一種爐口密封裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，具體涉及了一種爐口密封裝置。該爐口密封裝置包括底板和依次連接的第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板，第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊與底板密封連接，另一邊與爐體的爐口密封連接，第一側(cè)板包括第一側(cè)邊，第三側(cè)板包括第二側(cè)邊，第一側(cè)邊和第二側(cè)邊分別通過(guò)連接塊與主機(jī)箱密封連接，底板與主機(jī)箱密封連接，在第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔，底板上設(shè)有圓孔。該爐口密封裝置能滿足密封要求，避免工藝過(guò)程中有外界氣體滲入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中特定氣體濃度上限（如氧含量），并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放，簡(jiǎn)化了安裝固定結(jié)構(gòu)，便于裝卸，有較好的可維護(hù)性。
【專利說(shuō)明】一種爐口密封裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備，特別是涉及一種爐口區(qū)域密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，主機(jī)箱的主要作用是在工藝前后進(jìn)行硅片的取放和存儲(chǔ)，這個(gè)過(guò)程要求在惰性氣體(如氮?dú)饣驓鍤?環(huán)境中完成，因此保證微環(huán)境內(nèi)部環(huán)境的潔凈度及控制特定氣體濃度上限(如氧含量)至關(guān)重要。另外，在爐口區(qū)域處包含多路工藝氣體進(jìn)出管路，一旦有工藝氣體泄露，將直接進(jìn)入微環(huán)境中，破壞微環(huán)境的潔凈度，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。此外，在工藝過(guò)程結(jié)束、爐口打開(kāi)時(shí)，會(huì)有大量熱量向外溢出到微環(huán)境中，引起微環(huán)境內(nèi)部溫度上升，而微環(huán)境內(nèi)部分元器件材料有一定的耐溫溫度，一旦超出材料的耐溫溫度，將會(huì)導(dǎo)致材料變性、揮發(fā)或產(chǎn)生顆粒，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此，爐口密封裝置需要有很好的密封性才能有效控制微環(huán)境內(nèi)部特定氣體濃度(如氧含量)，并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放。
[0003]由于爐口密封裝置所處的位置會(huì)影響工藝管的拆裝，在做設(shè)備維護(hù)時(shí)需經(jīng)常進(jìn)行拆卸，因此需要爐口密封裝置便于安裝和拆卸。常規(guī)的爐體密封裝置為了滿足密封性能的要求，往往安裝固定結(jié)構(gòu)做得較復(fù)雜，不便于安裝和拆卸，同時(shí)加工制作難度也較大，加工成本高，可維護(hù)性差。
實(shí)用新型內(nèi)容 [0004](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種便于安裝和拆卸的爐口密封裝置，可以滿足密封性能要求，避免在工藝過(guò)程中有外界氣體進(jìn)入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限(如氧含量)，并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放。
[0006](二)技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種爐口密封裝置，包括底板和依次連接的第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊與所述底板密封連接，另一邊與爐體的爐口密封連接，所述第一側(cè)板包括第一側(cè)邊，所述第三側(cè)板包括第二側(cè)邊，所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊分別通過(guò)連接塊與主機(jī)箱密封連接，所述底板與所述主機(jī)箱密封連接，在所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔，所述底板上設(shè)有圓孔。
[0008]其中，所述第一側(cè)邊和第二側(cè)邊的一側(cè)均連接有第一密封墊擋條，另一側(cè)均連接有第二密封墊擋條，所述第一密封墊擋條與所述連接塊連接，所述第二密封墊擋條與所述主機(jī)箱密封連接。
[0009]其中，所述連接塊為幾字形，所述連接塊的兩翼分別設(shè)置有安裝孔，所述連接塊通過(guò)所述安裝孔分別與所述主機(jī)箱和第一密封墊擋條連接。[0010]其中，所述底板為四邊形，其中的三個(gè)邊分別與所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板密封連接，另一條邊與所述主機(jī)箱密封連接。
[0011]其中，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板通過(guò)第三密封墊擋條與所述底板密封連接。
