本發(fā)明涉及從水生成過(guò)熱水蒸氣的過(guò)熱水蒸氣生成裝置和使用了所述過(guò)熱水蒸氣生成裝置的處理方法。

背景技術(shù)：

近年來(lái)，開(kāi)發(fā)了使用過(guò)熱水蒸氣對(duì)被處理物進(jìn)行清洗、干燥或殺菌的過(guò)熱水蒸氣處理裝置。

如專利文獻(xiàn)1所示，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置具備生成過(guò)熱水蒸氣的過(guò)熱裝置、以及由所述過(guò)熱裝置生成的過(guò)熱水蒸氣所供給的熱處理爐，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置對(duì)所述熱處理爐中收容的被處理物進(jìn)行清洗、干燥或殺菌。

在所述處理裝置中，在熱處理爐的內(nèi)部設(shè)有噴出由所述過(guò)熱裝置生成的過(guò)熱水蒸氣的蒸汽管(導(dǎo)入管)。

在此，在熱處理爐的內(nèi)部充滿水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣的狀態(tài)下，由于氧不存在或濃度極低，所以難以發(fā)生因蒸汽管的氧化導(dǎo)致的劣化。

可是，在熱處理爐的內(nèi)部未充滿水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣的狀態(tài)下，成為了高溫的蒸汽管與殘留于熱處理爐的內(nèi)部的大氣中的氧結(jié)合并發(fā)生氧化。其結(jié)果，導(dǎo)致蒸汽管劣化，從而使裝置壽命降低。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2006-226561號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是用于解決所述問(wèn)題而做出的發(fā)明，本發(fā)明的主要目的是抑制被加熱到高溫的流道形成體的氧化。

即，本發(fā)明提供一種過(guò)熱水蒸氣處理裝置，其包括：過(guò)熱水蒸氣生成部，對(duì)在內(nèi)部形成有流道的、由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的流道形成體進(jìn)行通電加熱并對(duì)流過(guò)所述流道的水蒸氣進(jìn)行加熱，由此生成過(guò)熱水蒸氣；以及過(guò)熱水蒸氣收容部，在該過(guò)熱水蒸氣收容部配置有所述流道形成體的一部分或全部，由所述流道形成體生成的過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入該過(guò)熱水蒸氣收容部，所述流道形成體由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成，所述過(guò)熱水蒸氣生成部能夠以將所述流道形成體的溫度切換為小于所述氧化開(kāi)始溫度的溫度和所述氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。

在此，氧化開(kāi)始溫度是比100℃高的溫度，是在大氣中導(dǎo)電性材料的氧化急速進(jìn)展的溫度。即，在小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下，在大氣中導(dǎo)電性材料的氧化速度小、是實(shí)質(zhì)上能夠無(wú)視的程度；在氧化開(kāi)始溫度以上的溫度下，在大氣中導(dǎo)電性材料的氧化速度變大，因氧化導(dǎo)致的腐蝕大。

按照這種過(guò)熱水蒸氣處理裝置，由于能夠以將具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的、由導(dǎo)電性材料形成的流道形成體的溫度切換為小于氧化開(kāi)始溫度的溫度和氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，所以只要在使流道形成體小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)并使過(guò)熱水蒸氣收容部被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿，此后以使流道形成體的溫度成為氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)，就能夠防止流道形成體被大氣中的氧氧化。

具體地說(shuō)，優(yōu)選的是，在所述過(guò)熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之前，所述過(guò)熱水蒸氣生成部以使所述流道形成體的溫度成為小于所述氧化開(kāi)始溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)并將水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入所述過(guò)熱水蒸氣收容部，在所述過(guò)熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之后，所述過(guò)熱水蒸氣生成部以使所述流道形成體的溫度成為所述氧化開(kāi)始溫度以上的方式運(yùn)轉(zhuǎn)并將過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入所述過(guò)熱水蒸氣收容部。

例如，如果在氧化開(kāi)始溫度以上運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)下打開(kāi)過(guò)熱水蒸氣收容部的門并取出被處理物，則空氣從外部流入，會(huì)導(dǎo)致過(guò)熱水蒸氣生成部的流道形成體氧化。因此，優(yōu)選的是，在從所述過(guò)熱水蒸氣收容部被過(guò)熱水蒸氣充滿且所述流道形成體為所述氧化開(kāi)始溫度以上的狀態(tài)到成為從所述過(guò)熱水蒸氣收容部的外部流入過(guò)熱水蒸氣以外的氣體的狀態(tài)之前，所述過(guò)熱水蒸氣生成部以使所述流道形成體的溫度成為小于所述氧化開(kāi)始溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。

作為所述過(guò)熱水蒸氣生成部的具體結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的是，2n個(gè)作為所述流道形成體的導(dǎo)體管以成為彼此平行的方式配置，n是1以上的整數(shù)，2n個(gè)所述導(dǎo)體管的一端部彼此電連接，在2n個(gè)所述導(dǎo)體管的另一端部上以與彼此相鄰的另一端部連接的單相交流電源的極性不同的方式交替連接有單相交流電源的u相和v相。按照該結(jié)構(gòu)，由于流過(guò)彼此相鄰的導(dǎo)體管的電流成為彼此反向，所以由各個(gè)電流產(chǎn)生的磁通彼此抵消，能夠降低導(dǎo)體管產(chǎn)生的阻抗，能夠改善電路功率因數(shù)。因此，能夠提高流體加熱裝置的設(shè)備效率。

