)間的量的函數(shù)。如果晶片必須處于干燥器區(qū)段中一定量的時(shí)間，那么傳送帶的速度可以被調(diào)整并且干燥器區(qū)段的長(zhǎng)度縮短以獲得晶片必須包含在其中的所需時(shí)間。第二傳送帶被包含在點(diǎn)燃區(qū)段中，并且從干燥器區(qū)段的卸載端部延伸到點(diǎn)燃區(qū)段的另一端處的卸載位置。點(diǎn)燃皮帶速度可以被控制以提供晶片需要包含在點(diǎn)燃區(qū)段中的所需時(shí)間量，并且允許點(diǎn)燃區(qū)段的長(zhǎng)度盡可能小。冷卻區(qū)段中的最后的傳送帶被包含在冷卻區(qū)段中，并且其速度也可以被控制以產(chǎn)生晶片必須保留在其中的適當(dāng)?shù)臅r(shí)間量。利用傳送帶速度被調(diào)整以建立晶片被包含在其中的適當(dāng)?shù)臅r(shí)間量，冷卻區(qū)段的長(zhǎng)度可以由此減小。帶有多個(gè)帶的紅外線爐系統(tǒng)通過(guò)允許依據(jù)通過(guò)其被運(yùn)送的工件的類型設(shè)定不同類型的曲線來(lái)提供了運(yùn)行的多方面適合性。在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施方式中，彼此并排定位的多個(gè)傳送帶可以被設(shè)置在爐的一個(gè)或多個(gè)區(qū)段中。每個(gè)傳送帶可以設(shè)定為具有與通過(guò)相同區(qū)域的另一個(gè)帶相同的速度或不同的速度。由此，帶有不同曲線需求的產(chǎn)品可以被處理，同時(shí)通過(guò)一個(gè)區(qū)域的帶的速度確定工件將經(jīng)歷的加熱曲線。在具有由此描述的本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施方式的多個(gè)特征的情況下，應(yīng)該理解， 各種變更、變化和改進(jìn)對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是容易想到的。這些變更、變化和改進(jìn)應(yīng)該作為本申請(qǐng)公開(kāi)內(nèi)容的一部分并且應(yīng)該屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)。因此，前述的說(shuō)明和附圖僅僅以舉例的方式給出，本發(fā)明的范圍應(yīng)該根據(jù)所附權(quán)利要求書(shū)及其等價(jià)物的適當(dāng)結(jié)構(gòu)決定。
權(quán)利要求
1.一種爐，其包括具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第一區(qū)段； 具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第二區(qū)段； 具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第三區(qū)段； 第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括設(shè)于相應(yīng)的至少一個(gè)產(chǎn)品傳送帶上方或下方的一系列燈，每個(gè)燈都包括位于第一端部端子和第二端部端子之間的細(xì)長(zhǎng)管狀部位；并且第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括用于提供過(guò)程氣體的過(guò)程氣體系統(tǒng)，其中所述過(guò)程氣體被引導(dǎo)橫越相應(yīng)區(qū)段的燈的管狀部位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括用于冷卻相應(yīng)燈的端部端子的燈冷卻系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)包括 第一導(dǎo)管，所述燈的第一端部端子設(shè)于其中；以及第二導(dǎo)管，所述燈的第二端部端子設(shè)于其中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)還包括用于提供通過(guò)所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的至少一個(gè)的運(yùn)動(dòng)的氣體的鼓風(fēng)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)還包括 用于冷卻所述氣體的與所述鼓風(fēng)機(jī)聯(lián)接的裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐，其特征在于，所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的至少一個(gè)是封閉系統(tǒng)，在相應(yīng)導(dǎo)管中流動(dòng)的氣體在其中再循環(huán)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐，其特征在于，所述氣體是空氣。