專利名稱：石英熱風(fēng)烘干爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及烘干爐，具體涉及ー種石英熱風(fēng)烘干爐。
背景技術(shù)：
眾所周知，高純石英原料是生產(chǎn)半導(dǎo)體用石英玻璃的基礎(chǔ)材料，我國(guó)石英玻璃生產(chǎn)起步較晚，各生產(chǎn)廠家都在進(jìn)ロ或研制石英玻璃生產(chǎn)設(shè)備和エ藝上下功夫，唯獨(dú)沒(méi)有對(duì)生產(chǎn)石英玻璃的原料進(jìn)行研究。由于外國(guó)公司對(duì)我國(guó)實(shí)行基礎(chǔ)材料技術(shù)封鎖政策，使我國(guó)無(wú)法生產(chǎn)高質(zhì)量的石英玻璃來(lái)滿足半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展需要，這就制約了我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。我國(guó)雖然是電子產(chǎn)品的消費(fèi)大國(guó)，但高質(zhì)量的半導(dǎo)體產(chǎn)品卻大多依靠進(jìn)ロ，原因是生產(chǎn)半導(dǎo)體材料的高純石英玻璃質(zhì)量不過(guò)關(guān)。解決這個(gè)問(wèn)題的關(guān)鍵，是要提高我國(guó)石英玻璃的質(zhì)量和產(chǎn)量，而提高石英玻璃質(zhì)量和產(chǎn)量的前提是必須有高純度的石英粉。我國(guó)目前每年從國(guó)外進(jìn)ロ半導(dǎo)體用高純石英粉25000多噸，用于生產(chǎn)半導(dǎo)體用石英玻璃坩堝、電光源 管等。隨著半導(dǎo)體材料需求量的不斷加大，產(chǎn)品質(zhì)量的不斷提高，對(duì)石英玻璃的純度要求將會(huì)越來(lái)越高，數(shù)量越來(lái)越大。目前，我國(guó)傳統(tǒng)生產(chǎn)石英原料中用于烘干的設(shè)備均是開放式，生產(chǎn)中污染嚴(yán)重，不適合高純石英原料的生產(chǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供ー種石英熱風(fēng)烘干爐，是專用于高純度石英材料烘干的設(shè)備，封閉性能好，耐腐蝕，耐磨損，基本無(wú)污染，節(jié)能環(huán)保。本發(fā)明的技術(shù)解決方案是該烘干爐包括空氣過(guò)濾器、送風(fēng)機(jī)、換熱器、加料機(jī)、送料管和料倉(cāng)，送風(fēng)機(jī)的進(jìn)ロ連接空氣過(guò)濾器，送風(fēng)機(jī)的出口連接換熱器，空氣過(guò)濾器、送風(fēng)機(jī)、換熱器組成空氣過(guò)濾加熱系統(tǒng)，對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾和加熱，并輸送一定量和壓カ的壓縮空氣作為輸送石英粉料的動(dòng)カ；在換熱器的上方安裝加料機(jī)，加料機(jī)的上方安裝料斗，在換熱器的出口連接送料管的一端，加料機(jī)、送料管組成加料輸送系統(tǒng)，使石英原料在加料過(guò)程中不受污染，并控制加料量；送料管的另一端連接料倉(cāng)，料倉(cāng)的底部安裝出料閥，料倉(cāng)的頂部安裝排氣ロ，料倉(cāng)進(jìn)行料、氣分離和收料。其中，送料管外套保溫層。其中，換熱器為石英材料外加熱形式。其中，加料機(jī)為轉(zhuǎn)輪強(qiáng)制式石英體可調(diào)速加料機(jī)。其中，送料管由石英材料制做。其中，料斗、料倉(cāng)、出料閥是由不銹鋼材料制造。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，操作容易，封閉性好，節(jié)能環(huán)保，產(chǎn)品質(zhì)量能夠得到保證。