作為所述過(guò)熱水蒸氣生成部的另一具體結(jié)構(gòu)，優(yōu)選的是，3n個(gè)作為所述流道形成體的導(dǎo)體管以成為彼此平行的方式配置，n是1以上的整數(shù)，3n個(gè)所述導(dǎo)體管的一端部彼此電連接，在3n個(gè)所述導(dǎo)體管的另一端部上以與連續(xù)排列的三個(gè)另一端部連接的三相交流電源的極性分別不同的方式交替連接有三相交流電源的u相、v相和w相。按照該結(jié)構(gòu)，由于以與連續(xù)排列的三個(gè)另一端部連接的三相交流電源的極性分別不同的方式連接有三相交流電源的u相、v相和w相，所以由流過(guò)連續(xù)排列的三個(gè)導(dǎo)體管的電流產(chǎn)生的磁通彼此抵消，能夠降低導(dǎo)體管產(chǎn)生的阻抗，能夠改善電路功率因數(shù)。因此，能夠提高流體加熱裝置的設(shè)備效率。

優(yōu)選的是，所述過(guò)熱水蒸氣收容部具有排出部，所述排出部將被供給的水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣排出。按照該結(jié)構(gòu)，能夠總是供給水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣，并能將過(guò)熱水蒸氣收容部總是保持為低氧狀態(tài)。

在生成高溫的過(guò)熱水蒸氣的情況下，因?yàn)檫^(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的溫度成為高溫，所以過(guò)熱水蒸氣收容部外的流道形成體或與流道形成體連接的流道連接部(例如通電構(gòu)件和外部配管)也大多成為高溫。在此，過(guò)熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部如果成為氧化開(kāi)始溫度以上，則會(huì)導(dǎo)致流道形成體或流道連接部的壽命降低。

因此，優(yōu)選的是，在所述流道形成體或與所述流道形成體連接的流道連接部，所述過(guò)熱水蒸氣收容部外的部分的通電截面面積比所述過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的部分的通電截面面積大，或者所述過(guò)熱水蒸氣收容部外的通電部分的電阻比所述過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的通電部分的電阻小。按照該結(jié)構(gòu)，能夠抑制過(guò)熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部的發(fā)熱，能夠維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

此外，如果能夠把過(guò)熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部冷卻到小于氧化開(kāi)始溫度，則能夠抑制流道形成體或流道連接部的壽命降低。因此，除了所述過(guò)熱水蒸氣收容部以外，另外設(shè)置有水蒸氣導(dǎo)入部，所述流道形成體或與所述流道形成體連接的流道連接部貫穿所述水蒸氣導(dǎo)入部，并且水蒸氣導(dǎo)入所述水蒸氣導(dǎo)入部。按照該結(jié)構(gòu)，通過(guò)向水蒸氣導(dǎo)入部導(dǎo)入100℃以上且小于氧化開(kāi)始溫度的水蒸氣，能夠?qū)⑦^(guò)熱水蒸氣收容部外的流道形成體或流道連接部維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

在此，可以從外部將溫度調(diào)整過(guò)了的過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入水蒸氣導(dǎo)入部，也可以在水蒸氣收容部設(shè)置過(guò)熱水蒸氣產(chǎn)生部，從外部導(dǎo)入飽和水蒸氣并由所述過(guò)熱水蒸氣產(chǎn)生部產(chǎn)生過(guò)熱水蒸氣。

所述流道形成體當(dāng)然必須在熔點(diǎn)以下的溫度下使用。因此，雖然優(yōu)選的是盡量使用熔點(diǎn)高的材質(zhì)形成流道形成體，但是在實(shí)用上，易得性和加工性、以及材料成本和加工成本都是重要的因素。

例如，具有2000℃以上的熔點(diǎn)的金屬有如下的金屬。

鎢(熔點(diǎn)：3443℃)，鉭(熔點(diǎn)：3027℃)，鋨(熔點(diǎn)：2697℃)，鉬(熔點(diǎn)：2622℃)，鈮(熔點(diǎn)：2500℃)，鈳(熔點(diǎn)2500℃)，銥(熔點(diǎn)：2454℃)，釕(熔點(diǎn)：2427℃)，鋯(熔點(diǎn)：2127℃)

在所述的金屬中，熔點(diǎn)為2000℃以上、易得性和加工性較好且針對(duì)高溫過(guò)熱水蒸氣不易發(fā)生化學(xué)變化的是純銥和銥合金。圖7是將鎢、鉭、鉬、鈦和銥在1000℃以上的過(guò)熱水蒸氣氣氛中放置了1.5～6小時(shí)后的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。銥的重量減少率為1.4％，為測(cè)量誤差的程度，但是鉬的重量減少率為50.5％、鉭的重量減少率為30.8％、鎢的重量減少率為15.7％，都是較大的值，實(shí)用化是困難的。而鈦則增加了24.4％，認(rèn)為這是因?yàn)榕c水分子中的氧原子或氫原子化合后生成了氧化物等導(dǎo)致重量增加了。，該情況的材質(zhì)也變化為其它物質(zhì)，實(shí)用化是困難的。

作為檢測(cè)所述流道形成體的溫度的具體實(shí)施方式，過(guò)熱水蒸氣處理裝置可以具備溫度檢測(cè)機(jī)機(jī)構(gòu)，所述溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述流道形成體的電阻值，計(jì)算所述流道形成體的溫度。具體地說(shuō)，過(guò)熱水蒸氣處理裝置包括：電壓檢測(cè)部，檢測(cè)施加到所述流道形成體上的交流電壓；電流檢測(cè)部，檢測(cè)流過(guò)所述流道形成體的電流；以及溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)，根據(jù)通過(guò)由所述電壓檢測(cè)部得到的電壓值和從所述電流檢測(cè)部得到的電流值得到的阻抗與所述流道形成體的溫度的關(guān)系，計(jì)算所述流道形成體的溫度。按照該結(jié)構(gòu)，通過(guò)對(duì)流道形成體通電，能夠電氣性地測(cè)量流道形成體的溫度，能夠容易地測(cè)量溫度。此外，過(guò)熱水蒸氣處理裝置也可以包括：直流電源，對(duì)所述流道形成體施加直流電壓；電流檢測(cè)部，檢測(cè)流過(guò)所述流道形成體的直流電流；以及溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)，根據(jù)通過(guò)所述直流電壓和從所述電流檢測(cè)部得到的電流值得到的電阻值與所述流道形成體的溫度的關(guān)系，計(jì)算所述流道形成體的溫度。

