專利名稱：新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片加工技術(shù)裝置領(lǐng)域，具體為新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干是專門用于太陽能電池片和半導體硅片的生產(chǎn)制造過程中對濕法腐蝕清洗后的硅片進行干燥和潔凈化處理的一道重要工序，以往的甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)其包括硅片放置裝置(見圖1)和硅片盒放置夾具(見圖2)，安裝時需要將硅片盒放置夾具卡裝入硅片放置裝置的卡槽內(nèi)，其安裝不便；并且，以往的硅片放置裝置(見圖1)由上板12、 中間板13、底板14、前擋桿15、中間擋桿16和后擋桿17組成，其結(jié)構(gòu)復雜，安裝加工不便； 另外，以往硅片盒放置夾具(見圖2)的側(cè)板1上開有兩個主排水孔18，其開孔面積大，使得側(cè)板強度低，導致整個硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干裝置整體強度的降低。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明提供了新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便。其技術(shù)方案是這樣的，其包括底板和硅片盒放置夾具，其特征在于所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向安裝于所述底板上，相鄰兩個所述硅片盒放置夾具之間通過筋板連接。其進一步特征在于
所述硅片盒放置夾具包括兩塊底面板、兩塊側(cè)面板以及兩組側(cè)擋桿與下?lián)鯒U，所述兩塊底面板與兩塊側(cè)面板之間相互扣接，所述兩塊底面板上開有卡孔，所述兩組側(cè)擋桿與下?lián)鯒U分別卡接入所述底面板的相對應(yīng)的所述卡孔內(nèi)；
所述硅片盒放置夾具底部直接焊接安裝于所述底板上；所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向均布；所述筋板包括內(nèi)側(cè)筋板和外側(cè)筋板；所述硅片盒放置夾具按照設(shè)備工位要求設(shè)置四個、六個或八個。其更進一步特征在于所述硅片盒放置夾具的兩塊側(cè)面板上均布有排水孔。與以往的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)相比，本發(fā)明的有益效果在于其將硅片盒放置夾具直接安裝于底板上，相鄰的硅片盒放置夾具之間通過筋板連接，其結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便， 保證了整體的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)較高的強度；且所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向均布以及硅片盒放置夾具側(cè)面板上均布有排水孔，進一步保證了硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)較高的強度。


圖1為以往的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)的硅片放置裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為以往的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)的硅片盒放置夾具結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為本發(fā)明的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)中硅片盒放置夾具結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式見圖3，本發(fā)明包括底板9和硅片盒放置夾具10，硅片盒放置夾具10沿底板9周向安裝于底板9上，相鄰兩個硅片盒放置夾具10之間通過筋板連接。硅片盒放置夾具10 底部焊接安裝于底板9上；硅片盒放置夾具10沿底板9周向均布；筋板包括內(nèi)側(cè)筋板8和外側(cè)筋板7 ；硅片盒放置夾具10按照設(shè)備工位要求設(shè)置四個、六個或八個，圖3中的硅片盒放置夾具10設(shè)置有八個。見圖4，硅片盒放置夾具10包括兩塊底面板2和6、兩塊側(cè)面板1、5以及兩組側(cè)擋桿3與下?lián)鯒U4，兩塊底面板2、6與兩塊側(cè)面板1、5之間相互扣接，兩塊底面板2、6上開有卡孔，兩組側(cè)擋桿3與下?lián)鯒U4分別卡接入底面板2、6的相對應(yīng)的卡孔內(nèi)，兩塊側(cè)面板1、5 上均布有排水孔11。
權(quán)利要求
1.新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其包括底板和硅片盒放置夾具，其特征在于所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向安裝于所述底板上，相鄰兩個所述硅片盒放置夾具之間通過筋板連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述硅片盒放置夾具包括兩塊底面板、兩塊側(cè)面板以及兩組側(cè)擋桿與下?lián)鯒U，所述兩塊底面板與兩塊側(cè)面板之間相互扣接，所述兩塊底面板上開有卡孔，所述兩組側(cè)擋桿與下?lián)鯒U分別卡接入所述底面板的相對應(yīng)的所述卡孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述硅片盒放置夾具底部直接焊接安裝于所述底板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向均布。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述筋板包括內(nèi)側(cè)筋板和外側(cè)筋板。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述硅片盒放置夾具按照設(shè)備工位要求設(shè)置四個、六個或八個。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其特征在于所述硅片盒放置夾具的兩塊側(cè)面板上均布有排水孔。
全文摘要
本發(fā)明提供了新型的硅片甩干機內(nèi)筒結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便。其包括底板和硅片盒放置夾具，其特征在于所述硅片盒放置夾具沿所述底板周向安裝于所述底板上，相鄰兩個所述硅片盒放置夾具之間通過筋板連接。
文檔編號F26B25/18GK102226641SQ20111011102
公開日2011年10月26日 申請日期2011年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月29日
發(fā)明者陳世強, 顧正初 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司