專利名稱：用于腐蝕性液體的加熱器的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種用于腐蝕性液體的加熱器，屬于液體加熱技術(shù)領域。
背景技術(shù)：
電加熱器大都采用陶瓷或石英，這種加熱材料不僅易破碎，且加熱效率不高，而且不能加熱酸、堿等強氧化劑的腐蝕性液體。一些用于加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設置在金屬套管內(nèi)，金屬套管與電熱絲之間設有金屬氧化鎂，在金屬套管外壁涂上聚四氟乙烯，雖然電加熱器具有耐腐蝕性的特點，但也存在加熱功率不高和維護保養(yǎng)不方便的缺陷，因此不適合半導體器件的化學腐蝕和清洗工藝中工業(yè)化產(chǎn)生的要求。為滿足半導體器件工業(yè)化生產(chǎn)的要求，目前液體加熱器采用四根氟塑料螺桿和四個連接桿連接后形成框架結(jié)構(gòu)，包覆有氟塑料的電熱絲纏繞在氟塑料螺桿上，以此提高加液體的溫度均勻性及使用的可靠性，但該種結(jié)構(gòu)的電熱絲在制作以及安裝過程中無法使其直徑保持完全相同， 因此還是存在發(fā)熱不均勻以及功率不高和電加熱器的體積較大的問題。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種工作可靠、對液體加熱溫度均勻，便于維護保養(yǎng)、體積小的用于腐蝕性液體的加熱器。本實用新型為達到上述目的的技術(shù)方案是一種用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于包括水箱、加熱組件以及上內(nèi)蓋、下內(nèi)蓋和水溫溫度傳感器，所述的水箱為兩端開口的筒體，且水箱的內(nèi)壁具有氟塑料層或水箱由氟塑料制成，水箱的上下兩側(cè)分別設有出液口和進液口 ；所述的加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體和兩個以上的電加熱棒，各電加熱棒安裝在金屬導體內(nèi)，金屬導體的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料制成的上內(nèi)蓋和下內(nèi)蓋連接，且上內(nèi)蓋和下內(nèi)蓋分別與水箱密封連接，電加熱棒的電極密封穿出上內(nèi)蓋或下內(nèi)蓋，金屬導體外周壁與水箱內(nèi)壁之間設有液腔；所述的水箱上的出液口處安裝有水溫溫度傳感器。本實用新型采用兩個以上的電加熱棒并設置在金屬導體內(nèi)，故能增加加熱器的功率，電加熱棒的熱量通過金屬導體后再加熱液體，液體受熱更加均勻，由于腐蝕性液體不與電加熱棒接觸，也提高了加熱器的使用可靠性。本實用新型的水箱、上內(nèi)蓋以及下內(nèi)蓋和金屬導體均采用抗酸、抗堿和耐高溫的氟塑料層，提高了加熱器的使用可靠，由于加熱組件設置在水箱內(nèi)，不僅能減少加熱器的體積，而且將水箱與加熱器集為一體，可使加熱器實現(xiàn)模塊化，方便工藝調(diào)整。本實用新型將上內(nèi)蓋和下內(nèi)蓋密封安裝在水箱兩端，方便對加熱器的維護和保養(yǎng)。本實用新型在水箱的出液口處設有水溫溫度傳感器，不僅能方便調(diào)節(jié)加熱器的功率，而且也能對加熱器起到保護作用。
以下結(jié)合附圖對本實用新型的實施例作進一步的詳細描述。[0007]


圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是
圖1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。其中1-上蓋，2-密封圈，3-上內(nèi)蓋，4-導熱溫度傳感器，5-電加熱棒，6_金屬導體，7-液腔，8-水箱，8-1-出液口，8-2-進液口，9-下內(nèi)蓋，10-下蓋，11-水溫溫度傳感器， 12-傳感器座，13-夾座。
具體實施方式
見
圖1、2所示，本實用新型的用于腐蝕性液體的加熱器，包括水箱8、加熱組件以及上內(nèi)蓋3、下內(nèi)蓋9和水溫溫度傳感器11。本實用新型的水箱8為兩端開口的筒體，且水箱8的內(nèi)壁具有氟塑料層或水箱8由氟塑料制成，使水箱8具有耐酸耐堿的優(yōu)點，該水箱8 的上下兩側(cè)分別設有出液口 8-1和進液口 8-2，出液口 8-1和進液口 8-2均設有螺紋孔，液管接頭可旋接在箱體的出液口 8-1和進液口 8-2處。見
圖1、2所示，本實用新型加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體6和兩個以上的電加熱棒5，可如
