厚膜加熱器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種厚膜加熱器，包括厚膜發(fā)熱盤、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤下部的發(fā)熱盤壓塊、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤上部的導(dǎo)熱盤以及加熱池，所述的發(fā)熱盤壓塊與厚膜發(fā)熱盤相接的表面上設(shè)有氣槽，發(fā)熱盤壓塊上的進(jìn)氣接口和出氣接口與氣槽相通；由氟塑料制得或具有氟塑料層的加熱池設(shè)有池蓋和導(dǎo)流板，加熱池上的導(dǎo)流板貼合在導(dǎo)熱盤上，導(dǎo)流板將加熱池的空腔分隔成環(huán)繞式的液體流道，加熱池上設(shè)有與液體流道相通的進(jìn)液接口和出液接口，加熱池在出液接口的一側(cè)安裝有檢測出液溫度的第一溫度傳感器，且第一溫度傳感器的檢測端設(shè)置在液體流道內(nèi)，導(dǎo)熱盤上安裝有第二溫度傳感器。本發(fā)明方便、快速精確控制液體的溫度，工作可靠，提高清洗效率，便于維護(hù)。
【專利說明】厚膜加熱器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在酸堿環(huán)境下工作的厚膜加熱器，屬于液體加熱【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件的化學(xué)腐蝕和清洗工藝中采用腐蝕性液體，清洗工藝需要將腐蝕性液體進(jìn)行加熱。用于加熱腐蝕性液體的電加熱器是將電熱材料設(shè)置在不銹鋼套管內(nèi)，不銹鋼套管與電熱絲之間設(shè)有金屬氧化鎂，在不銹鋼套管外壁涂上聚四氟乙烯，將不銹鋼套管設(shè)置在箱體或筒體內(nèi)，對加入的腐蝕性液體進(jìn)行加熱，雖然這種結(jié)構(gòu)的電加熱器具有耐腐蝕性和加熱液量較大的優(yōu)點(diǎn)。但對于一些半導(dǎo)體器件清洗中，需要先用溫度相對較低的腐蝕性液體進(jìn)行沖洗，然后再用溫度相對較高的腐蝕性液體進(jìn)行沖洗，該種結(jié)構(gòu)的電加熱器不適用。目前一種通過兩道工序用不同溫度的清洗液進(jìn)行清洗，但存在著清洗成本高和清洗效率低的問題；另一種采用一道工序清洗，由于清洗液體溫度不同，需要延長清洗過程中停頓的輔助時間，來降低腐蝕性液體的溫度。由于腐蝕性液體在停止加熱后，僅依靠環(huán)境溫度進(jìn)行降溫，一方面無法實現(xiàn)對液溫進(jìn)行快速調(diào)節(jié)，另一方面也不能準(zhǔn)確控制液溫，不能提高清洗工作效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種方便、快速精確控制液體的溫度，工作可靠，能提高清洗效率，便于維護(hù)的厚膜加熱器。
[0004]本發(fā)明為達(dá)到上述目的的技術(shù)方案是:一種厚膜加熱器，其特征在于:包括厚膜發(fā)熱盤、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤下部的發(fā)熱盤壓塊、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤上部的導(dǎo)熱盤以及加熱池，所述的發(fā)熱盤壓塊與厚膜發(fā)熱盤相接的表面上設(shè)有氣槽，發(fā)熱盤壓塊上的進(jìn)氣接口和出氣接口與氣槽相通；由氟塑料制得或具有氟塑料層的加熱池設(shè)有池蓋和導(dǎo)流板，加熱池上的導(dǎo)流板貼合在導(dǎo)熱盤上，導(dǎo)流板將加熱池的空腔分隔成環(huán)繞式的液體流道，加熱池上設(shè)有與液體流道相通的進(jìn)液接口和出液接口，加熱池在出液接口的一側(cè)安裝有用于檢測出液溫度的第一溫度傳感器，且第一溫度傳感器的檢測端設(shè)置在液體流道內(nèi)，導(dǎo)熱盤上安裝有第二溫度傳感器。
