專利名稱：一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，屬于化學氣相沉積用循環(huán)水冷卻的技術領域。 技術背景化學氣相沉積(CVD)工藝是在高溫條件下進行的，為了避免一些金屬部件在高溫條件下融化受損，在生產過程中需對真空爐設備進行冷卻?，F(xiàn)在主要是利用循環(huán)水制冷對真空爐進行冷卻，冷卻的部位有爐體、爐底盤、爐蓋、加熱電極、機械泵和真空泵組等。冷卻水循環(huán)在生產中起到至關重要的作用。由于循環(huán)水管在長期使用過程中，容易發(fā)生金屬管壁腐蝕產生雜質而造成堵塞事故及其他異常情況，因此生產過程中要時刻關注水壓、水溫和水流大小等，及時發(fā)現(xiàn)異常并排除。但是由于循環(huán)水管分布在真空爐爐體的側部、底部等各個位置，生產中檢查時，需要用手來感覺水管溫度、水流速度等來評估循環(huán)水的流通是否正常，這種檢查方式具有一定的主觀性；同時循環(huán)水管較多而分布的位置有時不便于檢查，且在長時間使用后管壁會變硬、不透明，這些因素增加了循環(huán)水檢查工作的難度使得操作人員根據主觀判斷很難及時發(fā)現(xiàn)確定水壓不穩(wěn)、水管堵塞等異常狀況，而錯過最佳的補救時機。
發(fā)明內容針對現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種便于觀察和控制水流大小、隨時檢測回水溫度、合理控制水壓的可觀察循環(huán)水運行的回水箱。該回水箱能確保為CVD工藝提供最佳冷卻的用水量，并便于及時發(fā)現(xiàn)冷卻過程中出現(xiàn)的異常情況。本實用新型的技術方案如下一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側壁設置有可視窗口 ；所述分回水管I分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設置；所述總回水管通過容水箱箱底與容水箱相連通。所述可視窗口與水平的夾角為90-135°。優(yōu)選的，所述可視窗口與水平的夾角為90°。所述的可視窗口為塑料條狀簾式窗口或開放式窗口。所述分回水管II上設置有壓力表和溫度表。本實用新型的優(yōu)點在于I.將本實用新型與CVD工藝生產中的循環(huán)水管相連，工作人員可以通過所述的可視窗口隨時查看各個分回水管的水流狀況，及時辨別水溫、水壓及流速，及時發(fā)現(xiàn)異常情況，有效預防腐蝕堵塞而造成的電極燒毀或其他危險事故的發(fā)生。[0013]2.本實用新型對水流狀況實時控制，節(jié)省用電、用水量，節(jié)約能源。3.本實用新型使回水不直接流入回水池，循環(huán)水從爐體的各個部位出來后各條回水管道集中在所述的回水箱中，在每一條分回水管都標明了所連接的具體循環(huán)管路，如爐蓋回水、電極回水等等，一旦發(fā)現(xiàn)某一循環(huán)管路水流不正常時，即可立刻判斷出對應的冷卻部位出現(xiàn)故障。4.在所述的分回水管II上增設壓力表和溫度表，可隨時觀察回水的溫度和和壓力，有效避免水管堵塞、循環(huán)水量不足等異常情況所帶來的電極或其他部件損壞等嚴重后果O5.本實用新型的整體觀測效果極佳通過對回水箱水壓、水溫和水流大小進行觀測，對整個設備的循環(huán)水情況一目了然，便于及時發(fā)現(xiàn)水流不通暢，水溫過高和水壓不穩(wěn)等不利于生產的情況，以便及時采取措施避免造成生產事故，方便操作。
圖I是本實用新型的結構示意圖；圖2是圖I的側視圖；其中1、分回水管I，1-1、分回水管11，2、觀察箱，3、可視窗口，4、總回水管，5、壓力表，6、溫度表，7、容水箱。
具體實施方式
下面結合實施例和說明書附圖對本實用新型做詳細的說明，但不限于此。實施例I、一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管4，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱2和容水箱7，所述觀察箱2的底面積小于容水箱7的頂面積，觀察箱2的一側壁設置有可視窗口 3 ;所述分回水管I分別通過觀察箱2的頂蓋與觀察箱2相連通，所述分回水管II分別通過觀察箱2的頂蓋與觀察箱2相連通，所述分回水管II的進水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口 3的方向排列設置；所述總回水管4通過容水箱7箱底與容水箱7相連通。所述可視窗口 3與水平的夾角為90°。所述的可視窗口 3為塑料條狀簾式窗口，在所述分回水管II上設置有壓力表5和溫度表6。實施例2、如實施例I所述的回水箱，所不同的是，所述的可視窗口 3為開放式窗口，所述的可視窗口與水平的夾角為135°。本實用新型的工作過程水從水池抽出后，通過進水管進入爐體的循環(huán)管道進行冷卻，各條循環(huán)管道與分回水管I、II相連匯合至觀察箱2，水流直接從觀察箱2頂蓋落下，所述的分回水管標有對應爐體的循環(huán)冷卻部位如爐底回水、爐蓋回水等。各條水流沿觀察箱2進入容水箱7，然后沿容水箱7底部的總回水管4回流至回水池，保證了水的循環(huán)冷卻使用。工作人員通過對觀察箱2上的可視窗口 3對各個分回水管1、11內流入的水流進行觀察，如果水流過大或者過小，就調節(jié)控制閥門使水流正常；可用手直接測試觀察箱2內水的溫度，如果水溫過高或過低時，立刻對分回水管I、II所對應的爐體冷卻部位進行檢查，及時發(fā)現(xiàn)問題，避免生產事故的發(fā)生。同時在分回水管II上安裝壓力表5和溫度表6，尤其是在與電極循環(huán)水管相連的分回水管I上安裝壓力表5和溫度表6，以便及時準確獲取溫度和水壓的信息，防止電極受損造成事故的發(fā)生，降 低損失。
權利要求1.一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側壁設置有可視窗口 ；所述分回水管I分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設置；所述總回水管通過容水箱箱底與容水箱相連通。
2.根據權利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，其特征在于，所述可視窗口與水平的夾角為90-135°。
3.根據權利要求2所述的一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，其特征在于，所述可視窗口與水平的夾角為90°。
4.根據權利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，其特征在于，所述的可視窗口為塑料條狀簾式窗口或開放式窗口。
5.根據權利要求I所述的一種可觀察循環(huán)水運行的回水箱，其特征在于，所述分回水管II上設置有壓力表和溫度表。
專利摘要本實用新型涉及一種可觀察循環(huán)水運行情況的回水箱，包括分回水管I、分回水管II、箱體和總回水管，所述箱體自上而下包括彼此相連通的觀察箱和容水箱，所述觀察箱的底面積小于容水箱的頂面積，觀察箱的一側壁設置有可視窗口；所述分回水管I分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II分別通過觀察箱的頂蓋與觀察箱相連通，所述分回水管II的進水口與電極冷卻回水管相連通，所述分回水管I和分回水管II沿平行于可視窗口的方向排列設置；所述總回水管通過容水箱箱底與容水箱相連通。該回水箱便于及時發(fā)現(xiàn)設備中冷卻水流不通暢，水溫過高和水壓不穩(wěn)等不利于生產的情況，從而及時采取措施避免造成生產事故，方便操作。
文檔編號F27D9/00GK202382580SQ20112056347
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月29日 優(yōu)先權日2011年12月29日
發(fā)明者劉汝強 申請人:劉汝強