[0012]其中，所述第三密封墊擋條上設(shè)有第二密封墊，所述第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊向一側(cè)彎折，另一邊設(shè)有刀邊壓條，所述刀邊壓條通過(guò)所述第二密封墊與所述底板密封連接。
[0013]其中，所述圓孔連接有密封壓圈。
[0014]其中，所述圓孔的周?chē)O(shè)有螺柱，通過(guò)螺母和所述螺柱的配合將所述底板與所述密封壓圈連接，所述圓孔通過(guò)所述密封壓圈與工藝管的基底連接。
[0015]其中，所述通孔連接有排氣管道。
[0016]其中，所述排氣管道的一側(cè)連接第一法蘭，另一側(cè)連接第二法蘭，所述第一法蘭與所述通孔連接，所述第二法蘭與所述主機(jī)箱連接。
[0017](三)有益效果
[0018]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案具有以下有益效果:本實(shí)用新型的爐口密封裝置包括底板和依次連接的第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板，第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板的一邊與底板密封連接，另一邊與爐體的爐口密封連接，第一側(cè)板包括第一側(cè)邊，第三側(cè)板包括第二側(cè)邊，第一側(cè)邊和第二側(cè)邊分別通過(guò)連接塊與主機(jī)箱密封連接，底板與主機(jī)箱密封連接，在第一側(cè)板、第二側(cè)板和第三側(cè)板中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔，與排氣管道連接時(shí)，可以將出舟過(guò)程中的大量熱量通過(guò)排氣管道排出，底板上設(shè)有圓孔，與工藝管的基底可以密封連接，以確保該爐口密封裝置將微環(huán)境與外界環(huán)境直接密封隔離。本實(shí)用新型的爐口密封裝置可以滿足密封要求，有效避免在工藝過(guò)程中有外界氣體進(jìn)入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限(如氧含量)，并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放，同時(shí)極大地簡(jiǎn)化了安裝固定結(jié)構(gòu)，便于進(jìn)行頻繁的安裝和拆卸，降低了加工制作難度及加工成本，具有較好的可維護(hù)性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置的軸測(cè)視圖；
[0020]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置A處的局部放大視圖；
[0021]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的連接塊的軸測(cè)視圖；
[0022]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)板的軸測(cè)視圖；
[0023]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)板的正視圖；
[0024]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)板B處的局部放大視圖；
[0025]圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例的底板的主視圖；
[0026]圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例的底板C-C線的局部放大剖視圖；
[0027]圖9為本實(shí)用新型實(shí)施例的排氣管道的軸測(cè)視圖；
[0028]圖10為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置在主機(jī)箱中和爐體之間的安裝位置示意圖；
[0029]圖11為本實(shí)用新型實(shí)施例的爐口密封裝置內(nèi)部及其與爐體之間的密封連接結(jié)構(gòu)示意圖。
[0030]其中，1:爐口密封裝置；201:第一側(cè)板；202:第二側(cè)板；203:第三側(cè)板；204:第一側(cè)邊；205:第二側(cè)邊；21:通孔；22:第一密封墊擋條；23:刀邊壓條；25:第二密封墊擋條；26:第一密封墊；27:第二密封墊；3:密封壓圈；4:排氣管道；41:第一法蘭；42:第二法蘭；5:底板；51:圓孔；52:第三密封墊擋條；54:螺柱；6:連接塊；7:螺母；8:主機(jī)箱；9:工藝管；10:爐體。
【具體實(shí)施方式】
[0031]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不能用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。