[0005]其中:所述加熱池上的導(dǎo)流板沿加熱池中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道；或加熱池上的導(dǎo)流板為兩個以上正反相接的U形板形成彎道狀的液體流道。
[0006]所述發(fā)熱盤壓塊上的氣槽沿發(fā)熱盤壓塊中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀氣槽；或發(fā)熱盤壓塊上的氣槽為正反相通的兩個以上U形氣槽。
[0007]所述發(fā)熱盤壓塊上的氣槽為相互不通的三個以上氣槽，各氣槽的兩端分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通，發(fā)熱盤壓塊上的進(jìn)氣接口和出氣接口分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通。
[0008]所述發(fā)熱盤壓塊外周設(shè)有環(huán)形凹槽或兩個以上的凹槽，導(dǎo)熱盤外周設(shè)有凸環(huán)或兩個以上的凸塊，導(dǎo)熱盤上的凸環(huán)設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊的環(huán)形凹槽內(nèi)，或?qū)岜P上的凸塊設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊的凹槽內(nèi)，厚膜發(fā)熱盤設(shè)置在導(dǎo)熱盤與發(fā)熱盤壓塊之間。
[0009]還包括氟塑料制成的隔盤，隔盤上設(shè)有安裝腔，安裝腔頂部具有端板，導(dǎo)熱盤、厚膜發(fā)熱盤和發(fā)熱盤壓塊設(shè)置在隔盤的安裝腔內(nèi)，導(dǎo)熱盤與隔盤的端板相接，隔盤和發(fā)熱盤壓塊設(shè)置在中間固定板上，隔盤通過緊固件與中間固定板連接，加熱池設(shè)有的臺階安裝面與隔盤上對應(yīng)的臺階面相配，加熱池通過緊固件安裝在中間固定板上，加熱池上的導(dǎo)流板貼合在隔盤的端板上。
[0010]所述隔盤上設(shè)有限位槽，池蓋上的限位凸塊設(shè)置在隔盤的限位槽內(nèi)。
[0011]所述的中間固定板與底板連接，安裝座通過緊固件與底板連接。
[0012]所述導(dǎo)熱盤的下部設(shè)有凸臺，凸臺穿出厚膜發(fā)熱盤，軸套套在凸臺并頂在厚膜發(fā)熱盤，第二溫度傳感器穿過軸套并旋接在凸起上。
[0013]所述加熱池上設(shè)有內(nèi)小外大臺階形的傳感器安裝孔，漲套設(shè)置在加熱池的傳感器安裝孔內(nèi)，鎖緊螺母旋接在傳感器安裝孔的大孔處并頂在漲套上，第一溫度傳感器穿在鎖緊螺母的通孔和漲套的通孔內(nèi)，且第一溫度傳感器的檢測端設(shè)置在液體流道，漲套的外錐面頂在傳感器安裝孔的臺階處，漲套夾緊溫度傳感器而密封。
[0014]本發(fā)明在厚膜發(fā)熱盤的上部安裝有導(dǎo)熱盤、其下部設(shè)有發(fā)熱盤壓塊，厚膜發(fā)熱盤作為熱源并通過導(dǎo)熱盤對流過加熱池的液體進(jìn)行加熱，并通過設(shè)置在加熱池上的第一溫度傳感器在線檢測出液溫度，通過第一溫度傳感器輸出的信號以調(diào)節(jié)厚膜發(fā)熱盤的功率，以精確控制被加熱液體的溫度。本發(fā)明在發(fā)熱盤壓塊上設(shè)有氣槽，通過發(fā)熱盤壓塊上的進(jìn)氣接口和出氣接口將外部的冷卻氣源通入氣槽內(nèi)，能對已停止加熱的厚膜發(fā)熱盤進(jìn)行快速冷卻，不僅能使厚膜發(fā)熱盤達(dá)到快速降溫，而且也能精度控制液溫，使液溫降至所需溫度，無需延長輔助清洗時間，本發(fā)明即時加熱，液體在流動的過程中完成熱交換，溫升時間短，降溫時間短，溫度可控，能滿足半導(dǎo)體器件一次裝夾能用不同溫度的液體進(jìn)行清洗，能提高清洗效率。本發(fā)明通過第二溫度傳感器在線檢測導(dǎo)熱盤的溫度，當(dāng)厚膜發(fā)熱盤超過設(shè)定溫度時，可降低功率而起將起過載保護(hù)作用，故而提高使用可靠性。