一種防止熱擴散的裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供的一種防止熱擴散的裝置，由于該防止熱擴散的裝置可通過熱風(fēng)連接管路連接熱循環(huán)泵和出風(fēng)口，所以當(dāng)該干燥倉的倉門打開時，該防止熱擴散的裝置的出風(fēng)口可以在該干燥倉的倉口吹出熱風(fēng)，并在該干燥倉的倉口形成熱風(fēng)的風(fēng)簾，從而減少該干燥倉內(nèi)熱空氣與該干燥倉外的冷空氣相互間的熱交換，進而減少了該干燥倉內(nèi)的熱空氣的熱量損失，使得對干燥倉的再次加熱過程所需付出的額外能源消耗減少，從而減少了能源消耗并提高了該干燥倉的運行效率。
【專利說明】
一種防止熱擴散的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種防止熱擴散的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體材料的制造過程中，半導(dǎo)體材料通常由卡匣固定并在各個工作流程的節(jié)點之間流轉(zhuǎn)，而卡匣作為半導(dǎo)體材料的載體，其清潔度直接關(guān)系到半導(dǎo)體材料的質(zhì)量，所以在半導(dǎo)體材料的制造過程中卡匣的清洗相當(dāng)重要。
[0003]在現(xiàn)有技術(shù)中，對卡匣的清洗過程一般分為兩步，第一步，在清洗倉內(nèi)對卡匣進行清洗，第二步，將已經(jīng)清洗好的卡匣送入干燥倉內(nèi)快速干燥，以便使卡匣可以繼續(xù)使用。
[0004]但是，當(dāng)卡匣在干燥倉中干燥完畢之后，還需要將該卡匣從干燥倉中取出，也就是說，干燥倉需要開啟倉門并將該卡匣送出，而在開啟干燥倉的倉門時，由于干燥倉內(nèi)的熱空氣會與干燥倉外的冷空氣進行熱交換，導(dǎo)致干燥倉內(nèi)的空氣的熱量會出現(xiàn)不可避免的損失。
[0005]進一步的，由于干燥倉的倉口大小必須大于卡匣的大小，同時為了提高干燥效率，一般同時有多個卡匣進行干燥，所以在現(xiàn)有技術(shù)中的干燥倉倉口都較大，這就進一步加劇了干燥倉的倉口打開時干燥倉內(nèi)的熱量損失。
[0006]更進一步的，由于干燥倉內(nèi)的熱量出現(xiàn)損失，所以當(dāng)干燥倉開始對下一批卡匣進行干燥之前，該干燥倉還需要再次加熱以便達到設(shè)定的干燥溫度，從而導(dǎo)致該干燥倉的運行效率降低，同時該再次加熱的過程也需要付出額外的能源消耗(如，電能消耗)，增加了能源消耗。
【實用新型內(nèi)容】
[0007]本實用新型實施例提供一種防止熱擴散的裝置，用以解決現(xiàn)有干燥倉在卡匣取出時，由于干燥倉內(nèi)空氣的熱量流失很大，導(dǎo)致干燥倉的運行效率低以及能源消耗增加的問題。
[0008]本實用新型提供一種防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述裝置包括:熱循環(huán)栗、熱風(fēng)連接管路以及出風(fēng)口，其中:
[0009]所述熱循環(huán)栗，用于向所述防止熱擴散的裝置提供熱風(fēng)；
[0010]所述熱風(fēng)連接管路，用于連接熱循環(huán)栗和所述出風(fēng)口；
[0011]所述出風(fēng)口，在開啟時用于將所述熱循環(huán)栗提供的熱風(fēng)吹出，以形成熱風(fēng)的風(fēng)簾；
[0012]進一步地，所述裝置還包括:電磁閥，設(shè)置于所述熱風(fēng)連接管路上，用于控制所述出風(fēng)口開啟或關(guān)閉；
[0013]進一步地，所述出風(fēng)口有多個;所述熱風(fēng)連接管路分別與每個出風(fēng)口連接；
[0014]進一步地，所述裝置還包括:干燥倉；
[0015]所述出風(fēng)口位于干燥倉的倉口，所述出風(fēng)口吹出的熱風(fēng)在倉口內(nèi)與倉口外之間形成風(fēng)簾隔離層；
[0016]進一步地，所述出風(fēng)口垂直于所述倉口的內(nèi)壁；
[0017]進一步地，所述出風(fēng)口向所述干燥倉內(nèi)傾斜預(yù)設(shè)的角度；
[0018]進一步地，所述出風(fēng)口的寬度與所述干燥倉倉口的寬度一致；
[0019]進一步地，所述出風(fēng)口位于所述倉口的上內(nèi)壁和/或下內(nèi)壁；
[0020]進一步地，所述電磁閥位于所述熱風(fēng)連接管路與所述熱循環(huán)栗連接的一端。