優(yōu)選的是，除了所述流道形成體以外，在過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)另外設(shè)置有金屬體，所述金屬體具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置還包括溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)根據(jù)所述金屬體的電阻值，計(jì)算所述過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的氣氛溫度。通過(guò)在過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)設(shè)置金屬體，在對(duì)金屬體不通電的狀態(tài)或流過(guò)不會(huì)大幅發(fā)熱程度的微弱的電流的狀態(tài)下，金屬體與過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的氣氛溫度成為同等的溫度。根據(jù)所述金屬體上施加的電壓與流過(guò)的電流的關(guān)系或者根據(jù)間歇性通電時(shí)的施加電壓和電流值計(jì)算電阻值，并根據(jù)所述電阻值計(jì)算溫度，由此能檢測(cè)過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的氣氛溫度。在此，優(yōu)選的是，所述金屬體由氧化開(kāi)始溫度為100℃以上的材質(zhì)構(gòu)成，并且其熔點(diǎn)溫度比過(guò)熱水蒸氣收容部?jī)?nèi)的氣氛溫度高。例如，金屬體可以由與流道形成體相同的材料形成。由于這樣使金屬體由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的材質(zhì)構(gòu)成，所以能防止金屬體的氧化。

此外，本發(fā)明還提供一種過(guò)熱水蒸氣處理裝置，其包括：水蒸氣收容部，收容水蒸氣；加熱用構(gòu)件，設(shè)置在所述水蒸氣收容部?jī)?nèi)，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成；以及感應(yīng)加熱部，設(shè)置在所述水蒸氣收容部外，對(duì)所述加熱用構(gòu)件進(jìn)行感應(yīng)加熱，通過(guò)被所述感應(yīng)加熱部感應(yīng)加熱了的所述加熱用構(gòu)件，加熱所述水蒸氣收容部?jī)?nèi)的水蒸氣，由此生成過(guò)熱水蒸氣，所述加熱用構(gòu)件由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成，所述感應(yīng)加熱部能夠以將所述加熱用構(gòu)件的溫度切換為小于所述氧化開(kāi)始溫度的溫度和所述氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。

按照該過(guò)熱水蒸氣處理裝置，由于能夠以將由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成的加熱用構(gòu)件的溫度切換為小于氧化開(kāi)始溫度的溫度和氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，所以只要使加熱用構(gòu)件在小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)并使水蒸氣收容部被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿，此后使加熱用構(gòu)件的溫度在氧化開(kāi)始溫度以上的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)，就能夠防止加熱用構(gòu)件被水蒸氣收容部?jī)?nèi)的大氣中的氧氧化。

此外，本發(fā)明提供一種過(guò)熱水蒸氣處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置包括：過(guò)熱水蒸氣生成部，對(duì)在內(nèi)部形成有流道的、由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的流道形成體進(jìn)行通電加熱并對(duì)流過(guò)所述流道的水蒸氣進(jìn)行加熱，由此生成過(guò)熱水蒸氣；以及過(guò)熱水蒸氣收容部，在該過(guò)熱水蒸氣收容部配置有所述流道形成體的一部分或全部，由所述流道形成體生成的過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入該過(guò)熱水蒸氣收容部，所述流道形成體由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成，在所述過(guò)熱水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之前，以使所述流道形成體的溫度成為小于所述氧化開(kāi)始溫度的方式使所述過(guò)熱水蒸氣生成部運(yùn)轉(zhuǎn)，并將水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入所述過(guò)熱水蒸氣收容部，在所述過(guò)熱水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之后，以使所述流道形成體的溫度成為所述氧化開(kāi)始溫度以上的方式使所述過(guò)熱水蒸氣生成部運(yùn)轉(zhuǎn)，并將過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入所述過(guò)熱水蒸氣收容部。

另外，本發(fā)明還提供一種過(guò)熱水蒸氣處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置包括：水蒸氣收容部，收容水蒸氣；加熱用構(gòu)件，設(shè)置在所述水蒸氣收容部?jī)?nèi)，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成；以及感應(yīng)加熱部，設(shè)置在所述水蒸氣收容部外，對(duì)所述加熱用構(gòu)件進(jìn)行感應(yīng)加熱，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置通過(guò)被所述感應(yīng)加熱部感應(yīng)加熱了的所述加熱用構(gòu)件，加熱所述水蒸氣收容部?jī)?nèi)的水蒸氣，由此生成過(guò)熱水蒸氣，所述加熱用構(gòu)件由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成，在所述水蒸氣收容部中充滿水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之前，邊以使所述加熱用構(gòu)件成為小于所述氧化開(kāi)始溫度的溫度的方式使所述感應(yīng)加熱部運(yùn)轉(zhuǎn)邊將水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣導(dǎo)入所述水蒸氣收容部，在所述水蒸氣收容部中充滿了水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣之后，以使所述加熱用構(gòu)件成為所述氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式使所述感應(yīng)加熱部運(yùn)轉(zhuǎn)。

按照這樣構(gòu)成的本發(fā)明，通過(guò)使流道形成體在小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)并使過(guò)熱水蒸氣收容部被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿，此后使流道形成體的溫度在氧化開(kāi)始溫度以上的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)，由此能夠防止流道形成體被大氣中的氧氧化。

附圖說(shuō)明

圖1是示意性地表示本實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置結(jié)構(gòu)的圖。

圖2是表示同實(shí)施方式的導(dǎo)體管的具體結(jié)構(gòu)的六面視圖。

圖3是表示同實(shí)施方式的運(yùn)轉(zhuǎn)的示意圖。

圖4是表示變形實(shí)施方式的導(dǎo)體管的具體結(jié)構(gòu)的六面視圖。

圖5是示意性地表示變形實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。

圖6是示意性地表示變形實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置結(jié)構(gòu)的圖。

