一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置制造方法
【專利摘要】一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置，其特征在于，包括一個儲水體、流量監(jiān)測設(shè)備與流量調(diào)節(jié)設(shè)備；所述儲水體內(nèi)設(shè)儲水腔體，所述儲水體設(shè)一接通儲水腔體的總進水口和多個都接通儲水腔體的出水口，所述每一出水口都裝設(shè)有流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備；通過對晶體生長爐中的氧化鋁熔夜表面流速的觀測，控制流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備，以達到對各個出水口的冷卻水流量的精確調(diào)節(jié)。
【專利說明】—種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種水量調(diào)節(jié)控制裝置，尤其涉及一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]發(fā)光二極管(Light Emitting Diode, LED)具有壽命長、耗能少、體積小、響應(yīng)快、抗震抗低溫、污染小等突出的優(yōu)點，其應(yīng)用領(lǐng)域極為廣闊，市場潛力巨大，被稱為“人類照明史上的又一次革命?！?LED襯底材料對其性能與成本又重要關(guān)系，因藍寶石晶體具有獨特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學(xué)性能、熱學(xué)性能、光學(xué)性能、機械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，成為實際應(yīng)用的GaN半導(dǎo)體發(fā)光二極管等最為理想的襯底材料，占襯底市場的90%以上。此外藍寶石晶體因其優(yōu)良的綜合性能被廣泛應(yīng)用于科學(xué)技術(shù)、國防與民用工業(yè)的許多領(lǐng)域。
[0003]藍寶石晶體生長過程中，隨著結(jié)晶的不斷進行，晶體重量增加，熔體重量減少，其溫場的邊界條件不斷發(fā)生變化，晶體生長的不同階段對溫場的要求不同，這就要求用于控制各個爐腔溫場的冷卻水能根據(jù)實時情況精確調(diào)節(jié)。
[0004]目前，傳統(tǒng)設(shè)備配置的分水器采用粗管進細管出的簡單結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)無法精確調(diào)節(jié)各出水口的水流量。進而造成各對稱爐腔因水流量的不一致而帶走的熱能不同，導(dǎo)致晶體生長對稱的縱向、橫向溫場溫度梯度發(fā)生變化，不能確保晶體生長溫場溫度梯度的對稱性，從而無法準(zhǔn)確控制晶體生長過程，難以保證晶體生長品質(zhì)的穩(wěn)定。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計簡單，能夠監(jiān)測和調(diào)節(jié)各個出水口的水流量的控制裝置，從而保持晶體生長縱向、橫向溫場溫度梯度的對稱性。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置包括一個儲水體、流量監(jiān)測設(shè)備與流量調(diào)節(jié)設(shè)備。所述儲水體內(nèi)設(shè)儲水腔體，所述儲水體設(shè)一接通儲水腔體的總進水口和多個都接通儲水腔體的出水口，所述每一出水口都裝設(shè)有流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備；通過對晶體生長爐中的氧化鋁熔夜表面流速的觀測，控制流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備，以達到對各個出水口的冷卻水流量的精確調(diào)節(jié)。
[0007]作為優(yōu)選，所述儲水體為圓形盤體，總進水口位于圓盤上表面中心，各出水口的距離到中心進水口的距離均相同，可以使得各出水口的出水水壓均相同，不會出現(xiàn)水壓壓降差。
[0008]作為優(yōu)選，所述流量監(jiān)測設(shè)備為電子流量器，可以實時監(jiān)測各出水口的水流量。
[0009]作為優(yōu)選，所述流量調(diào)節(jié)設(shè)備為水流量調(diào)節(jié)閥，可以調(diào)整各出水口的水流量，使得各對稱的水冷腔獲得的冷卻水量是相同的，從而保證了晶體生長溫度梯度的對稱性。
[0010]綜上所述，本實用新型提供的一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的分水器，能夠在晶體生長過程中根據(jù)不同階段實時調(diào)節(jié)各爐腔的冷卻水水流量，使得對爐腔內(nèi)部溫場溫度的調(diào)控能力得到了加強；提高了大尺寸藍寶石晶體的成品率，也提高了工藝的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，有利于大尺寸藍寶石晶體的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖【具體實施方式】
[0012]下文通過結(jié)合附圖列舉一具體實施例，用以詳細說明本實用新型的內(nèi)容及細節(jié)。
[0013]請參閱圖1，本實用新型提供的一種用于晶體生長爐冷卻調(diào)節(jié)的控制裝置，包括一個儲水體1、流量監(jiān)測設(shè)備2與流量調(diào)節(jié)設(shè)備3，流量監(jiān)測設(shè)備2選擇電子流量器2，流量調(diào)節(jié)設(shè)備選擇水流量調(diào)節(jié)閥3。所述儲水體I選用不銹鋼圓形盤體1，所述不銹鋼圓形盤體I內(nèi)設(shè)儲水腔體，所述不銹鋼圓形盤體的具體尺寸例如為:半徑為250mm、厚度為150mm,不銹鋼材料厚3mm。在不銹鋼圓形盤體I的中心開設(shè)有接通儲水腔體的總進水口 11，用于連接爐膛進水管道，以使外界水能通過總進水口 11注入儲水腔體，所述總進水口 11例如為圓形孔且半徑為56mm。所述不銹鋼圓形盤I四周開設(shè)多個接通儲水腔體的出水口 12，例如為10個，所述各個出水口 12到總進水口 11的距離均相同，可以確保出水水壓均相同，不會出現(xiàn)水壓壓降差。各出水口都裝設(shè)設(shè)有電子流量器2和水流量調(diào)節(jié)閥3，電子流量器2實時監(jiān)測各個出水口 12的水流量，水流量調(diào)節(jié)閥3準(zhǔn)確調(diào)整水流量，使得各對稱的爐腔的溫場溫度可以根據(jù)實際需要實時調(diào)整。
[0014]以上實施例僅為說明本實用新型原理所用，并非本實用新型僅有的實施方式。上述實施例并不應(yīng)視為限制本實用新型的范圍。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在閱讀并理解了前述詳細說明的同時，可以進行修改和變化。具體的保護范圍應(yīng)以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置，其特征在于，包括一個儲水體、流量監(jiān)測設(shè)備與流量調(diào)節(jié)設(shè)備；所述儲水體內(nèi)設(shè)儲水腔體，所述儲水體設(shè)一接通儲水腔體的總進水口和多個都接通儲水腔體的出水口，所述每一出水口都裝設(shè)有流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備；通過對晶體生長爐中的氧化鋁熔夜表面流速的觀測，控制流量監(jiān)測設(shè)備和流量調(diào)節(jié)設(shè)備，以達到對各個出水口的冷卻水流量的精確調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置，其特征在于，所述儲水體為圓形盤體，總進水口位于圓盤上表面中心，各出水口設(shè)在圓盤的周向上，且各出水口到中心進水口的距離相同。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置，其特征在于，所述流量監(jiān)測設(shè)備為電子流量器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體生長爐冷卻水量調(diào)節(jié)的控制裝置，其特征在于，所述流量調(diào)節(jié)設(shè)備為水流量調(diào)節(jié)閥。
【文檔編號】F27D19/00GK203653758SQ201320811769
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2013年12月10日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月10日
【發(fā)明者】楊敏, 黃小衛(wèi), 趙慧彬 申請人:福建鑫晶精密剛玉科技有限公司