[0032]在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上；除非另有說(shuō)明，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0033]本實(shí)用新型的爐口密封裝置安裝在爐體10和主機(jī)箱8之間的爐口對(duì)應(yīng)位置，包括底板5和依次連接的第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的一邊與底板5密封連接，另一邊與爐體10的爐口密封連接，第一側(cè)板201包括第一側(cè)邊204，第三側(cè)板203包括第二側(cè)邊205，第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205分別通過(guò)連接塊6與主機(jī)箱8密封連接，底板5與主機(jī)箱8密封連接，在第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔21，與排氣管道4連接時(shí)，可以將出舟過(guò)程中的大量熱量通過(guò)排氣管道4排出，底板5上設(shè)有圓孔51，與工藝管9的基底可以密封連接，以確保該爐口密封裝置I將微環(huán)境與外界環(huán)境直接密封隔離。
[0034]如圖1-圖11所示，具體到本實(shí)施例中的爐口密封裝置I安裝在爐體10和主機(jī)箱8之間的與爐口對(duì)應(yīng)的位置，底板5與爐體10中的工藝管9的基底密封連接，第一側(cè)板201、第三側(cè)板203和底板5分別與主機(jī)箱8密封連接，以保證爐口密封裝置I內(nèi)部與微環(huán)境之間的密封效果。
[0035]如圖1所示,本實(shí)施例的爐口密封裝置I包括底板5和依次連接的第一側(cè)板201、第二側(cè)板202、第三側(cè)板203,呈三面包圍的幾字形結(jié)構(gòu),第一側(cè)板201包括第一側(cè)邊204,第三側(cè)板203包括第二側(cè)邊205，第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205分別通過(guò)連接塊6與主機(jī)箱8密封連接；底板5優(yōu)選為四邊形,其中的三個(gè)邊分別與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203密封連接，另一條邊密封連接主機(jī)箱8，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203密封連接爐體10的爐口，使?fàn)t口密封裝置I的內(nèi)部與微環(huán)境之間隔離密封；底板5上設(shè)有圓孔51，圓孔51密封連接工藝管9的基底，保證底板5與工藝管9的基底之間密封，從而保證爐口密封裝置I的內(nèi)部空間與微環(huán)境之間是密封隔離的；在第二側(cè)板202上設(shè)有一個(gè)與排氣管道4連接的通孔21，方便泄漏的工藝氣體和釋放的熱量排出。
[0036]需要說(shuō)明的是，底板5除了四邊形外，也可以為其它形狀，只要滿足使得第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的一邊可以與底板5密封連接，且底板5與主機(jī)箱8密封連接的底板5都可以適用；除在第二側(cè)板202上設(shè)有通孔21外，也可以在第一側(cè)板201或第三側(cè)板203上設(shè)有通孔21，只要滿足在第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔21的要求都可以適用。
[0037]如圖2、圖4所示，第一側(cè)邊204通過(guò)連接塊6與主機(jī)箱8連接，第一側(cè)邊204的一側(cè)連接有第一密封墊擋條22，另一側(cè)連接有第二密封墊擋條25，第一密封墊擋條22與連接塊6連接，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)第一側(cè)板201與主機(jī)箱8的連接；同樣地，第二側(cè)邊205通過(guò)連接塊6與主機(jī)箱8連接，第二側(cè)邊205的一側(cè)連接有第一密封墊擋條22，另一側(cè)連接有第二密封墊擋條25，第一密封墊擋條22與連接塊6連接，以此來(lái)實(shí)現(xiàn)第三側(cè)板203與主機(jī)箱8的連接；在主機(jī)箱8內(nèi)側(cè)與第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205對(duì)應(yīng)的位置安裝密封墊，第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205作為刀邊直接擠壓主機(jī)箱8內(nèi)側(cè)的密封墊實(shí)現(xiàn)密封。
[0038]考慮實(shí)施例的實(shí)用性和可實(shí)現(xiàn)性，優(yōu)選地，連接塊6可以為幾字型，如圖3所示，連接塊6的兩翼分別設(shè)置有安裝孔，一側(cè)是用于與主機(jī)箱8連接的兩個(gè)并排的小孔，與其對(duì)應(yīng)的另一側(cè)有兩個(gè)并排大孔，用于兩個(gè)小孔處螺釘?shù)陌惭b，大孔一側(cè)設(shè)有與第一密封墊擋條22連接的三個(gè)并排通孔。
[0039]需要說(shuō)明的是，連接塊6除以上形狀外，也可以有其他形狀，只要滿足可以實(shí)現(xiàn)第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205與主機(jī)箱8的密封與連接的連接塊都可以適用。
[0040]如圖11所示，在爐體10的爐口處與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有第一密封墊26，如圖4、圖5所示，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的一邊向一側(cè)彎折，通過(guò)面與面擠壓的面密封方式與第一密封墊26密封連接；如圖