圖7是表示將鎢、鉭、鉬、鈦和銥在1000℃以上的過(guò)熱水蒸氣氣氛中放置了1.5～6小時(shí)后時(shí)的重量變化的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

100過(guò)熱水蒸氣處理裝置

2過(guò)熱水蒸氣生成部

21流道形成體(導(dǎo)體管)

3過(guò)熱水蒸氣收容部(室)

具體實(shí)施方式

以下參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的過(guò)熱水蒸氣處理裝置的一個(gè)實(shí)施方式。

如圖1所示，本實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置100包括：通電加熱方式的過(guò)熱水蒸氣生成部2，通過(guò)加熱水蒸氣而生成過(guò)熱水蒸氣；以及過(guò)熱水蒸氣收容部3，導(dǎo)入由過(guò)熱水蒸氣生成部2生成的過(guò)熱水蒸氣。

過(guò)熱水蒸氣生成部2通過(guò)對(duì)導(dǎo)體管21施加交流電壓進(jìn)行直接通電并利用由導(dǎo)體管21的內(nèi)部電阻產(chǎn)生的焦耳熱加熱導(dǎo)體管21，由此加熱流過(guò)所述流道r的水蒸氣，所述導(dǎo)體管21是在內(nèi)部形成有流過(guò)水蒸氣的流道r的、由導(dǎo)電性材料構(gòu)成的流道形成體。

具體地說(shuō)，如圖2所示，過(guò)熱水蒸氣生成部2的兩個(gè)導(dǎo)體管21以彼此成為平行的方式配置，所述兩個(gè)導(dǎo)體管21的作為水蒸氣導(dǎo)入側(cè)的一端部21a彼此電連接。各導(dǎo)體管21是呈直管狀的圓筒管，具有相同形狀。

此外，導(dǎo)體管21由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成。即，導(dǎo)體管21在小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下，通過(guò)與大氣中的氧結(jié)合后形成的氧化膜，處于腐蝕不進(jìn)展、或者即使腐蝕進(jìn)展也實(shí)質(zhì)上可以無(wú)視的狀態(tài)。另一方面，導(dǎo)體管21在氧化開(kāi)始溫度以上的溫度下，形成于表面的氧化膜被破壞，氧侵入內(nèi)部而使導(dǎo)電性材料的氧化進(jìn)一步發(fā)展、氧化速度顯著增大。所述氧化開(kāi)始溫度是由導(dǎo)體管21所使用的導(dǎo)電性材料的材質(zhì)、設(shè)想的導(dǎo)體管21的壽命等決定的溫度。

作為形成導(dǎo)體管21的具體的導(dǎo)電性材料，可以使用奧氏體系不銹鋼或因科內(nèi)爾鎳合金。此外，作為兼?zhèn)涓吣蜔嵝缘膶?dǎo)電性材料，可以使用熔點(diǎn)溫度為2000℃以上的純銥或銥合金等。

作為所述的各導(dǎo)電性材料的氧化開(kāi)始溫度的具體例子，例示如下。

奧氏體系不銹鋼：500℃～700℃

因科內(nèi)爾鎳合金：900℃

純銥或銥合金：600℃

具體地說(shuō)，兩個(gè)導(dǎo)體管21的一端部21a，通過(guò)由與導(dǎo)體管21同一材料構(gòu)成的分流管22電連接。所述分流管22與兩個(gè)導(dǎo)體管21的一端部21a連接，并且將水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣分流到所述兩個(gè)導(dǎo)體管21。此外，在本實(shí)施方式中，導(dǎo)體管21和分流管22一體構(gòu)成。

此外，兩個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b封閉，在導(dǎo)體管21的中途(一端部21a和另一端部21b之間)的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)流體噴出噴嘴23。所述多個(gè)流體噴出噴嘴23可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在整個(gè)周向上，也可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在垂直于排列方向的一側(cè)。此外，多個(gè)流體噴出噴嘴23在側(cè)壁上從一端部21a到另一端部21b等間隔地設(shè)置，但是不限于此。

另外，在由分流管22的上游側(cè)開(kāi)口構(gòu)成的流體導(dǎo)入口上形成有凸緣部221，使得能夠與外部配管(未圖示)連接，所述外部配管與感應(yīng)加熱方式或通電加熱方式的飽和水蒸氣生成部200連接。

此外，單相交流電源24與兩個(gè)導(dǎo)體管21的作為流體導(dǎo)出側(cè)的另一端部21b連接。具體地說(shuō)，單相交流電源24的u相與兩個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b的一方連接，單相交流電源的v相與兩個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b的另一方連接。與各導(dǎo)體管21的另一端部21b連接的電極25，是與導(dǎo)體管21同一材質(zhì)(例如奧氏體系不銹鋼)的實(shí)心材料，電極寬度尺寸為導(dǎo)體管21的直徑以下，電極25配置在導(dǎo)體管21的延長(zhǎng)線上且呈直線狀。另外，電極寬度尺寸是指與導(dǎo)體管21的管軸方向垂直的方向上的尺寸。此外，電極25的、與導(dǎo)體管21連接的連接部的外表面，與導(dǎo)體管21的外側(cè)周面在同一個(gè)面上或位于徑向內(nèi)側(cè)。由此，可以簡(jiǎn)單地插入過(guò)熱水蒸氣收容部3。此外，在電極25上形成有用于連接外部布線的連接孔251。

在這樣構(gòu)成的過(guò)熱水蒸氣生成部2中，如果從單相交流電源24通過(guò)電極25向?qū)w管21施加單相交流電壓，則流過(guò)一方的導(dǎo)體管21的電流的流向與流過(guò)另一方的導(dǎo)體管21的電流的流向相反。如果這樣做，則由各個(gè)電流產(chǎn)生的磁通抵消，能夠使導(dǎo)體管2產(chǎn)生的阻抗降低，能夠改善電路功率因數(shù)。因此，能夠提高過(guò)熱水蒸氣生成部2的設(shè)備效率。