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，用于相應(yīng)的至少一個(gè)區(qū)段的所述過(guò)程氣體系統(tǒng)包括第一強(qiáng)制通風(fēng)部；流體地聯(lián)接所述第一強(qiáng)制通風(fēng)部和所述相應(yīng)區(qū)段的多個(gè)第一槽縫；以及流體移動(dòng)系統(tǒng)，其用于引導(dǎo)氣體從所述第一強(qiáng)制通風(fēng)部通過(guò)所述多個(gè)第一槽縫并且進(jìn)入所述相應(yīng)區(qū)段內(nèi)，其中，所述多個(gè)第一槽縫中的每一個(gè)都與所述相應(yīng)區(qū)段的相應(yīng)的一個(gè)燈的細(xì)長(zhǎng)管狀部位對(duì)齊。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的爐，其特征在于，所述爐還包括 用于引入過(guò)程氣體到第一強(qiáng)制通風(fēng)部中的氣體源，其中，所述過(guò)程氣體是從所述第一強(qiáng)制通風(fēng)部聯(lián)接通過(guò)所述多個(gè)第一槽縫并且進(jìn)入所述相應(yīng)區(qū)段中以越過(guò)所述燈的氣體。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的爐，其特征在于，所述爐還包括 與第一強(qiáng)制通風(fēng)部流體地聯(lián)接的第一放氣門，其中，所述第一放氣門可操作以控制流入所述第一強(qiáng)制通風(fēng)部中的氣體的量。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的爐，其特征在于，所述爐還包括第一流量計(jì)，其設(shè)于所述第一放氣門中并且可操作以測(cè)量所述第一放氣門中的氣體的流量。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，所述燈沿著爐的相應(yīng)區(qū)段的長(zhǎng)度間隔開(kāi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的爐，其特征在于，每個(gè)燈被配置為從所述細(xì)長(zhǎng)管狀部位發(fā)射紅外線輻射。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的爐，其特征在于，每個(gè)燈都可移動(dòng)，所述爐還包括 與所述可移動(dòng)的燈聯(lián)接的燈支撐系統(tǒng)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的爐，其特征在于，所述爐還包括用于為所述燈提供電力的燈支撐系統(tǒng)，所述燈支撐系統(tǒng)包括燈觸發(fā)器，其包括用于可脫開(kāi)地電連接到所述燈的端部端子的電觸點(diǎn)； 配置為接收所述燈觸發(fā)器的觸發(fā)器支撐框架，所述觸發(fā)器支撐框架具有限定在其中以接收所述電觸點(diǎn)的開(kāi)口 ；以及與觸發(fā)器支撐框架和燈觸發(fā)器聯(lián)接的彈簧機(jī)構(gòu)，所述彈簧機(jī)構(gòu)配置為推動(dòng)所述電觸點(diǎn)通過(guò)所述開(kāi)口并且與所述燈的所述端部端子接合。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的爐，其特征在于，所述燈觸發(fā)器包括 便于燈觸發(fā)器與所述彈簧機(jī)構(gòu)相反地運(yùn)動(dòng)的手柄部分。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的爐，其特征在于，所述電觸點(diǎn)包括第二彈簧機(jī)構(gòu)以推動(dòng)所述電觸點(diǎn)與所述燈的所述端部端子接合。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的爐，其特征在于，所述燈支撐系統(tǒng)還包括 與所述電觸點(diǎn)電接合并且延伸通過(guò)所述燈觸發(fā)器的電源線。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，所述爐還包括用于將產(chǎn)品從第一區(qū)段的出口傳輸?shù)降诙^(qū)段的入口的第一傳送帶；以及用于將產(chǎn)品從第二區(qū)段的出口傳輸?shù)降谌齾^(qū)段的入口的第二傳送帶， 其中，第一傳輸傳送帶和第二傳輸傳送帶中的每一個(gè)被配置為適應(yīng)在運(yùn)行于不同速度下的兩個(gè)區(qū)段傳送帶之間傳輸?shù)漠a(chǎn)品。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的爐，其特征在于，所述第一傳輸傳送帶和第二傳輸傳送帶中的至少一個(gè)包括沿著行進(jìn)軸線設(shè)置并且沿垂直于所述行進(jìn)軸線的方向大致彼此平行的多個(gè)第一軸； 與所述多個(gè)第一軸聯(lián)接并且運(yùn)行從而在第一速度下驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)第一軸的第一驅(qū)動(dòng)組件；沿著所述行進(jìn)軸線設(shè)置并且沿垂直于所述行進(jìn)軸線的方向大致彼此平行的多個(gè)第二軸；以及與所述多個(gè)第二軸聯(lián)接并且運(yùn)行從而在第二速度下驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)第二軸的第二驅(qū)動(dòng)組件；其中，所述多個(gè)第一軸和所述多個(gè)第二軸中的每一個(gè)都具有可同軸且自由旋轉(zhuǎn)地設(shè)于所述軸上的至少一個(gè)滾子。