圖1、2所示，可采用三個電加熱棒5，通電后電加熱棒5發(fā)熱，各電加熱棒5安裝在金屬導體6內(nèi)，并均布安裝在金屬導體6上，該金屬導體6可采用導熱系數(shù)高的銅或及其合金材料，金屬導體6的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料制成的上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋9連接，且上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋 9通過安裝在金屬導體6上的密封圈2分別與水箱8密封連接，本實用新型為了方便安裝上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋9，金屬導體6兩端分別設有凹凸面，而上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋9上也設有對應的凸凹面，金屬導體6兩端上的凹凸面與上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋9上的凸凹面相接，本實用新型在上內(nèi)蓋3或下內(nèi)蓋9上設有對電加熱棒5定位的安裝孔，緊固件將上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋 9安裝在金屬導體6的兩端，水箱8兩端還安裝有上蓋1和下蓋10，該上蓋1和下蓋10分別罩在上內(nèi)蓋3和下內(nèi)蓋9上，金屬導體6外周壁與水箱內(nèi)壁之間設有液腔7，被加熱液體通過該液腔7時而被金屬導體6加熱。見
圖1、2所示，本實用新型為及時了解液體的加熱溫度，水箱8的出液口 8-1處安裝有傳感器座12上，水箱8的出液口 8-1處安裝有傳感器座12，該傳感器座12旋接在水箱8的安裝孔上，水溫溫度傳感器11通過夾座13插裝在傳感器座12上。見
圖1、2所示， 本實用新型在金屬導體6上還設導熱溫度傳感器4，導熱溫度傳感器4位于電加熱棒5的同一側(cè)，且導熱溫度傳感器4的信號線密封穿出上內(nèi)蓋3或下內(nèi)蓋9，本實用新型通過水溫溫度傳感器11的導熱溫度傳感器4對加熱器起到雙保護作用。
權(quán)利要求1.一種用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于包括水箱(8)、加熱組件以及上內(nèi)蓋 (3)、下內(nèi)蓋(9)和水溫溫度傳感器(11)，所述的水箱⑶為兩端開口的筒體，且水箱⑶的內(nèi)壁具有氟塑料層或水箱(8)由氟塑料制成，水箱(8)的上下兩側(cè)分別設有出液口(8-1) 和進液口(8-2)；所述的加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體(6)和兩個以上的電加熱棒(5)，各電加熱棒(5)安裝在金屬導體(6)內(nèi)，金屬導體(6)的兩端與外周壁具有氟塑料層或由氟塑料制成的上內(nèi)蓋⑶和下內(nèi)蓋(9)連接，且上內(nèi)蓋(3)和下內(nèi)蓋(9)分別與水箱⑶密封連接，電加熱棒(5)的電極密封穿出上內(nèi)蓋(3)或下內(nèi)蓋(9)，金屬導體 (6)外周壁與水箱(8)內(nèi)壁之間設有液腔(7)；所述的水箱( 上的出液口(8-1)處安裝有水溫溫度傳感器(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于所述金屬導體(6) 的兩端分別通過凹凸面與上內(nèi)蓋C3)和下內(nèi)蓋(9)上的凸凹面相接，且上內(nèi)蓋C3)或下內(nèi)蓋(9)上設有對電加熱棒(5)定位的安裝孔，緊固件將上內(nèi)蓋C3)和下內(nèi)蓋(9)安裝在金屬導體(6)的兩端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于所述的金屬導體(6) 上還設導熱溫度傳感器G)，且導熱溫度傳感器(4)位于電加熱棒(5)的同一側(cè)，導熱溫度傳感器⑷的信號線密封穿出上內(nèi)蓋⑶或下內(nèi)蓋(9)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于所述的水箱(8)兩端還安裝有上蓋(1)和下蓋(10)并分別罩在上內(nèi)蓋(3)和下內(nèi)蓋(9)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于腐蝕性液體的加熱器，其特征在于所述的水箱(8)的出液口(8-1)處安裝有傳感器座(12)，水溫溫度傳感器(11)通過夾座(1 插裝在傳感器座(12)上。
專利摘要本實用新型涉及一種用于腐蝕性液體的加熱器，包括水箱、加熱組件以及上內(nèi)蓋、下內(nèi)蓋和水溫溫度傳感器，水箱為兩端開口的筒體，且水箱的內(nèi)壁具有氟塑料層或水箱由氟塑料制成，水箱的上下兩側(cè)分別設有出液口和進液口；加熱組件包括外周壁具有氟塑料層的金屬導體和兩個以上的電加熱棒，各電加熱棒安裝在金屬導體內(nèi)，金屬導體的兩端安裝有外周壁具有氟塑料層或由氟塑料制成的上內(nèi)蓋和下內(nèi)蓋，且內(nèi)蓋和下內(nèi)蓋分別與水箱密封連接，電加熱棒的電極密封穿出上內(nèi)蓋或下內(nèi)蓋，金屬導體外周與水箱內(nèi)壁之間設有液腔，水箱上部安裝有傳感器座，水箱出液口處設有水溫溫度傳感器。本實用新型具有工作可靠、對液體加熱溫度均勻，便于維護保養(yǎng)、體積小的優(yōu)點。
文檔編號F24H1/20GK202057027SQ20112017131
公開日2011年11月30日 申請日期2011年5月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月26日
發(fā)明者卞福良, 吉保國, 段小楠, 沈俊然, 金海濤, 黃宏君 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司, 無錫華潤微電子有限公司