過(guò)熱水蒸氣收容部3是形成處理室31的室，所述處理室31利用從導(dǎo)體管21的流體噴出噴嘴23噴出的過(guò)熱水蒸氣對(duì)被處理物w進(jìn)行熱處理(例如清洗、干燥、燒成或殺菌)。在此，被處理物w可以利用傳送帶等輸送機(jī)構(gòu)連續(xù)地向所述處理室31輸送。

具體地說(shuō)，導(dǎo)體管21以貫穿室3的左側(cè)壁32和右側(cè)壁33的方式插入設(shè)置。此時(shí)，在導(dǎo)體管21插入室3的左側(cè)壁32和右側(cè)壁33的狀態(tài)下，多個(gè)流體噴出噴嘴23位于室3的左側(cè)壁32和右側(cè)壁33之間亦即室3的內(nèi)部空間。

此外，在導(dǎo)體管21插入室3的狀態(tài)下，與所述導(dǎo)體管21連接的電極25位于室3的外側(cè)。由此，僅僅通過(guò)在室3的左側(cè)壁32和右側(cè)壁33上形成用于安裝導(dǎo)體管21的孔，就能夠簡(jiǎn)單地裝拆設(shè)有電極25的導(dǎo)體管21。即，當(dāng)將導(dǎo)體管21插入室3進(jìn)行安裝時(shí)或把導(dǎo)體管21從室3拔出進(jìn)行取下時(shí)，能夠防止電極25與左側(cè)壁32和右側(cè)壁33干擾而成為障礙。此外，與導(dǎo)體管21連接的單相交流電源24，設(shè)置在設(shè)于室3的外部的電源室(未圖示)內(nèi)。這樣設(shè)置在與室3不同的空間中的單相交流電源24，通過(guò)電氣布線與導(dǎo)體管的電極25電連接。

此外，在室3中形成有將被供給的水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣排出的排出部34。所述排出部34可以是與外部配管連接的排出口，也可以是向大氣開(kāi)放的排出口，還可以是與室外部連通的間隙。

接著，參照?qǐng)D3說(shuō)明本實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置100的運(yùn)轉(zhuǎn)。

在所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置100中，過(guò)熱水蒸氣生成部2能切換為第一運(yùn)轉(zhuǎn)和第二運(yùn)轉(zhuǎn)，所述第一運(yùn)轉(zhuǎn)以使導(dǎo)體管21的溫度成為100度以上且小于氧化開(kāi)始溫度的第一溫度范圍的方式運(yùn)轉(zhuǎn)，所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)以使導(dǎo)體管21的溫度成為氧化開(kāi)始溫度以上的第二溫度范圍的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。

具體地說(shuō)，過(guò)熱水蒸氣生成部2在作為過(guò)熱水蒸氣收容部3的室被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿前亦即在室3內(nèi)殘留有大氣期間，以使導(dǎo)體管21的溫度成為100度以上且小于氧化開(kāi)始溫度的第一溫度范圍的方式進(jìn)行第一運(yùn)轉(zhuǎn)。在所述第一運(yùn)轉(zhuǎn)中，控制過(guò)熱水蒸氣生成部2的控制裝置4從設(shè)在導(dǎo)體管21上用于檢測(cè)導(dǎo)體管21的溫度的溫度傳感器(未圖示)取得測(cè)量值并以使所述導(dǎo)體管21的溫度成為第一溫度范圍的規(guī)定值的方式對(duì)單相交流電源24進(jìn)行反饋控制。

在所述第一運(yùn)轉(zhuǎn)中，控制裝置4可以通過(guò)從計(jì)時(shí)器等取得表示開(kāi)始第一運(yùn)轉(zhuǎn)后經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間的規(guī)定時(shí)間經(jīng)過(guò)信號(hào)來(lái)使第一運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束。此外，也可以通過(guò)由用戶使用外部的輸入裝置向所述控制裝置4輸入第一運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束信號(hào)來(lái)使第一運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束。此外，還可以在室3的處理室31內(nèi)設(shè)置氧傳感器(未圖示)，取得來(lái)自所述氧傳感器的測(cè)量值，當(dāng)氧濃度成為零或規(guī)定的閾值以下時(shí)，使第一運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束。

通過(guò)這樣進(jìn)行第一運(yùn)轉(zhuǎn)，室3的處理室31內(nèi)成為被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿的狀態(tài)，即成為室3內(nèi)未殘留大氣的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，過(guò)熱水蒸氣生成部2以使導(dǎo)體管21的溫度成為氧化開(kāi)始溫度以上的第二溫度范圍的方式進(jìn)行第二運(yùn)轉(zhuǎn)。在所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)中也和第一運(yùn)轉(zhuǎn)中同樣，控制裝置4從設(shè)在導(dǎo)體管21上用于檢測(cè)導(dǎo)體管21的溫度的溫度傳感器(未圖示)取得測(cè)量值并以使所述導(dǎo)體管21的溫度成為第二溫度范圍的規(guī)定值的方式對(duì)單相交流電源24進(jìn)行反饋控制。

在所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)中，控制裝置4可以通過(guò)從計(jì)時(shí)器等取得表示開(kāi)始第二運(yùn)轉(zhuǎn)后經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間的規(guī)定時(shí)間經(jīng)過(guò)信號(hào)來(lái)使第二運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束。此外，也可以通過(guò)由用戶使用外部的輸入裝置向所述控制裝置4輸入第二運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束信號(hào)來(lái)使第二運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束。此外，還可以通過(guò)取得來(lái)自檢測(cè)部的檢測(cè)信號(hào)，當(dāng)被處理物w的處理結(jié)束時(shí)使第二運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束，所述檢測(cè)部檢測(cè)處理室31內(nèi)的被處理物w的狀態(tài)。