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的爐，其特征在于所述第一驅(qū)動(dòng)組件被配置為在與所述第一區(qū)段傳送帶的速度大致相同的速度下驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)第一軸；并且所述第二驅(qū)動(dòng)組件被配置為在與所述第二區(qū)段傳送帶的速度大致相同的速度下驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)第二軸。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的爐，其特征在于多個(gè)第一軸和多個(gè)第二軸中的每一個(gè)都具有可同軸地設(shè)于所述軸上并且可在所述軸上自由地旋轉(zhuǎn)的一對(duì)滾子，并且其中，所述一對(duì)滾子中的每個(gè)滾子被配置為使產(chǎn)品在兩個(gè)滾子之間居中。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的爐，其特征在于，每個(gè)可自由旋轉(zhuǎn)的滾子由其相應(yīng)的軸被動(dòng)地驅(qū)動(dòng)，并且其中，所述可自由旋轉(zhuǎn)的滾子及其相應(yīng)的軸之間的摩擦力通過(guò)設(shè)于其上被傳送的產(chǎn)品的力克服，以使得所述可自由旋轉(zhuǎn)的滾子將旋轉(zhuǎn)以匹配所述被傳送的產(chǎn)品的速度。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括用于將氣體從第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)移除的排氣系統(tǒng)。
25.根據(jù)權(quán)利要求M所述的爐，其特征在于，所述排氣系統(tǒng)包括 排氣支柱；設(shè)置在所述排氣支柱中的第一排氣管，所述第一排氣管具有限定在其中的多個(gè)開(kāi)口， 所述第一排氣管經(jīng)由所述多個(gè)開(kāi)口與所述相應(yīng)區(qū)段流體地聯(lián)接； 與所述第一排氣管流體地聯(lián)接的文丘里管； 具有位于所述文丘里管內(nèi)的第一端部的輸入管；以及設(shè)于所述文丘里管中的高壓空氣噴嘴，所述空氣噴嘴具有輸入部和輸出部，所述噴嘴輸入部與輸入管的第一端部聯(lián)接，所述噴嘴輸出部被定向?yàn)檠剡h(yuǎn)離所述第一排氣管的方向輸出高壓空氣。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的爐，其特征在于，所述爐還包括 經(jīng)由所述輸入管與所述空氣噴嘴聯(lián)接的高壓空氣源。
27.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐，其特征在于，第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段傳送帶中的每一個(gè)可在與另一個(gè)區(qū)段傳送帶的速度無(wú)關(guān)的速度下運(yùn)行。
28.一種爐，其包括具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第一區(qū)段； 具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第二區(qū)段； 具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、至少一個(gè)用于傳輸產(chǎn)品的傳送帶、入口和出口的第三區(qū)段； 第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括設(shè)于相應(yīng)的至少一個(gè)產(chǎn)品傳送帶上方或下方的一系列燈，每個(gè)燈都包括位于第一端部端子和第二端部端子之間的細(xì)長(zhǎng)管狀部位；并且第一區(qū)段、第二區(qū)段和第三區(qū)段中的至少一個(gè)包括用于冷卻所述燈的所述端部端子的燈冷卻系統(tǒng)。
29.根據(jù)權(quán)利要求28所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)包括 第一導(dǎo)管，所述燈的所述第一端部端子設(shè)于其中；以及第二導(dǎo)管，所述燈的所述第二端部端子設(shè)于其中。
30.根據(jù)權(quán)利要求四所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)還包括用于提供通過(guò)所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的至少一個(gè)的運(yùn)動(dòng)的氣體的鼓風(fēng)機(jī)。
31.根據(jù)權(quán)利要求30所述的爐，其特征在于，所述燈冷卻系統(tǒng)還包括與所述鼓風(fēng)機(jī)聯(lián)接的用于冷卻氣體的裝置。
32.根據(jù)權(quán)利要求四所述的爐，其特征在于，所述第一導(dǎo)管和第二導(dǎo)管中的至少一個(gè)是封閉系統(tǒng)，在相應(yīng)導(dǎo)管中流動(dòng)的氣體在其中再循環(huán)。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的爐，其特征在于，所述氣體是空氣。