6所示，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的另一邊設(shè)有刀邊壓條23，如圖7所示，底板5上設(shè)有第三密封墊擋條52，第三密封墊擋條52與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202及第三側(cè)板203密封連接，第三密封墊擋條52上設(shè)有第二密封墊27，如圖11所示，刀邊壓條23通過(guò)擠壓第二密封墊27與底板5密封連接，刀邊壓條23由板條經(jīng)兩次相反方向90度彎折而成，一條彎邊的側(cè)面與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203貼緊焊接，另一條彎邊的邊緣用來(lái)壓緊底板5上的第二密封墊27，從而采用硬質(zhì)薄邊擠壓軟質(zhì)密封墊的刀邊密封方式實(shí)現(xiàn)底板5與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203之間的密封連接。
[0041]如圖7、圖8所示，圓孔51通過(guò)密封壓圈3與工藝管9的基底密封連接，圓孔51的周?chē)O(shè)有螺柱54，螺柱54環(huán)繞圓孔51焊接在底板5上，密封壓圈3下設(shè)有多層密封墊，螺柱54通過(guò)和螺母7的配合將密封壓圈3與底板5連接，用于工藝管9的基底與底板5的密封，底板5上安裝的密封墊和密封壓圈3與工藝管9的基底壓緊密封，防止可能泄露的工藝氣體和外界空氣從此滲入到微環(huán)境中，保證微環(huán)境內(nèi)部的空間潔凈度；與螺柱54同圓周均布的孔用來(lái)實(shí)現(xiàn)底板5與工藝管9的基底之間的連接，從而實(shí)現(xiàn)微環(huán)境爐口區(qū)域具有良好的密封性；通過(guò)上述密封措施，確保從工藝開(kāi)始到結(jié)束爐口密封裝置I始終能具有良好的S封效果。
[0042]如圖9所示，排氣管道4 一側(cè)連接第一法蘭41，另一側(cè)連接第二法蘭42，第一法蘭41與通孔21連接，第二法蘭42與主機(jī)箱8的頂板連接，從而使排氣管道一側(cè)與第二側(cè)板202連接，另一側(cè)與主機(jī)箱8連接，使出舟過(guò)程中，釋放的大量熱量和泄露的工藝氣體可以通過(guò)排氣管道4排出，保證微環(huán)境內(nèi)部的空間潔凈度，也可以作為冷卻水等管路的通道。
[0043]如圖10所示，本實(shí)施例的爐口密封裝置I安裝在爐體10與主機(jī)箱8之間的爐口位置，底板5上的圓孔51安裝于工藝管9的基底所在位置，可以通過(guò)圓孔51周?chē)嫉目着c工藝管9的基底連接；圓孔51連接有密封壓圈3，密封壓圈3下設(shè)有一個(gè)或多個(gè)密封墊，以確保工藝管9的基底與底板5保持密封連接狀態(tài)，從工藝開(kāi)始到結(jié)束的過(guò)程中，可以有效避免外界氣體從此滲入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限(如氧
含量)。
[0044]本實(shí)施例的爐口密封裝置I通過(guò)在底板5上設(shè)置螺柱54和螺母7的配合安裝固定密封壓圈3，密封壓圈3下設(shè)有一個(gè)或多個(gè)密封墊，通過(guò)密封壓圈3和密封墊實(shí)現(xiàn)工藝管9的基底與底板5之間的密封；如圖11所示，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的一邊向一側(cè)彎折，通過(guò)面密封的方式與爐口位置的第一密封墊26擠壓連接實(shí)現(xiàn)密封；另一邊設(shè)置有刀邊壓條23，底板5上的第三密封墊擋條52上固定有第二密封墊27，采用硬質(zhì)薄邊擠壓軟質(zhì)密封墊的刀邊密封方式，來(lái)實(shí)現(xiàn)底板5與第一側(cè)板201、第二側(cè)板202或第三側(cè)板203之間的連接與密封；爐口密封裝置I通過(guò)連接塊6與主機(jī)箱8連接，連接塊6與第一側(cè)邊204和第二側(cè)邊205上的第一密封墊擋條22連接，在主機(jī)箱8內(nèi)側(cè)安裝密封墊，第一側(cè)邊204、第二側(cè)邊205作為刀邊直接擠壓主機(jī)箱8內(nèi)側(cè)的密封墊，通過(guò)刀邊密封方式實(shí)現(xiàn)密封；底板5與主機(jī)箱8連接的一邊設(shè)有密封墊，用以實(shí)現(xiàn)底板5與主機(jī)箱8的密封。
[0045]綜上所述，本實(shí)施例的爐口密封裝置I包括底板5和依次連接的第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203，第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203的一邊與底板5密封連接，另一邊與爐體10的爐口密封連接,第一側(cè)板201、第三側(cè)板203和底板5均與主機(jī)箱8密封連接，在所述第一側(cè)板201、第二側(cè)板202和第三側(cè)板203中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔21，與排氣管道4連接時(shí)，可以將出舟過(guò)程中的大量熱量通過(guò)排氣管道4排出，所述底板5上設(shè)有圓孔51，與工藝管9的基底可以密封連接，防止可能泄露的工藝氣體和外界空氣從此滲入到微環(huán)境中，實(shí)現(xiàn)微環(huán)境爐口區(qū)域具有良好的密封性。本實(shí)施例的爐口密封裝置I可以滿足密封要求，有效避免在工藝過(guò)程中有外界氣體進(jìn)入微環(huán)境中，從而控制微環(huán)境中的潔凈度及特定氣體濃度上限，并實(shí)現(xiàn)爐口區(qū)域熱量及泄露氣體的排放，同時(shí)極大地簡(jiǎn)化了安裝固定結(jié)構(gòu)，便于進(jìn)行頻繁的安裝和拆卸，降低了加工制作難度及加工成本，具有較好的可維護(hù)性。