本發(fā)明的厚膜發(fā)熱盤熱量通過導(dǎo)熱盤傳至加熱池，而加熱池與厚膜發(fā)熱盤分別設(shè)置，具有較好的維護(hù)性能。本發(fā)明的加熱池采用抗酸、抗堿和耐高溫的氟塑材料，而加熱池通過其導(dǎo)流板將加熱池形成一個環(huán)繞式的液體流道，能增加熱交換面積，并在熱交換的接觸面上限定了液體的流動方向，可以使液體換熱更加充分和均勻，使液體在流動的過程中完成交換，溫升和降溫時間短，使用方便可靠，能廣泛用于小流量、且使用時液體溫度需要變化的場所。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施例作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0016]圖1是本發(fā)明的厚膜加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2是圖1的A-A剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖3是圖2的B-B剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]其中:1 一安裝座，2—底板，3—壓蓋板，4 一緊固件，5—鎖緊螺母，6—中間固定板，7—發(fā)熱盤壓塊，7-1—進(jìn)氣接口，7-2—凸臺，7-3 —出氣接口，7-4—環(huán)形凹槽，8—軸套，9 一第二溫度傳感器，10—厚膜發(fā)熱盤，11 一導(dǎo)熱盤，11-1 一凸環(huán)，12—隔盤，12-1—限位槽，13—加熱池，13-1—出液接口，13-2—限位凸塊，13-3—導(dǎo)流板，13-4—液體流道，13-5—池 蓋，13-6—進(jìn)液接口，13-7—傳感器安裝孔，14一漲套，15—第一溫度傳感器。
【具體實施方式】
[0020]見圖1?3所示，本發(fā)明的厚膜加熱器包括厚膜發(fā)熱盤10、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤10下部的發(fā)熱盤壓塊7、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤10上部的導(dǎo)熱盤11以及加熱池13。見圖2所示，本發(fā)明發(fā)熱盤壓塊7與厚膜發(fā)熱盤10相接的表面上設(shè)有氣槽，發(fā)熱盤壓塊7上的進(jìn)氣接口
7-1和出氣接口 7-3與氣槽相通，本發(fā)明的發(fā)熱盤壓塊7上的氣槽沿發(fā)熱盤壓塊7中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀氣槽，或發(fā)熱盤壓塊7上的氣槽為正板相接兩個以上U形的氣槽，使發(fā)熱盤壓塊7上的氣槽為串聯(lián)結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的發(fā)熱盤壓塊7上的氣槽為相互不通的三個以上氣槽，各氣槽的兩端分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通，發(fā)熱盤壓塊7上的進(jìn)氣接口 7-1和出氣接口 7-3分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通，當(dāng)進(jìn)氣管和出氣管密封連接在發(fā)熱盤壓塊7上的進(jìn)氣接口 7-1和出氣接口 7-3處，將外部冷卻的氣體通入發(fā)熱盤壓塊7的氣槽內(nèi)，能對停止工作后的厚膜發(fā)熱盤10進(jìn)行冷卻，使厚膜發(fā)熱盤10能快速冷卻，再進(jìn)入下一次的清洗，使先流過的清洗液達(dá)到所需的低溫狀態(tài)，即而通過厚膜發(fā)熱盤10加熱使流過的清洗液達(dá)到所需的高溫狀態(tài)。