在結(jié)束所述第二運(yùn)轉(zhuǎn)后從過(guò)熱水蒸氣收容部取出被處理物時(shí)，在導(dǎo)體管21的溫度為氧化開(kāi)始溫度以上的情況下，從外部流入空氣，會(huì)造成過(guò)熱水蒸氣生成部的流道形成體氧化。因此，過(guò)熱水蒸氣生成部2在從過(guò)熱水蒸氣收容部3被過(guò)熱水蒸氣充滿且導(dǎo)體管21處于氧化開(kāi)始溫度以上的狀態(tài)到成為空氣流入過(guò)熱水蒸氣收容部3的狀態(tài)前，以使導(dǎo)體管21的溫度成為小于氧化開(kāi)始溫度的方式運(yùn)轉(zhuǎn)。具體地說(shuō)，控制裝置4從結(jié)束了第二運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)點(diǎn)起控制過(guò)熱水蒸氣生成部2，使導(dǎo)體管21的溫度成為小于氧化開(kāi)始溫度。

按照這樣構(gòu)成的過(guò)熱水蒸氣處理裝置100，由于能夠切換為以使導(dǎo)體管21的溫度成為難以被大氣中的氧氧化的溫度范圍的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)的第一運(yùn)轉(zhuǎn)、和以使導(dǎo)體管21的溫度成為容易被大氣中的氧氧化的溫度范圍的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)的第二運(yùn)轉(zhuǎn)，所以能夠在室3被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿前邊進(jìn)行第一運(yùn)轉(zhuǎn)邊向室內(nèi)導(dǎo)入水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣，在室3被水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿后進(jìn)行第二運(yùn)轉(zhuǎn)向室3內(nèi)導(dǎo)入過(guò)熱水蒸氣。由此，即使在由過(guò)熱水蒸氣生成部2生成氧化開(kāi)始溫度以上的過(guò)熱水蒸氣的情況下，也能夠防止導(dǎo)體管21被室3內(nèi)殘留的大氣中的氧氧化。

另外，本發(fā)明不限于所述實(shí)施方式。

例如，在所述實(shí)施方式中，向過(guò)熱水蒸氣生成部2供給的飽和水蒸氣，來(lái)自設(shè)置于外部的飽和水蒸氣生成部200，但是也可以與過(guò)熱水蒸氣生成部2一起具備飽和水蒸氣生成部。

在所述實(shí)施方式中，過(guò)熱水蒸氣生成部2接收由設(shè)置于前段的飽和水蒸氣生成部200生成的飽和水蒸氣，但是在飽和水蒸氣生成部200將飽和水蒸氣進(jìn)一步加熱生成過(guò)熱水蒸氣的情況下，過(guò)熱水蒸氣生成部2也可以接收過(guò)熱水蒸氣并把接收到的過(guò)熱水蒸氣進(jìn)一步加熱，生成向過(guò)熱水蒸氣收容部3供給的所希望的溫度的過(guò)熱水蒸氣。

此外，在所述實(shí)施方式中，說(shuō)明了具有兩個(gè)導(dǎo)體管21的過(guò)熱水蒸氣生成部2，但是過(guò)熱水蒸氣生成部2也可以具有2n個(gè)(n是2以上的整數(shù))導(dǎo)體管21。此外，在2n個(gè)導(dǎo)體管21的一端部21a通過(guò)連接向2n的流道分路的一個(gè)分流管22而實(shí)現(xiàn)電連接。此外，在2n個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b上以與彼此相鄰的另一端部21b連接的單相交流電源24的極性不同的方式交替連接有單相交流電源24的u相和v相。

此外，如圖4所示，三個(gè)導(dǎo)體管21以成為彼此平行的方式配置，所述三個(gè)導(dǎo)體管21的作為水蒸氣導(dǎo)入側(cè)的一端部21a彼此電連接。各導(dǎo)體管21是呈直管狀的圓筒管，并具有相同形狀。此外，三個(gè)導(dǎo)體管21在同一平面上等間隔配置。

此外，三個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b封閉，在導(dǎo)體管21的中途(一端部21a和另一端部21b之間)的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)流體噴出噴嘴23。所述多個(gè)流體噴出噴嘴23可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在整個(gè)周向上，也可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在垂直于排列方向的一側(cè)。此外，多個(gè)流體噴出噴嘴23在側(cè)壁上從一端部21a到另一端部21b等間隔地設(shè)置，但是不限于此。

此外，三相交流電源與三個(gè)導(dǎo)體管21的作為流體導(dǎo)出側(cè)的另一端部21b連接。具體地說(shuō)，在三個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b中，第一個(gè)另一端部21b連接有三相交流電源的u相，第二個(gè)另一端部21b連接有三相交流電源的v相，第三個(gè)另一端部21b連接有三相交流電源的w相。

在這樣構(gòu)成的過(guò)熱水蒸氣生成部2中，如果從三相交流電源通過(guò)電極25對(duì)導(dǎo)體管21施加三相交流電壓，則由流過(guò)三個(gè)導(dǎo)體管21的電流產(chǎn)生的磁通抵消，能夠使導(dǎo)體管21產(chǎn)生的阻抗降低，能夠改善電路功率因數(shù)。因此，能夠提高過(guò)熱水蒸氣生成部2的設(shè)備效率。

此外，除了具有三個(gè)導(dǎo)體管21的過(guò)熱水蒸氣生成部2以外，過(guò)熱水蒸氣生成部2也可以具有3n個(gè)(n是2以上的整數(shù))導(dǎo)體管21。此外，在3n個(gè)導(dǎo)體管21的一端部21a通過(guò)連接向3n的流道分路的一個(gè)分流管22而實(shí)現(xiàn)電連接。此外，在3n個(gè)導(dǎo)體管21的另一端部21b上以與連續(xù)排列的三個(gè)另一端部21b連接的三相交流電源的極性分別不同的方式交替連接有三相交流電源的u相、v相和w相。