[0012]圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1空氣過(guò)濾器；2送風(fēng)機(jī)；3換熱器；4加料機(jī)；5料斗；6送料管；7保溫套；8料倉(cāng)；9出料閥；10排氣ロ。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，該烘干爐包括空氣過(guò)濾器I、送風(fēng)機(jī)2、換熱器3、加料機(jī)4、送料管6和料倉(cāng)8，送風(fēng)機(jī)2的進(jìn)ロ連接空氣過(guò)濾器1，送風(fēng)機(jī)2的出ロ連接換熱器3，空氣過(guò)濾器I、送風(fēng)機(jī)2、換熱器3組成空氣過(guò)濾加熱系統(tǒng)，對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾和加熱，并輸送一定量和壓カ的壓縮空氣作為輸送石英粉料的動(dòng)カ；在換熱器3的上方安裝加料機(jī)4，加料機(jī)4的上方安裝料斗5，在換熱器3的出ロ連接送料管6的一端，加料機(jī)4、送料管6組成加料輸送系統(tǒng)，使石英原料在加料過(guò)程中不受污染，并控制加料量；送料管6的另一端連接料倉(cāng)8，料倉(cāng)8的底部安裝出料閥9，料倉(cāng)8的頂部安裝排氣ロ 10，料倉(cāng)8進(jìn)行料、氣分離和收料。其中，送料管6外套保溫層7。其中，換熱器3為石英材料外加熱形式。其中，加料機(jī)4為轉(zhuǎn)輪強(qiáng)制式石英體可調(diào)速加料機(jī)。其中，送料管6由石英材料制做。其中，料斗5、料倉(cāng)8、出料閥9是由不銹鋼材料制造。
權(quán)利要求1.石英熱風(fēng)烘干爐，其特征在于該烘干爐包括空氣過(guò)濾器(I)、送風(fēng)機(jī)(2)、換熱器(3)、加料機(jī)(4)、送料管(6)和料倉(cāng)(8)，送風(fēng)機(jī)(2)的進(jìn)ロ連接空氣過(guò)濾器(1)，送風(fēng)機(jī)(2)的出口連接換熱器(3 )，空氣過(guò)濾器(I)、送風(fēng)機(jī)(2 )、換熱器(3 )組成空氣過(guò)濾加熱系統(tǒng)，對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾和加熱，并輸送一定量和壓カ的壓縮空氣作為輸送石英粉料的動(dòng)カ；在換熱器(3)的上方安裝加料機(jī)(4)，加料機(jī)(4)的上方安裝料斗(5)，在換熱器(3)的出ロ連接送料管(6)的一端，加料機(jī)(4)、送料管(6)組成加料輸送系統(tǒng)，使石英原料在加料過(guò)程中不受污染，并控制加料量；送料管(6 )的另一端連接料倉(cāng)(8 )，料倉(cāng)(8 )的底部安裝出料閥(9 )，料倉(cāng)(8)的頂部安裝排氣ロ( IO)，料倉(cāng)(8)進(jìn)行料、氣分離和收料。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英熱風(fēng)烘干爐，其特征在于其中，送料管(6)外套保溫層 (7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英熱風(fēng)烘干爐，其特征在于其中，換熱器(3)為石英材料外加熱形式。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英熱風(fēng)烘干爐，其特征在于其中，加料機(jī)(4)為轉(zhuǎn)輪強(qiáng)制式石英體可調(diào)速加料機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英熱風(fēng)烘干爐，其特征在于其中，送料管(6)由石英材料制做。
專利摘要本實(shí)用新型公開了石英熱風(fēng)烘干爐，送風(fēng)機(jī)(2)的進(jìn)口連接空氣過(guò)濾器(1)，送風(fēng)機(jī)(2)的出口連接換熱器(3)，在換熱器(3)的上方安裝加料機(jī)(4)，加料機(jī)(4)的上方安裝料斗(5)，在換熱器(3)的出口連接送料管(6)的一端，送料管(6)的另一端連接料倉(cāng)(8)，料倉(cāng)(8)的底部安裝出料閥(9)，料倉(cāng)(8)的頂部安裝排氣口(10)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，操作容易，封閉性好，節(jié)能環(huán)保，產(chǎn)品質(zhì)量能夠得到保證。
文檔編號(hào)F26B3/10GK202420129SQ20112050998
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者李廷華, 洪璐, 金小寧 申請(qǐng)人:東?？h金孚石英制品有限公司