[0021]見圖2、3所示，本發(fā)明由氟塑料制得或具有氟塑料層的加熱池13設(shè)有池蓋13-5和導(dǎo)流板13-3，且加熱池13上的導(dǎo)流板13-3貼合在導(dǎo)熱盤11上，使清洗液沿液體流道13-4而流動，本發(fā)明的導(dǎo)熱盤11可采用耐腐蝕金屬材料制成，厚膜發(fā)熱盤10的熱量通過導(dǎo)熱盤11對流經(jīng)的液體進(jìn)行均勻加熱。見圖2、3所示，本發(fā)明導(dǎo)流板13-3將加熱池13的空腔分隔成環(huán)繞式的液體流道13-4，加熱池13上設(shè)有與液體流道13-4相通的進(jìn)液接口 13-6和出液接口 13-1，將進(jìn)液管和出液管密封連接在加熱池13的進(jìn)液接口 13-6和出液接口
13-1時，清洗液流經(jīng)加熱池13時能進(jìn)行即時加熱。見圖3所示，本發(fā)明加熱池13上的導(dǎo)流板13-3沿加熱池13中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道13-4，通過螺旋形的液體流道減小了液體流動的阻力。本發(fā)明加熱池13上的導(dǎo)流板13-3為兩個以上正反相接的U形板并形成彎道狀的液體流道13-4，因此可通過環(huán)繞式的液體流道13-4對清洗液進(jìn)行即時加熱，提高加熱效率，使液體在流動的過程中完成熱交換，能在短時間內(nèi)進(jìn)行升溫和降溫。
[0022]見圖1?3所示，本發(fā)明加熱池13在出液接口 13-1的一側(cè)安裝有用于檢測出液溫度的第一溫度傳感器15，第一溫度傳感器15的檢測端設(shè)置在液體流道13-4內(nèi)，通過第一溫度傳感器15準(zhǔn)確檢測出液溫度，以方便控制厚膜發(fā)熱盤10的功率，調(diào)節(jié)液體的加熱溫度。
[0023]見圖3所示，本發(fā)明加熱池13上設(shè)有內(nèi)小外大臺階形的傳感器安裝孔13-7，漲套14設(shè)置在加熱池13的傳感器安裝孔13-7內(nèi)，鎖緊螺母5旋接在傳感器安裝孔13-7的大孔處并頂在漲套14上，第一溫度傳感器15穿在鎖緊螺母5的通孔和漲套14的通孔內(nèi)，使第一溫度傳感器15的檢測端位于液體流道13-4，漲套14的外錐面頂在傳感器安裝孔13-7的臺階處，漲套14夾緊第一溫度傳感器15而密封，在鎖緊螺母5旋接在傳感器安裝孔13-7上時，可使?jié)q套14軸向移動，由于漲套14上的外錐面頂在傳感器安裝孔13-7的臺階處，能將鎖緊螺母5作用在漲套14上的軸向力轉(zhuǎn)為徑向力，由于漲套14的變形，從而消除漲套14與第一溫度傳感器15之間的縫隙而夾緊第一溫度傳感器15，同時漲套14的外錐面也與傳感器安裝孔13-7的臺階處的密封，達(dá)到長期密封防滲漏的效果。[0024]見圖2所示，本發(fā)明導(dǎo)熱盤11上安裝有第二溫度傳感器9，通過第二溫度傳感器9在線檢測厚膜發(fā)熱盤10瞬時發(fā)熱溫度，當(dāng)其溫度超出設(shè)定溫度，通過第二溫度傳感器9輸出信號而調(diào)節(jié)厚膜發(fā)熱盤10的功率，以起到過載保護(hù)作用。見圖2所示，本發(fā)明導(dǎo)熱盤11的下部設(shè)有凸臺7-2，凸臺7-2穿出厚膜發(fā)熱盤10，軸套8套在凸臺7-2并頂在厚膜發(fā)熱盤10，第二溫度傳感器9穿過軸套8并旋接在凸起上，能方便將第二溫度傳感器9安裝在導(dǎo)熱盤11上。
[0025]見圖1、2所示，本發(fā)明為進(jìn)一步提高維護(hù)性能，還具有由耐腐蝕的氟塑料制成或具有氟塑料層的隔盤12，隔盤12上的氟塑料層可設(shè)置其外周，隔盤12上設(shè)有安裝腔，安裝腔頂部具有端板，導(dǎo)熱盤11、厚膜發(fā)熱盤10和發(fā)熱盤壓塊7設(shè)置在隔盤12的安裝腔內(nèi)，且隔盤12和發(fā)熱盤壓塊7設(shè)置在中間固定板6上，使導(dǎo)熱盤11與隔盤12的端板相接，本發(fā)明在發(fā)熱盤壓塊7的外周設(shè)有環(huán)形凹槽7-4或兩個以上的凹槽，導(dǎo)熱盤11外