空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-1XD的制作過程中都需要經(jīng)過鍍膜，涂膠，曝光，顯影，刻蝕，剝離這些工序。在這些工序的前后大多會有清洗的環(huán)節(jié)，清洗的目的有所不同，通常工序前的清洗是為了清洗基板表面的Particle(顆粒物質(zhì))，增加基板表面的粘附力等;而工序后的清洗通常是為了將工序所用的化學(xué)藥品清干凈；這些清洗單元后都需要連接著將清洗液分離的AirKnife(空氣刀)，從而達到干燥基板表面的作用。
[0003]Air Knife作為分離清洗液的主要設(shè)備，傳統(tǒng)的設(shè)計存在著很大的弊端，如圖1和圖2所示，空氣刀I的出氣口為一條直線型縫隙，采用均勻的風速，要求較大的氣壓，存在造成多種不良的隱患，如對膜層表面的沖刷較大、Particle沿Air Knife風向在玻璃基板邊緣聚集、水漬殘留等，降低了機臺的生產(chǎn)的工藝Margin(成本)，現(xiàn)已經(jīng)發(fā)生的Issue(問題)與Air Knife的設(shè)計有所關(guān)聯(lián)的很多，如GCS高發(fā)、有機膜長邊聚集等;而且對于未來的高PPI產(chǎn)品來說，這些影響可能會表現(xiàn)的更加明顯，所以對Air Knife進行重新設(shè)計，顯得十分的必要。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種空氣刀、用于分離基板表面液體的分離裝置，能夠更好的去除基板表面液體，降低水漬殘留的風險。
[0005]為了達到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種空氣刀，用于分離基板表面的液體，包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0006]進一步的，所述第一部分為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0007]進一步的，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。
[0008]本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀和用于傳送基板的傳送輥，所述空氣刀平行設(shè)置于基板的上方，所述空氣刀包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0009]進一步的，所述第一部分為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0010]進一步的，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。
[0011 ]進一步的，所述傳送輥包括多個輥軸，每個所述輥軸上設(shè)有多個輥輪，每個所述輥軸中間區(qū)域的輥輪的直徑大于其兩側(cè)的輥輪的直徑。
[0012]進一步的，每個所述輥軸上的多個輥輪的直徑由相應(yīng)輥軸的中間向兩端逐漸變小。
[0013]進一步的，還包括用于驅(qū)動所述傳送輥轉(zhuǎn)動以傳送基板從所述空氣刀下方經(jīng)過的傳動結(jié)構(gòu)。
[0014]本實用新型的有益效果是:空氣刀弧形出氣口的設(shè)置，利于基板中間區(qū)域的液體向邊緣流動，中間窄兩邊寬的設(shè)置利于基板邊緣區(qū)域液體的分離，極大地提升空氣刀的分離能力，從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集的風險。
【附圖說明】

[0015]圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中空氣刀結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2表示現(xiàn)有技術(shù)中空氣刀使用狀態(tài)示意圖；
[0017]圖3表示本實用新型實施例中空氣刀結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4表示本實用新型實施例中傳送輥結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖5表示本實用新型實施例中用于分離基板表面液體的分離裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0020]以下結(jié)合附圖對本實用新型的特征和原理進行詳細說明，所舉實施例僅用于解釋本實用新型，并非以此限定本實用新型的保護范圍。
[0021]如圖3所示，本實施例提供一種空氣刀I，用于分離基板表面的液體，包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分11的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分12的寬度。
[0022]空氣刀弧形出氣口的設(shè)置，利于基板中間區(qū)域的液體向邊緣流動，空氣刀對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分11的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分12的寬度的設(shè)置能夠保證在相同的氣壓下，空氣刀邊緣的風速大，中間的風速小，從而增大基板邊緣處的氣體流量，利于基板邊緣區(qū)域液體的分離，極大地提升空氣刀的分離能力，從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集和水漬殘留的風險。
[0023]進一步的，所述第一部分11為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分12為所述出氣口 I的任一端的端部。
