專利名稱：一種潔凈室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種潔凈室。
背景技術(shù)：
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。潔凈室最主要的作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。因而目前在電子行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。現(xiàn)有的潔凈室主要包括潔凈空間、新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)(GeneralExhaust);由于潔凈空間內(nèi)設(shè)有各種加工設(shè)備和輔助設(shè)備，這些設(shè)備在工作過程中會產(chǎn)生大量的廢氣及熱能，需要通過一般排氣系統(tǒng)排出潔凈室之外；而新風(fēng)輸送系統(tǒng)則是給潔凈空間輸送潔凈的新風(fēng)，以補(bǔ)充排出的空氣，從而保證潔凈空間內(nèi)氣壓的平衡。然而，由于新風(fēng)輸送系統(tǒng)一般都是直接利用外部的大氣，因此得到的新風(fēng)的溫度一般在16 18°C。而潔凈空間的溫度一般控制在23°C作用，因而需要對新風(fēng)進(jìn)行除濕或加濕、加熱，這顯然需要消耗大量的能源。另一方面，由一般排氣系統(tǒng)排出潔凈室之外的廢氣(一般可能含有微量污染物的廢氣)則具有較高的溫度(一般在35°C左右)，而現(xiàn)有技術(shù)在中，這部分廢氣一般是通過一般排氣系統(tǒng)直接排到大氣中。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的發(fā)明目的是提供一種潔凈室。為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種潔凈室，包括潔凈空間、新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)，還設(shè)有溫度轉(zhuǎn)換裝置，溫度轉(zhuǎn)換裝置的一端與所述新風(fēng)輸送系統(tǒng)熱連通，另一端與所述和一般排氣系統(tǒng)熱連通，使新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間產(chǎn)生熱量交換。上文中，新風(fēng)輸送系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)和一般排氣系統(tǒng)內(nèi)的廢氣之間是相互隔離的，即兩者是不接觸的；這是因為廢氣中可能含有污染物。對于新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)而言,兩者都具有主管和支管,分布于潔凈室各處。所述溫度轉(zhuǎn)換裝置優(yōu)選設(shè)于新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)的總管處，具體位置可以按實際情況確定及調(diào)整。上述技術(shù)方案中，所述溫度轉(zhuǎn)換裝置為熱管或水循環(huán)系統(tǒng)。該溫度轉(zhuǎn)換裝置的作用是實現(xiàn)新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間的熱量交換，可以采用現(xiàn)有設(shè)備。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點:1、本實用新型設(shè)計得到了一種新的潔凈室結(jié)構(gòu)，通過設(shè)置了溫度轉(zhuǎn)換裝置，充分利用了 一般排氣系統(tǒng)的熱能，并用來提高新風(fēng)的送風(fēng)溫度，從而實現(xiàn)了系統(tǒng)節(jié)能，具有積極的現(xiàn)實意義。2、本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡單，易于制備，適于推廣應(yīng)用。

圖1是本實用新型實施例一中新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)熱量交換的示意圖。其中:1、新風(fēng)輸送系統(tǒng)；2、一般排氣系統(tǒng)；3、溫度轉(zhuǎn)換裝置。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進(jìn)一步描述:實施例一參見圖1所不，一種潔凈室，包括潔凈空間、新風(fēng)輸送系統(tǒng)I和一般排氣系統(tǒng)2,還設(shè)有溫度轉(zhuǎn)換裝置3，溫度轉(zhuǎn)換裝置的一端與所述新風(fēng)輸送系統(tǒng)熱連通，另一端與所述和一般排氣系統(tǒng)熱連通，使新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間產(chǎn)生熱量交換。上文中，新風(fēng)輸送系統(tǒng)內(nèi)的新風(fēng)和一般排氣系統(tǒng)內(nèi)的廢氣之間是相互隔離的，即兩者是不接觸的；這是因為廢氣中具有污染物。對于新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)而言,兩者都具有主管和支管,分布于潔凈室各處。所述溫度轉(zhuǎn)換裝置優(yōu)選設(shè)于新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)的總管處，具體位置可以按實際情況確定及調(diào)整。所述溫度轉(zhuǎn)換裝置可以采用熱管或水循環(huán)系統(tǒng)。該溫度轉(zhuǎn)換裝置的作用是實現(xiàn)新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間的熱量交換，可以采用現(xiàn)有設(shè)備。
權(quán)利要求1.一種潔凈室，包括潔凈空間、新風(fēng)輸送系統(tǒng)(I)和一般排氣系統(tǒng)(2)，其特征在于:還設(shè)有溫度轉(zhuǎn)換裝置(3)，溫度轉(zhuǎn)換裝置的一端與所述新風(fēng)輸送系統(tǒng)熱連通，另一端與所述一般排氣系統(tǒng)熱連通，使新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間產(chǎn)生熱量交換。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室，其特征在于:所述溫度轉(zhuǎn)換裝置為熱管或水循環(huán)系統(tǒng)。
專利摘要本實用新型公開了一種潔凈室，包括潔凈空間、新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)，還設(shè)有溫度轉(zhuǎn)換裝置，溫度轉(zhuǎn)換裝置的一端與所述新風(fēng)輸送系統(tǒng)熱連通，另一端與所述和一般排氣系統(tǒng)熱連通，使新風(fēng)輸送系統(tǒng)和一般排氣系統(tǒng)之間產(chǎn)生熱量交換。本實用新型設(shè)計得到了一種新的潔凈室結(jié)構(gòu)，通過設(shè)置了溫度轉(zhuǎn)換裝置，充分利用了一般排氣系統(tǒng)的熱能，并用來提高新風(fēng)的送風(fēng)溫度，從而實現(xiàn)了系統(tǒng)節(jié)能，具有積極的現(xiàn)實意義。
文檔編號F24F12/00GK203052919SQ20122066033
公開日2013年7月10日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者楊政諭 申請人:亞翔系統(tǒng)集成科技(蘇州)股份有限公司