周設(shè)有凸環(huán)11-1或兩個以上的凸塊，導(dǎo)熱盤11的凸環(huán)11-1設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊7的環(huán)形凹槽7-4內(nèi)，或?qū)岜P11上的凸塊設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊7的凹槽內(nèi)，使厚膜發(fā)熱盤10設(shè)置在導(dǎo)熱盤11與發(fā)熱盤壓塊7之間,本發(fā)明隔盤12上的端板為薄壁結(jié)構(gòu),端板的厚度控制在0.5?5mm之間,最好該厚度控制在0.8?2_之間，隔盤12通過緊固件與中間固定板6連接，本發(fā)明中間固定板6可采用金屬材料制成，通過隔盤12將加熱池13與導(dǎo)熱盤11和厚膜發(fā)熱盤10完全隔離，清洗液僅在隔盤12與加熱池13之間通過，提高加熱器的使用可靠性，并具有較好的維護(hù)性。見圖1所示，本發(fā)明加熱池13設(shè)有的臺階安裝面與隔盤13對應(yīng)的臺階面相配，加熱池13通過緊固件安裝在中間固定板6上，加熱池13上的導(dǎo)流板13-3貼合在隔盤12的端板上，本發(fā)明在加熱池13的上部還可安裝有壓蓋板3，緊固件4穿過加熱池13連接在中間固定板6上，將加熱池13上的導(dǎo)流板13-3緊密貼合在隔盤12上。本發(fā)明方便安裝定位，隔盤12上設(shè)有限位槽12-1，池蓋13-5上的限位凸塊13-2設(shè)置在隔盤13的限位槽12_1內(nèi)。
[0026]見圖1、2所示，本發(fā)明中間固定板6與底板2連接，本發(fā)明的中間固定板6可嵌接在底板2上，或本發(fā)明的中間固定板6通過緊固件與底板2連接，設(shè)置在底板2下部的安裝座I通過緊固件與底板2連接，該安裝座I上設(shè)有安裝孔，可通過緊固件將安裝座I安裝在清洗工位處。
【權(quán)利要求】
1.一種厚膜加熱器，其特征在于:包括厚膜發(fā)熱盤(10)、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤(10)下部的發(fā)熱盤壓塊(7)、設(shè)置在厚膜發(fā)熱盤(10)上部的導(dǎo)熱盤(11)以及加熱池(13)，所述的發(fā)熱盤壓塊(7)與厚膜發(fā)熱盤(10)相接的表面上設(shè)有氣槽，發(fā)熱盤壓塊(7)上的進(jìn)氣接口(7-1)和出氣接口(7-3)與氣槽的兩側(cè)相通；由氟塑料制得或具有氟塑料層的加熱池(13)設(shè)有池蓋(13-5)和導(dǎo)流板(13-3)，加熱池(13)上的導(dǎo)流板(13-3)貼合在導(dǎo)熱盤(11)上，導(dǎo)流板(13-3)將加熱池(13)的空腔分隔成環(huán)繞式的液體流道(13-4)，加熱池(13)上設(shè)有與液體流道(13-4)相通的進(jìn)液接口( 13-6)和出液接口( 13-1 )，加熱池(13)在出液接口(13-1)的一側(cè)安裝有用于檢測出液溫度的第一溫度傳感器(15)，且第一溫度傳感器(15)的檢測端設(shè)置在液體流道(13-4 )內(nèi)，導(dǎo)熱盤(11)上安裝有第二溫度傳感器(9 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述加熱池(13)上的導(dǎo)流板(13-3)沿加熱池(13)中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀的液體流道(13-4);或加熱池(13)上的導(dǎo)流板(13-3)為兩個以上正反相接的U形板形成彎道狀的液體流道(13-4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述發(fā)熱盤壓塊(7)上的氣槽沿發(fā)熱盤壓塊(7)中心外向旋轉(zhuǎn)并形成螺旋狀氣槽；或發(fā)熱盤壓塊(7)上的氣槽為正反相通的兩個以上U形氣槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