在所述實(shí)施方式的導(dǎo)體管21中，除了設(shè)置流體噴出噴嘴23，也可以在側(cè)壁上設(shè)置多個(gè)流體噴出口。所述流體噴出口可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在整個(gè)周向上，也可以在導(dǎo)體管21的側(cè)壁上形成在垂直于排列方向的一側(cè)。此外，多個(gè)流體噴出口在側(cè)壁上從一端部21a到另一端部21b形成在長(zhǎng)邊方向上的大體整體上，也可以形成在長(zhǎng)邊方向上的一部分上，例如形成在導(dǎo)體管21的長(zhǎng)邊方向上的從中央部到另一端部21b上。

此外，也可以通過(guò)不封閉導(dǎo)體管的另一端部21b而設(shè)置凸緣部等，使所述另一端部21b能與外部配管連接。

所述實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣收容部3，也可以是保溫容器，所述保溫容器形成用于收容過(guò)熱水蒸氣并保溫的收容室。收容在所述保溫容器中的過(guò)熱水蒸氣，從設(shè)置于保溫容器的流體導(dǎo)出口向外部導(dǎo)出并被利用。在該情況下，收容容器可以具有對(duì)收容的過(guò)熱水蒸氣進(jìn)一步加熱的加熱機(jī)構(gòu)，也可以具有用于對(duì)過(guò)熱水蒸氣進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)的溫度調(diào)節(jié)功能。

在導(dǎo)體管21或與導(dǎo)體管21連接的流道連接部中，可以使過(guò)熱水蒸氣收容部3外的部分的通電截面面積大于過(guò)熱水蒸氣收容部3內(nèi)的部分的通電截面面積。在此，流道連接部例如是與導(dǎo)體管21連接并與導(dǎo)體管21一起被通電的配管、或與導(dǎo)體管連接卻不被通電的配管等。按照該構(gòu)成，能夠抑制過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部的發(fā)熱，能夠維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

此外，在導(dǎo)體管21或與導(dǎo)體管21連接的流道連接部中，可以使過(guò)熱水蒸氣收容部3外的通電部分的電阻小于過(guò)熱水蒸氣收容部3內(nèi)的通電部分的電阻。例如，可以使過(guò)熱水蒸氣收容部3外的通電部分的材質(zhì)的電阻，低于過(guò)熱水蒸氣收容部3內(nèi)的通電部分的材質(zhì)的電阻。按照該構(gòu)成，能夠抑制過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部的發(fā)熱，能夠維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

如圖5所示，在所述實(shí)施方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置100的結(jié)構(gòu)以外，也可以具備冷卻機(jī)構(gòu)，所述冷卻機(jī)構(gòu)將過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部冷卻到100℃以上且小于氧化開(kāi)始溫度。具體地說(shuō)，除了過(guò)熱水蒸氣收容部3以外，過(guò)熱水蒸氣處理裝置100另外具備水蒸氣導(dǎo)入部5，導(dǎo)體管21或與導(dǎo)體管21連接的流道連接部貫穿所述水蒸氣導(dǎo)入部5，并且水蒸氣導(dǎo)入所述水蒸氣導(dǎo)入部5。

所述水蒸氣導(dǎo)入部5設(shè)置在過(guò)熱水蒸氣收容部3外，形成包圍過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部的規(guī)定范圍的收容空間，使所述規(guī)定范圍的溫度降低到100℃以上且小于氧化開(kāi)始溫度。具體地說(shuō)，水蒸氣導(dǎo)入部5具有：導(dǎo)入口51，導(dǎo)入飽和水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣；以及導(dǎo)出口52，導(dǎo)出飽和水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣。在此，可以從外部向水蒸氣導(dǎo)入部5導(dǎo)入溫度調(diào)整過(guò)的過(guò)熱水蒸氣，也可以在水蒸氣導(dǎo)入部5設(shè)置過(guò)熱水蒸氣產(chǎn)生部(未圖示)，從外部導(dǎo)入飽和水蒸氣并通過(guò)過(guò)熱水蒸氣產(chǎn)生部產(chǎn)生過(guò)熱水蒸氣。

按照該構(gòu)成，通過(guò)向水蒸氣導(dǎo)入部5導(dǎo)入100℃以上且小于氧化開(kāi)始溫度的水蒸氣，能夠使過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

此外，優(yōu)選的是，水蒸氣導(dǎo)入部5內(nèi)的導(dǎo)體管21或流道連接部的通電截面面積大于過(guò)熱水蒸氣收容部3內(nèi)的導(dǎo)體管21或流道連接部的通電截面面積。按照該構(gòu)成，能夠與所述的冷卻機(jī)構(gòu)一起，將過(guò)熱水蒸氣收容部3外的導(dǎo)體管21或流道連接部維持為小于氧化開(kāi)始溫度，能夠抑制壽命降低。

此外，也可以不具有用于測(cè)量導(dǎo)體管21的溫度的溫度傳感器。具體地說(shuō)，過(guò)熱水蒸氣處理裝置100包括：電壓檢測(cè)部，檢測(cè)施加到導(dǎo)體管21的交流電壓；電流檢測(cè)部，檢測(cè)流過(guò)導(dǎo)體管21的電流；阻抗計(jì)算部，根據(jù)通過(guò)電壓檢測(cè)部得到的電壓值和從電流檢測(cè)部得到的電流值，計(jì)算阻抗；關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)用于表示阻抗和導(dǎo)體管21的溫度的關(guān)系的關(guān)系數(shù)據(jù)；以及溫度計(jì)算部，根據(jù)通過(guò)阻抗計(jì)算部得到的阻抗和存儲(chǔ)在關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中的關(guān)系數(shù)據(jù)，計(jì)算導(dǎo)體管21的溫度。在此，阻抗計(jì)算部、關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部和溫度計(jì)算部由計(jì)算機(jī)構(gòu)成，由這些部分構(gòu)成溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)。此外，例如使用作為基準(zhǔn)的導(dǎo)體管21得到所述關(guān)系數(shù)據(jù)，關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部可以設(shè)定在計(jì)算機(jī)的內(nèi)部存儲(chǔ)器的規(guī)定區(qū)域，也可以設(shè)定在外設(shè)在計(jì)算機(jī)上的外部存儲(chǔ)器的規(guī)定區(qū)域。按照該構(gòu)成，通過(guò)對(duì)導(dǎo)體管21通電，能夠電氣性地測(cè)量導(dǎo)體管21的溫度，能夠容易地測(cè)量溫度。

