氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于氮化硅制備裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐。氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，包括水平放置的爐體及與爐體連接的抽真空裝置，爐體一端與封蓋活動(dòng)連接，爐體內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱，爐體外設(shè)有氮?dú)夤蓿獨(dú)夤尥ㄟ^(guò)第一管道與燒結(jié)箱連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，爐中放置、取出匣缽時(shí)方便且高效，安全性高。
【專利說(shuō)明】氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于氮化硅制備裝置【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，在氮化硅燒結(jié)階段，多采用立式真空燒結(jié)爐對(duì)硅粉和氮?dú)膺M(jìn)行燒結(jié)；硅粉放置在匣缽中，然后將多個(gè)匣缽放置于立式真空燒結(jié)爐中，通入氮?dú)膺M(jìn)行高溫?zé)Y(jié)。這種燒結(jié)方式具有如下弊端，燒結(jié)爐較高，加之爐中需要放置多個(gè)匣缽，在燒結(jié)爐中放置、取出匣缽時(shí)操作較難，不僅降低工作效率，而且安全性較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，本實(shí)用新型提供了氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，爐中放置、取出匣缽時(shí)方便且高效，安全性高。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0005]氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，包括水平放置的爐體及與爐體連接的抽真空設(shè)備，所述的爐體一端與封蓋活動(dòng)連接，爐體內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱，爐體外設(shè)有氮?dú)夤?，氮?dú)夤尥ㄟ^(guò)第一管道與燒結(jié)箱連接。
[0006]工作時(shí)，打開爐體端部活動(dòng)連接的封蓋，將燒結(jié)箱從爐體中拉出，將多個(gè)裝有硅粉的匣缽放入燒結(jié)箱中，然后將燒結(jié)箱推入爐體中，封閉封蓋。抽真空裝置將爐體內(nèi)抽成真空，然后氮?dú)夤迌?nèi)的高純氮?dú)馔ㄟ^(guò)第一管道向燒結(jié)箱中輸送氮?dú)?，然后在一定的溫度下燒制氮化硅。?dāng)燒結(jié)完畢后，打開封蓋，將燒結(jié)箱從爐體中拉出，將匣缽從燒結(jié)箱中取出即可。
[0007]優(yōu)選的，所述的燒結(jié)箱底部設(shè)有滑輪。
[0008]滑輪的設(shè)置可以使得燒結(jié)箱進(jìn)、出爐體的過(guò)程更加流暢、高效。
[0009]優(yōu)選的，所述的爐體底部設(shè)有基座，爐體連接封蓋一端外設(shè)有與基座水平等高的支撐架。
[0010]當(dāng)燒結(jié)箱拉至爐體外時(shí)，受到支撐架的支撐，保持所在水平高度不變，防止其內(nèi)部的匣缽傾翻。
[0011]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0012]本實(shí)用新型氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，爐中放置、取出匣缽時(shí)方便且高效，安全性高。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。[0015]如圖1所示，氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，包括水平放置的爐體I及通過(guò)第二管道4與爐體I連接的抽真空裝置3，爐體I底部設(shè)有基座10，爐體I 一端與封蓋2活動(dòng)連接，爐體I該端外設(shè)有與基座10水平等高的支撐架9。爐體I內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱7，爐體I外設(shè)有氮?dú)夤?,氮?dú)夤?通過(guò)第一管道6與燒結(jié)箱7連接,燒結(jié)箱7底部設(shè)有滑輪8。
[0016]工作時(shí)，打開爐體I端部活動(dòng)連接的封蓋2，將燒結(jié)箱7從爐體I中靠滑輪8滑動(dòng)拉出至支撐架9上，將多個(gè)裝有硅粉的匣缽放入燒結(jié)箱7中，然后將燒結(jié)箱7推入爐體I中，封閉封蓋2。抽真空裝置3將爐體I內(nèi)抽成真空,然后爐體I內(nèi)施加高溫并通過(guò)氮?dú)夤?通入氮?dú)?，燒制氮化硅。?dāng)燒結(jié)完畢后，打開封蓋2，將燒結(jié)箱7從爐體中滑動(dòng)拉出至支撐架9上，將匣缽從燒結(jié)箱7中取出即可。
【權(quán)利要求】
1.氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，包括水平放置的爐體及與爐體連接的抽真空設(shè)備，其特征在于，所述的爐體一端與封蓋活動(dòng)連接，爐體內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱，爐體外設(shè)有氮?dú)夤?，氮?dú)夤尥ㄟ^(guò)第一管道與燒結(jié)箱連接。
2.如權(quán)利要求1所述的氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，其特征在于，所述的燒結(jié)箱底部設(shè)有滑輪。
3.如權(quán)利要求1或2所述的氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐，其特征在于，所述的爐體底部設(shè)有基座，爐體連接封蓋一端外設(shè)有與基座水平等高的支撐架。
【文檔編號(hào)】F27B5/06GK203501742SQ201320635376
【公開日】2014年3月26日 申請(qǐng)日期:2013年10月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月15日
【發(fā)明者】劉宗才, 田世昌, 劉榮安 申請(qǐng)人:鄭州駿科納鑫特種陶瓷制品有限公司