[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實施例提供的防止熱擴散的裝置，由于該防止熱擴散的裝置可通過該熱風(fēng)連接管路連接該熱循環(huán)栗和該出風(fēng)口，所以當(dāng)該干燥倉的倉門打開時，該防止熱擴散的裝置的出風(fēng)口可以在該干燥倉的倉口吹出熱風(fēng)，并在該干燥倉的倉口形成熱風(fēng)的風(fēng)簾，從而減少該干燥倉內(nèi)熱空氣與該干燥倉外的冷空氣相互間的熱交換，進而減少了該干燥倉內(nèi)的熱空氣的熱量損失，使得對干燥倉的再次加熱過程所需付出的額外能源消耗減少，從而減少了能源消耗并提高了該干燥倉的運行效率。
【附圖說明】

[0022]此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構(gòu)成本實用新型的一部分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0023]圖1為本實用新型實施例提供的一種防止熱擴散的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2a和圖2b為本實用新型實施例提供的出風(fēng)口的形狀示意圖；
[0025]圖3為本實用新型實施例提供的干燥倉的倉口正視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4為本實用新型實施例提供的該防止熱擴散裝置有多個出風(fēng)口的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0027]為使本實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型具體實施例及相應(yīng)的附圖對本實用新型技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0028]如圖1所示，本實用新型實施例提供了一種防止熱擴散的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，在圖1中顯示了該防止熱擴散的裝置的主要部件。該防止熱擴散的裝置用于減少當(dāng)干燥倉14的倉口 15開啟后，該干燥倉14內(nèi)的熱量損失，具體的，該防止熱擴散的裝置包括:熱循環(huán)栗16、熱風(fēng)連接管路11以及出風(fēng)口 12。
[0029]進一步地，上述熱風(fēng)連接管路11的一端可連接熱循環(huán)栗16的供熱口17，使得該熱循環(huán)栗16通過供熱口 17送出的熱風(fēng)可以通過該熱風(fēng)連接管路11的另一端從該防止熱擴散的裝置的出風(fēng)口 12中送出，S卩，該防止熱擴散裝置的出風(fēng)口 12通過該熱風(fēng)連接管路11與該熱循環(huán)栗16的供熱口 17聯(lián)通，該防止熱擴散裝置由該熱循環(huán)栗16提供熱風(fēng)。并且，由于熱循環(huán)栗16通常是不間斷運行的，所以該防止熱擴散的裝置的出風(fēng)口 12可隨時送出熱風(fēng)。
[0030]進一步地，該防止熱擴散的裝置還包括干燥倉14，并且，該干燥倉14的倉口15可為矩形，即，該倉口 15可有四個內(nèi)壁:上內(nèi)壁、下內(nèi)壁、左內(nèi)壁以及右內(nèi)壁。
[0031]進一步地，本實用新型提供的該出風(fēng)口12與該熱風(fēng)連接管路11——對應(yīng)連接，SP，一個熱風(fēng)連接管路11就連接有一個出風(fēng)口 12，其中，該出風(fēng)口 12可以位于該干燥倉14的倉口 15的任一內(nèi)壁上，或者出風(fēng)口 12可位于倉口 15的上內(nèi)壁和下內(nèi)壁，并且該出風(fēng)口 12可以垂直于該倉口 15的內(nèi)壁。
[0032]進一步地，該出風(fēng)口12的形狀可以根據(jù)需要制作成不同的形狀，如，若需要較大的出風(fēng)量，則該出風(fēng)口 12可以是一個矩形狹縫，如圖2a所示，若為避免該熱循環(huán)栗16內(nèi)的熱量由于向該防止熱擴散的裝置送出熱風(fēng)太多而損失太大，則該出風(fēng)口 12可以是若干圓形小孔洞組成的隊列，如圖2b所示，且該出風(fēng)口 12的寬度可與該干燥倉14的倉口 15的寬度一致，以便該出風(fēng)口 12吹出的熱風(fēng)在該倉口 15形成的風(fēng)簾隔離層可以完全隔離該倉口 15內(nèi)的熱空氣和倉口 15外的冷空氣，以便隔離熱空氣和冷空氣的熱交換，從而減少該干燥倉14內(nèi)的熱空氣的熱量損失。
[0033]圖2a和圖2b為本實用新型實施例提供的出風(fēng)口12的形狀示意圖，在圖2a和圖2b中顯示的是帶有出風(fēng)口 12的倉口 15的內(nèi)壁正視圖，其中可見在圖2a中，該出風(fēng)口 12為一矩形狹縫，在圖2b中，該出風(fēng)口 12為若干圓形小孔洞組成的隊列。
