專利名稱：高溫擴散爐爐口的爐帽的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種高溫擴散爐，尤其涉及一種具有保溫性能的高溫擴散爐爐口的爐帽。
背景技術：
目前在制造二極管的過程中，雜質(zhì)的擴散需要在高溫擴散爐內(nèi)1200°C以上的高溫下進行，由于雜質(zhì)擴散受溫度的影響很大，恒溫區(qū)溫度1_2°C的波動都會引起擴散結深很大的差異；如圖2所示，目前高溫擴散爐使用的單純的石英爐帽，由于隔熱性能差，很難保證爐體內(nèi)溫度的恒定，嚴重影響擴散的品質(zhì)
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種能夠有效保持爐體內(nèi)溫度穩(wěn)定，提高擴散品質(zhì)的一致性的高溫擴散爐爐口的爐帽。本實用新型的技術方案是所述爐帽為由帽筒和帽蓋構成的桶形，在所述帽蓋的內(nèi)端面上設有與所述爐口適配的內(nèi)塞。所述內(nèi)塞的外徑與所述爐口的內(nèi)徑適配，所述爐口的外徑與所述帽筒的內(nèi)徑相適配。所述內(nèi)塞包括石英質(zhì)的殼體和殼體內(nèi)的保溫填充物。本實用新型在原有普通爐帽的基礎上加入了內(nèi)塞，內(nèi)塞與帽筒之間具有容納爐口的環(huán)形腔體，內(nèi)塞能夠伸入爐口腔內(nèi)，使高溫擴散爐爐帽具有良好的保溫效果，能保持爐體內(nèi)溫度穩(wěn)定，提高擴散品質(zhì)的一致性。

圖I是本實用新型的結構示意圖，圖2是圖I的左視圖，圖3是本實用新型使用狀態(tài)參考圖；圖中I是爐帽，11是帽蓋，12是帽筒，2是內(nèi)塞，21是保溫填充物，22是殼體，3是環(huán)形腔體，4是觀察孔，5是爐口。
具體實施方式
本實用新型如圖1、2所示所述爐帽I為由帽筒12和帽蓋11構成的桶形，在所述帽蓋11的內(nèi)端面上設有與所述爐口 5適配的內(nèi)塞2。一般情況下，在爐蓋I上需設置觀察孔4，在設置內(nèi)塞2的情況下，觀察孔4需貫穿內(nèi)塞2，加長了觀察孔4的長度，這樣相對于現(xiàn)有技術而言，觀察孔4造成的熱量損失能減少。所述內(nèi)塞2的外徑與所述爐口 5的內(nèi)徑適配，所述爐口 5的外徑與所述帽筒12的內(nèi)徑相適配。[0014]所述內(nèi)塞2包括石英質(zhì)的殼體22和殼體22內(nèi)的保溫填充物21。本實用新型使用時，如圖3所示，在內(nèi)塞2與帽筒12之間，具有與爐口 5尺寸相適配的環(huán)形腔體3，爐口 5剛好“嵌入”該環(huán)形腔體3，提升了保溫效果；使高溫擴散爐爐帽具有良好的保溫效果，能保持爐體內(nèi)溫度穩(wěn)定，提高擴散品 質(zhì)的一致性。
權利要求1.高溫擴散爐爐口的爐帽，所述爐帽為由帽筒和帽蓋構成的桶形，其特征在于，在所述帽蓋的內(nèi)端面上設有與所述爐口適配的內(nèi)塞。
2.根據(jù)權利要求I所述的高溫擴散爐爐口的爐帽，其特征在于，所述內(nèi)塞的外徑與所述爐口的內(nèi)徑適配，所述爐口的外徑與所述帽筒的內(nèi)徑相適配。
3.根據(jù)權利要求I或2所述的高溫擴散爐爐口的爐帽，其特征在于，所述內(nèi)塞包括石英質(zhì)的殼體和殼體內(nèi)的保溫填充物。
專利摘要高溫擴散爐爐口的爐帽。涉及一種具有保溫性能的高溫擴散爐爐口的爐帽。提供一種能夠有效保持爐體內(nèi)溫度穩(wěn)定，提高擴散品質(zhì)的一致性的高溫擴散爐爐口的爐帽。所述爐帽為由帽筒和帽蓋構成的桶形，在所述帽蓋的內(nèi)端面上設有與所述爐口適配的內(nèi)塞。本實用新型在原有普通爐帽的基礎上加入了內(nèi)塞，內(nèi)塞與帽筒之間具有容納爐口的環(huán)形腔體，內(nèi)塞能夠伸入爐口腔內(nèi)，使高溫擴散爐爐帽具有良好的保溫效果，能保持爐體內(nèi)溫度穩(wěn)定，提高擴散品質(zhì)的一致性。
文檔編號F27D1/18GK202582207SQ201220259668
公開日2012年12月5日 申請日期2012年6月4日 優(yōu)先權日2012年6月4日
發(fā)明者汪良恩, 王毅, 游佩武 申請人:揚州杰利半導體有限公司