34.一種保持紅外線爐中紅外線加熱燈的運(yùn)行溫度的方法，其中所述紅外線爐包括具有一個(gè)或多個(gè)區(qū)域、產(chǎn)品傳送帶、入口和出口的至少一個(gè)區(qū)段，所述方法包括將第一系列的可移除紅外線加熱燈設(shè)于所述傳送帶的上方或下方，紅外線加熱燈中的每一個(gè)都具有第一端部端子和第二端部端子以及位于第一端部端子和第二端部端子之間用于發(fā)射紅外線輻射的細(xì)長(zhǎng)管狀部位；以及引導(dǎo)氣體在多個(gè)第一紅外線加熱燈的第一端部端子和第二端部端子上，以將第一端部端子和第二端部端子保持在第一溫度范圍內(nèi)。
35.根據(jù)權(quán)利要求34所述的方法，其特征在于，被引導(dǎo)的氣體不與所述相應(yīng)區(qū)段流體連通。
36.根據(jù)權(quán)利要求35所述的方法，其特征在于，所述氣體是空氣。
37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在將空氣引導(dǎo)在第一端部端子和第二端部端子上之前，將被引導(dǎo)的空氣冷卻到室溫以下的溫度。
38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的方法，其特征在于，所述方法還包括經(jīng)由相應(yīng)的導(dǎo)管提供空氣到第一端子和第二端子；以及使空氣在相應(yīng)導(dǎo)管中再循環(huán)。
39.根據(jù)權(quán)利要求38所述的方法，其特征在于，所述方法還包括在再次越過(guò)第一端子和第二端子之前重新冷卻被再循環(huán)的空氣。
40.一種控制紅外線爐的方法，所述紅外線爐包括具有入口和出口以及至少一個(gè)位于其中的區(qū)域的至少一個(gè)區(qū)段、設(shè)置在相應(yīng)區(qū)段中用于傳送工件通過(guò)其中的傳送帶、以及設(shè)于所述傳送帶上方或下方并且位于所述至少一個(gè)區(qū)域內(nèi)的一系列可移除的紅外線加熱燈， 所述紅外線加熱燈中的每一個(gè)具有用于從其中發(fā)射紅外線輻射的細(xì)長(zhǎng)管狀部位，所述方法包括提供過(guò)程氣體到所述至少一個(gè)區(qū)域；以及引導(dǎo)過(guò)程氣體在每一個(gè)加熱燈的所述細(xì)長(zhǎng)管狀部位上以控制加熱燈的至少一個(gè)運(yùn)行參數(shù)。
41.根據(jù)權(quán)利要求40所述的方法，其特征在于，所述方法還包括提供所述過(guò)程氣體通過(guò)第一區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部和與所述第一區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部流體地聯(lián)接的多個(gè)第一槽縫，其中，所述多個(gè)第一槽縫被布置為使得所述多個(gè)第一槽縫中的每一個(gè)與相應(yīng)的一個(gè)紅外線加熱燈的細(xì)長(zhǎng)管狀部位對(duì)齊。
42.根據(jù)權(quán)利要求41所述的方法，其特征在于，所述方法還包括控制從所述加熱燈發(fā)射的光的波長(zhǎng)。
43.根據(jù)權(quán)利要求42所述的方法，其特征在于，控制光的波長(zhǎng)包括以下步驟中的至少一個(gè)控制越過(guò)所述加熱燈的過(guò)程氣體的速度； 控制所述第一區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部中的過(guò)程氣體的速度； 控制所述第一區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部中的過(guò)程氣體的流量；以及控制所述第一區(qū)域強(qiáng)制通風(fēng)部中的過(guò)程氣體的溫度。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種紅外線爐系統(tǒng)，其可以調(diào)整工件在爐的相應(yīng)區(qū)段中花費(fèi)的時(shí)間的量，而同時(shí)使所使用的爐的占據(jù)面積、即占地空間的量最小化。各個(gè)實(shí)施方式允許優(yōu)化每個(gè)區(qū)段的所需的熱持續(xù)期，這然后也使得在每個(gè)區(qū)段內(nèi)的加熱和/或冷卻曲線最優(yōu)化。設(shè)有傳輸傳送帶以將工件從工作于第一速度下的一個(gè)傳送帶傳輸?shù)焦ぷ饔谂c第一速度不同的第二速度下的第二傳送帶，以免損壞工件。設(shè)有滾子以支撐工件和保持適當(dāng)?shù)亩ㄏ颉＜訜釤糁谓M件為加熱燈提供電力并且便于更換和替換加熱燈?？諝廨斔拖到y(tǒng)提供保持在正確溫度下的過(guò)程氣體。排氣系統(tǒng)以改善的反轉(zhuǎn)變化和減小的噪音條件提供空氣流。紅外線加熱燈通過(guò)提供氣流橫越端部端子而被冷卻。加熱燈發(fā)射的光的波長(zhǎng)通過(guò)控制被引入爐的區(qū)段中的過(guò)程氣體的參數(shù)而調(diào)整。
文檔編號(hào)F27B9/24GK102414529SQ201080019669
公開(kāi)日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2010年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月2日
發(fā)明者D·J·布特蘭德, T·R·多爾蒂 申請(qǐng)人:Btu國(guó)際公司