述發(fā)熱盤壓塊(7)上的氣槽為相互不通的三個以上氣槽，各氣槽的兩端分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通，發(fā)熱盤壓塊(7)上的進(jìn)氣接口(7-1)和出氣接口(7-3)分別與進(jìn)氣匯集槽和出氣匯集槽相通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述發(fā)熱盤壓塊(7)外周設(shè)有環(huán)形凹槽(7-4)或兩個以上的凹槽，導(dǎo)熱盤(11)外周設(shè)有凸環(huán)(11-1)或兩個以上的凸塊，導(dǎo)熱盤(11)上的凸環(huán)(11-1)設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊(7)的環(huán)形凹槽(7-4)內(nèi)，或?qū)岜P(11)上的凸塊設(shè)置在發(fā)熱盤壓塊(7)的凹槽內(nèi)，厚膜發(fā)熱盤(10)設(shè)置在導(dǎo)熱盤(11)與發(fā)熱盤壓塊(7)之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:還包括氟塑料制成的隔盤(12)，隔盤(12)上設(shè)有安裝腔，安裝腔頂部具有端板，導(dǎo)熱盤(11)、厚膜發(fā)熱盤(10)和發(fā)熱盤壓塊(7)設(shè)置在隔盤(12)的安裝腔內(nèi)，導(dǎo)熱盤(11)與隔盤(12)的端板相接，隔盤(12)和發(fā)熱盤壓塊(7)設(shè)置在中間固定板(6)上，隔盤(12)通過緊固件與中間固定板(6)連接，加熱池(13)設(shè)有的臺階安裝面與隔盤(12)上對應(yīng)的臺階面相配，加熱池(13)通過緊固件安裝在中間固定板(6 )上，加熱池(13 )上的導(dǎo)流板(13-3)貼合在隔盤(12 )的端板上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述隔盤(12)上設(shè)有限位槽(12-1)，池蓋(13-5)上的限位凸塊(13-2)設(shè)置在隔盤(12)的限位槽(12_1)內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述的中間固定板(6)與底板(2)連接，安裝座(1)通過緊固件與底板(2 )連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述導(dǎo)熱盤(11)的下部設(shè)有凸臺(7-2)，凸臺(7-2)穿出厚膜發(fā)熱盤(10)，軸套(8)套在凸臺(7-2)并頂在厚膜發(fā)熱盤(10)，第二溫度傳感器(9)穿過軸套(8)并旋接在凸起上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的厚膜加熱器，其特征在于:所述加熱池(13)上設(shè)有內(nèi)小外大臺階形的傳感器安裝孔(13-7)，漲套(14)設(shè)置在加熱池(13)的傳感器安裝孔(13-7)內(nèi)，鎖緊螺母(5)旋接在傳感器安裝孔(13-7)的大孔處并 頂在漲套(14)上，第一溫度傳感器(15).穿在鎖緊螺母(5)的通孔和漲套(14)的通孔內(nèi)，且第一溫度傳感器(15)的檢測端設(shè)置在液體流道(13-4)，漲套(14)的外錐面頂在傳感器安裝孔(13-7)的臺階處，漲套(14)夾緊溫度傳感器而密封。
【文檔編號】F24H9/20GK103808000SQ201410069227
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2014年2月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年2月27日
【發(fā)明者】鄔治國, 金輝 申請人:常州瑞擇微電子科技有限公司