[0024]進一步的，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。
[0025]出氣口I兩端的端部的寬度相等使得基板對應(yīng)于出氣口 I的兩個邊緣的液體分離的速度相同，以便于控制基板上液體分離的時間。
[0026]如圖5所示，本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置，包括向基板3表面噴射氣體的空氣刀I和用于傳送基板3的傳送輥2，所述空氣刀I平行設(shè)置于基板3的上方，所述空氣刀I包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板3中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。
[0027]空氣刀I弧形出氣口的設(shè)置，利于基板3中間區(qū)域的液體向邊緣流動，中間窄兩邊寬的設(shè)置能夠保證在相同的氣壓下，空氣刀I邊緣的風速大，中間的風速小，從而增大基板3邊緣處的氣體流量，利于基板3邊緣區(qū)域液體的分離，極大地提升空氣刀I的分離能力，從而降低顆粒物體沿基板3邊緣聚集和降低基板3邊緣水漬殘留的風險。
[0028]進一步的，所述第一部分為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。
[0029]進一步的，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。
[0030]出氣口兩端的端部的寬度相等使得基板對應(yīng)于出氣口的兩個邊緣的液體分離的速度相同，以便于控制基板上液體分離的時間。
[0031]如圖4所示，本實施例中，所述傳送輥2包括多個輥軸22，每個所述輥軸22上設(shè)有多個輥輪21，每個所述輥軸22中間區(qū)域的輥輪21的直徑大于其兩側(cè)的輥輪21的直徑，圖4中表示的是一根棍軸的示意圖。
[0032]輥軸22中間區(qū)域的輥輪21的直徑大于其兩側(cè)的輥輪21的直徑利于基板中間區(qū)域的液體向基板邊緣流動，以加快基板的風干速度，且更有效的分離基板上的液體，且分離液體所需要的氣壓將會降低，減輕了氣流對基板表面的沖刷，減輕膜層被沖壞的風險。
[0033]進一步的，每個所述輥軸22上的多個輥輪21的直徑由相應(yīng)輥軸22的中間向兩端逐漸變小，使得每個輥軸22的高度由中間向兩端逐漸降低，從而使得置于輥軸22上的基板的中間區(qū)域到邊緣區(qū)域的高低變換比較平緩，防止基板的液體分離不凈。
[0034]進一步的，用于分離基板表面液體的分離裝置，還包括用于驅(qū)動所述傳送輥I轉(zhuǎn)動以傳送基板從所述空氣刀下方經(jīng)過的傳動結(jié)構(gòu)。
[0035]以上所述為本實用新型較佳實施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種空氣刀，用于分離基板表面的液體，其特征在于，包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣刀，其特征在于，所述第一部分為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空氣刀，其特征在于，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。4.一種用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀和用于傳送基板的傳送輥，所述空氣刀平行設(shè)置于基板的上方，所述空氣刀包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，所述第一部分為所述出氣口的中間區(qū)域，所述第二部分為所述出氣口的任一端的端部。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，所述出氣口兩端端部的寬度相等，且所述出氣口的寬度由其兩端端部向其中間區(qū)域逐漸變小。7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，所述傳送輥包括多個輥軸，每個所述輥軸上設(shè)有多個輥輪，每個所述輥軸中間區(qū)域的輥輪的直徑大于其兩側(cè)的輥輪的直徑。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，每個所述輥軸上的多個輥輪的直徑由相應(yīng)輥軸的中間向兩端逐漸變小。9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于分離基板表面液體的分離裝置，其特征在于，還包括用于驅(qū)動所述傳送輥轉(zhuǎn)動以傳送基板從所述空氣刀下方經(jīng)過的傳動結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種空氣刀，用于分離基板表面的液體，包括一氣體腔室，所述氣體腔室的一端具有進氣口，另一端具有一弧形縫隙狀出氣口，所述出氣口對應(yīng)于基板中間區(qū)域的第一部分的寬度小于所述出氣口對應(yīng)于基板邊緣的第二部分的寬度。本實用新型還提供一種用于分離基板表面液體的分離裝置。本實用新型的有益效果是：空氣刀弧形出氣口的設(shè)置，利于基板中間區(qū)域的液體向邊緣流動，中間窄兩邊寬的設(shè)置利于基板邊緣區(qū)域液體的分離，極大地提升空氣刀的分離能力，從而降低顆粒物體沿基板邊緣聚集的風險。
【IPC分類】F26B21/00
【公開號】CN205383870
【申請?zhí)枴緾N201620185993
【發(fā)明人】周如, 黃勝, 吳春暉, 董必良
【申請人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司
【公開日】2016年7月13日
【申請日】2016年3月10日