此外，過(guò)熱水蒸氣處理裝置100包括：變壓器，生成對(duì)導(dǎo)體管21施加的交流電壓；電壓檢測(cè)部，檢測(cè)變壓器的一次側(cè)的交流電壓；電流檢測(cè)部，檢測(cè)變壓器的一次側(cè)的電流；阻抗計(jì)算部，根據(jù)通過(guò)電壓檢測(cè)部得到的電壓值和從所述電流檢測(cè)部得到的電流值，計(jì)算阻抗；阻抗修正部，進(jìn)行從通過(guò)所述阻抗計(jì)算部得到的阻抗除去變壓器的阻抗的修正；關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)表示阻抗和導(dǎo)體管21的溫度的關(guān)系的關(guān)系數(shù)據(jù)；以及溫度計(jì)算部，根據(jù)通過(guò)阻抗修正部得到的修正阻抗和存儲(chǔ)在關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部中的關(guān)系數(shù)據(jù)，計(jì)算導(dǎo)體管21的溫度。在此，阻抗計(jì)算部、阻抗修正部、關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部和溫度計(jì)算部由計(jì)算機(jī)構(gòu)成，由這些部分構(gòu)成溫度檢測(cè)機(jī)構(gòu)。此外，例如使用作為基準(zhǔn)的導(dǎo)體管21得到所述關(guān)系數(shù)據(jù)，關(guān)系數(shù)據(jù)存儲(chǔ)部可以設(shè)定在計(jì)算機(jī)的內(nèi)部存儲(chǔ)器的規(guī)定區(qū)域，也可以設(shè)定在外設(shè)在計(jì)算機(jī)上的外部存儲(chǔ)器的規(guī)定區(qū)域。

此外，在所述實(shí)施方式中，過(guò)熱水蒸氣處理裝置為通電加熱方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置，但是過(guò)熱水蒸氣處理裝置也可以是感應(yīng)加熱方式的過(guò)熱水蒸氣處理裝置。

具體地說(shuō)，如圖6所示，過(guò)熱水蒸氣處理裝置z1包括：水蒸氣收容部z11，收容水蒸氣；加熱用構(gòu)件z12，設(shè)置在水蒸氣收容部z11內(nèi)，由導(dǎo)電性材料構(gòu)成；以及感應(yīng)加熱部z13，設(shè)置在水蒸氣收容部z11外，對(duì)加熱用構(gòu)件z12進(jìn)行感應(yīng)加熱。

水蒸氣收容部z11從感應(yīng)加熱方式或通電加熱方式的飽和水蒸氣生成部200導(dǎo)入飽和水蒸氣，具有導(dǎo)入水蒸氣的導(dǎo)入口z11a以及導(dǎo)出水蒸氣的導(dǎo)出口z11b。此外，水蒸氣收容部z11在內(nèi)部收容被處理物w。

加熱用構(gòu)件z12由與所述實(shí)施方式相同的材料形成，在本實(shí)施方式中是以覆蓋水蒸氣收容部z11的內(nèi)表面的一部分或全部的方式設(shè)置的平板狀構(gòu)件。另外，加熱用構(gòu)件z12無(wú)需以與內(nèi)表面接觸的方式設(shè)置，只要設(shè)置在水蒸氣收容部z11的內(nèi)部即可。

感應(yīng)加熱部z13具有用于使加熱用構(gòu)件z12產(chǎn)生感應(yīng)電流的感應(yīng)線圈z131、以及對(duì)所述感應(yīng)線圈z131施加交流電壓的交流電源z132。另外，與所述實(shí)施方式同樣地，交流電源z132由控制裝置控制。

此外，所述過(guò)熱水蒸氣處理裝置z1在水蒸氣收容部z11被來(lái)自飽和水蒸氣生成部200的飽和水蒸氣充滿前，邊以使加熱用構(gòu)件z12成為小于氧化開(kāi)始溫度的方式使感應(yīng)加熱部z13運(yùn)轉(zhuǎn)邊向水蒸氣收容部z11導(dǎo)入飽和水蒸氣。此外，過(guò)熱水蒸氣處理裝置z1在水蒸氣收容部z11被飽和水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿后，以使加熱用構(gòu)件z12成為氧化開(kāi)始溫度以上的方式使感應(yīng)加熱部z13運(yùn)轉(zhuǎn)。

按照該構(gòu)成，由于能夠以將由具有100℃以上的氧化開(kāi)始溫度的導(dǎo)電性材料形成的加熱用構(gòu)件z12的溫度切換為小于氧化開(kāi)始溫度的溫度和氧化開(kāi)始溫度以上的溫度的方式進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，所以只要使加熱用構(gòu)件z12在小于氧化開(kāi)始溫度的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)并將水蒸氣收容部z11用水蒸氣或過(guò)熱水蒸氣充滿，隨后使加熱用構(gòu)件z12在氧化開(kāi)始溫度以上的溫度下運(yùn)轉(zhuǎn)，就能夠防止加熱用構(gòu)件z12被水蒸氣收容部z11內(nèi)的大氣中的氧氧化。

此外，本發(fā)明不限于所述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍可以進(jìn)行各種變形。

可以相互組合本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施方式(實(shí)施例)中所記載的技術(shù)特征形成新的技術(shù)方案。