[0046]本實(shí)用新型的實(shí)施例是為了示例和描述起見(jiàn)而給出的，而并不是無(wú)遺漏的或者將本實(shí)用新型限于所公開(kāi)的形式。很多修改和變化對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言是顯而易見(jiàn)的。選擇和描述實(shí)施例是為了更好說(shuō)明本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用，并且使本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠理解本實(shí)用新型從而設(shè)計(jì)適于特定用途的帶有各種修改的各種實(shí)施例。
【權(quán)利要求】
1.一種爐口密封裝置,其特征在于,包括底板和依次連接的第一側(cè)板(201)、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)，所述第一側(cè)板(201 )、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)的一邊與所述底板(5)密封連接，另一邊與爐體(10)的爐口密封連接，所述第一側(cè)板(201)包括第一側(cè)邊(204)，所述第三側(cè)板(203)包括第二側(cè)邊(205)，所述第一側(cè)邊(204)和第二側(cè)邊(205)分別通過(guò)連接塊(6)與主機(jī)箱(8)密封連接，所述底板(5)與所述主機(jī)箱(8)密封連接，在所述第一側(cè)板(201)、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)中的至少一個(gè)上設(shè)有通孔(21)，所述底板(5)上設(shè)有圓孔(51)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述第一側(cè)邊(204)和第二側(cè)邊(205)的一側(cè)均連接有第一密封墊擋條(22)，另一側(cè)均連接有第二密封墊擋條(25)，所述第一密封墊擋條(22)與所述連接塊(6)連接，所述第二密封墊擋條(25)與所述主機(jī)箱(8)密封連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述連接塊(6)為幾字形，所述連接塊(6)的兩翼分別設(shè)置有安裝孔，所述連接塊(6)通過(guò)所述安裝孔分別與所述主機(jī)箱(8)和第一密封墊擋條(22)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述底板(5)為四邊形，其中的三個(gè)邊分別與所述第一側(cè)板(201)、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)密封連接，另一條邊與所述主機(jī)箱(8)密封連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述第一側(cè)板(201)、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)通過(guò)第三密封墊擋條(52)與所述底板(5)密封連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述第三密封墊擋條(52)上設(shè)有第二密封墊(27),所述第一側(cè)板(201)、第二側(cè)板(202)和第三側(cè)板(203)的一邊向一側(cè)彎折，另一邊設(shè)有刀邊壓條(23 )，所述刀邊壓條(23 )通過(guò)所述第二密封墊(27 )與所述底板(5)密封連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述圓孔(51)連接有密封壓圈(3)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述圓孔(51)的周?chē)O(shè)有螺柱(54)，通過(guò)螺母(7)和所述螺柱(54)的配合將所述底板(5)與所述密封壓圈(3)連接，所述圓孔(51)通過(guò)所述密封壓圈(3 )與工藝管(9 )的基底連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述通孔(21)連接有排氣管道(4)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的爐口密封裝置，其特征在于，所述排氣管道(4)的一側(cè)連接第一法蘭(41)，另一側(cè)連接第二法蘭(42)，所述第一法蘭(41)與所述通孔(21)連接，所述第二法蘭(42 )與所述主機(jī)箱(8 )連接。
【文檔編號(hào)】F27D1/18GK203672137SQ201320801087
【公開(kāi)日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】周厲穎, 王麗榮, 孫少東 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司