一種靶材燒結(jié)載板的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種靶材燒結(jié)載板，包括燒結(jié)載板本體，所述燒結(jié)載板本體上均布有固定孔，所述固定孔內(nèi)嵌設(shè)有圓珠體，所述圓珠體凸出于燒結(jié)載板表面，采用以上結(jié)構(gòu)，靶材與燒結(jié)載板本體之間因為圓珠體的存在形成間隙，因此能夠顯著地減少靶材發(fā)生粘接的現(xiàn)象，從而改善了靶材的燒結(jié)質(zhì)量。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理，成本低廉，具有良好的經(jīng)濟技術(shù)效益。
【專利說明】一種靶材燒結(jié)載板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種靶材燒結(jié)載板。

【背景技術(shù)】
[0002]燒結(jié)，是把粉狀物料轉(zhuǎn)變?yōu)橹旅荏w，是一個傳統(tǒng)的工藝過程，人們很早就利用這個工藝來生產(chǎn)陶瓷?，F(xiàn)有技術(shù)對陶瓷靶材進行燒結(jié)時，一般是在燒結(jié)載板表面鋪上一層氧化鋁粉末，再將靶材置于燒結(jié)載板上進行燒結(jié)。這種燒結(jié)載板結(jié)構(gòu)，使用時存在明顯的缺陷，例如燒結(jié)的靶材容易粘接在一起，冷卻后無法分開，燒結(jié)質(zhì)量差，同時燒結(jié)后的靶材也比較難于冷卻，影響了工作效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能夠顯著改善靶材燒結(jié)質(zhì)量的靶材燒結(jié)載板。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種靶材燒結(jié)載板，包括燒結(jié)載板本體，所述燒結(jié)載板本體上均布有固定孔，所述固定孔內(nèi)嵌設(shè)有圓珠體，所述圓珠體凸出于燒結(jié)載板本體表面。
[0006]所述燒結(jié)載板本體兩端設(shè)有缺口。
[0007]所述燒結(jié)載板本體由剛玉成型。
[0008]所述固定孔呈矩陣排列。
[0009]所述圓珠體的球徑為0.5?lcm。
[0010]所述圓珠體為氧化鋁成型。
[0011]本實用新型采用以上技術(shù)方案，在燒結(jié)載板本體上均布固定孔，所述固定孔內(nèi)嵌設(shè)圓珠體，采用這樣的結(jié)構(gòu)，靶材與燒結(jié)載板本體之間因為圓珠體的存在形成間隙，增加空氣流通，從而改善了靶材的燒結(jié)質(zhì)量，同時，靶材與燒結(jié)載板之間是點接觸，而不是現(xiàn)有技術(shù)的面接觸，因此能夠顯著地減少靶材發(fā)生粘接的現(xiàn)象。此外，由于在燒結(jié)過程中燒結(jié)載板本體因為受熱會膨脹，在燒結(jié)載板本體的兩側(cè)設(shè)置缺口，有利于熱量釋放，可以提高燒結(jié)載板本體的使用壽命。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理，成本低廉，并且顯著改善了靶材的燒結(jié)質(zhì)量，具有良好的經(jīng)濟技術(shù)效益。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]以下結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步詳細的說明:
[0013]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實用新型的剖視圖。

【具體實施方式】
[0015]如圖1或2所示，本實用新型的靶材燒結(jié)載板，包括燒結(jié)載板本體I，所述燒結(jié)載板本體I上均布有固定孔，所述固定孔內(nèi)嵌設(shè)有圓珠體3，所述圓珠體3凸出于燒結(jié)載板本體I表面。
[0016]所述燒結(jié)載板本體I兩端設(shè)有缺口 2，所述燒結(jié)載板本體I由剛玉成型。
[0017]所述固定孔呈矩陣排列。
[0018]所述圓珠體3的球徑為0.5?lcm,所述圓珠體3為氧化招成型。
[0019]本實用新型的靶材燒結(jié)載板，靶材與燒結(jié)載板本體I之間因為圓珠體3的存在形成間隙，增加空氣流通，從而改善了靶材的燒結(jié)質(zhì)量，同時，靶材與燒結(jié)載板本體I之間是點接觸，而不是現(xiàn)有技術(shù)的面接觸，因此能夠顯著地減少靶材發(fā)生粘接的現(xiàn)象。此外，由于在燒結(jié)過程中燒結(jié)載板本體I因為受熱會膨脹，在燒結(jié)載板本體I的兩側(cè)設(shè)置缺口 2，有利于熱量釋放，可以提高燒結(jié)載板本體I的使用壽命。
【權(quán)利要求】
1.一種靶材燒結(jié)載板，包括燒結(jié)載板本體，其特征在于:所述燒結(jié)載板本體上均布有固定孔，所述固定孔內(nèi)嵌設(shè)有圓珠體，所述圓珠體凸出于燒結(jié)載板本體表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材燒結(jié)載板，其特征在于:所述燒結(jié)載板本體兩端設(shè)有缺口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材燒結(jié)載板，其特征在于:所述燒結(jié)載板本體由剛玉成型。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材燒結(jié)載板，其特征在于:所述固定孔呈矩陣排列。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材燒結(jié)載板，其特征在于:所述圓珠體的球徑為0.5?Icm0
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材燒結(jié)載板，其特征在于:所述圓珠體為氧化鋁成型。
【文檔編號】F27D5/00GK204165404SQ201420562054
【公開日】2015年2月18日 申請日期:2014年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月26日
【發(fā)明者】侯則良, 王維綱 申請人:福建省諾希新材料科技有限公司