[0034]進一步地，在本實用新型中，該出風(fēng)口 12至少有一個，而為了進一步減少該干燥倉14內(nèi)的熱量損失，該出風(fēng)口 12可以有兩個，并且，由于通常干燥倉14的倉門通常是在倉口 15的左右對開的，而為了當(dāng)該出風(fēng)口 12在該倉口 15的左內(nèi)壁和右內(nèi)壁相對排列時，該出風(fēng)口12吹出熱風(fēng)時較容易在該倉口 15產(chǎn)生機械震動，所以為了減少該出風(fēng)口 12吹出熱風(fēng)后產(chǎn)生機械震動的幾率，避免影響干燥倉14的使用壽命，在本實用新型中的兩個出風(fēng)口 12可在該倉口 15的上內(nèi)壁和下內(nèi)壁相對排列，如圖3所示，即，在實際使用中，可以在干燥倉14的倉口15的上內(nèi)壁和下內(nèi)壁相對排列兩個出風(fēng)口 12，以便從該出風(fēng)口 12中吹出的熱風(fēng)可以在該倉口 15處形成熱風(fēng)的風(fēng)簾，同時降低在該倉口 15產(chǎn)生機械振動的幾率。
[0035]并且在這種情況下，該出風(fēng)口12可以進一步的在垂直方向上向該干燥倉14的倉內(nèi)傾斜預(yù)設(shè)的角度(如，傾斜2°)，以使得該出風(fēng)口 12送出的熱風(fēng)，在形成熱風(fēng)的風(fēng)簾同時，可以將一部分熱風(fēng)吹向該干燥倉14的倉內(nèi)，進一步減少該干燥倉14的倉內(nèi)的熱量損失，當(dāng)然，具體該傾斜角度為多少本實用新型并不做具體限定。
[0036]圖3為本實用新型實施例提供的該干燥倉14的倉口15正視結(jié)構(gòu)示意圖，其中可見，該出風(fēng)口 12在該倉口 15的上內(nèi)壁以及下內(nèi)壁相對排列，則當(dāng)熱風(fēng)通過該熱風(fēng)連接管路11從該出風(fēng)口 12吹出時，可以在該倉口 15形成熱風(fēng)的風(fēng)簾，以在該倉口 15內(nèi)與該倉口 15外之間形成熱風(fēng)的風(fēng)簾隔離層。
[0037]當(dāng)然，本實用新型并不限制該出風(fēng)口12的數(shù)量，S卩，該出風(fēng)口 12可以有多個。其中，若需要更進一步地隔離該干燥倉14內(nèi)部的熱空氣與外部的冷空氣的熱交換，在該干燥倉14的倉口 15可以設(shè)置更多的出風(fēng)口 12，如，在該干燥倉14的倉口 15的上內(nèi)壁和下內(nèi)壁排列多層出風(fēng)口 12，使得通過各出風(fēng)口 12可以在該倉口 15形成多個熱風(fēng)的風(fēng)簾隔離層，如圖4所不O
[0038]圖4為本實用新型實施例提供的該防止熱擴散裝置有多個出風(fēng)口12的結(jié)構(gòu)示意圖，在圖3中顯示的是帶有多個出風(fēng)口 12的倉口 15的內(nèi)壁正視圖。需要說明的是，在本實用新型中并不限制多個出風(fēng)口 12全部位于該倉口 15的一個內(nèi)壁上，S卩，該倉口 15的每一個內(nèi)壁上均可以有多個出風(fēng)口 12。
[0039]更進一步地，本實用新型提供的防止熱擴散的裝置中還包括電磁閥13，該電磁閥13設(shè)置于所述熱風(fēng)連接管路上，可以位于該防止熱擴散的裝置中該熱風(fēng)連接管路11中的任一位置，例如電磁閥13可位于所述熱風(fēng)連接管路11與熱循環(huán)栗16連接的一側(cè)，該電磁閥13可以在該干燥倉14的倉口 15打開之前就開啟，以便熱風(fēng)可以先進入該熱風(fēng)連接管路11中，以便當(dāng)該倉口 15在打開的第一時間該出風(fēng)口 12即可送出熱風(fēng)以形成熱風(fēng)的風(fēng)簾。當(dāng)然，為了減少在該電磁閥13未開啟時，熱循環(huán)栗16向該熱風(fēng)連接管路11內(nèi)送出熱風(fēng)，而進一步減少熱量損耗，該電磁閥13可位于該熱風(fēng)連接管路11與該熱循環(huán)栗16連接的供熱口 17—側(cè)，則當(dāng)該電磁閥13未開啟時，可以減少向該熱風(fēng)連接管路11提供的熱風(fēng)，從而減少散熱面積，降低熱量損耗。
[0040]需要說明的是，為了減少該干燥倉14的倉內(nèi)的熱量損失，本實用新型中所述的防止熱擴散的裝置在通過該熱風(fēng)連接管路11從該出風(fēng)口 12送出的熱風(fēng)的溫度可不低于該干燥倉14的倉內(nèi)溫度，如，該干燥倉14的倉內(nèi)溫度為80°C，則該防止熱擴散的裝置的出風(fēng)口 12送出的熱風(fēng)的溫度可以為90 °C。
[0041]具體的，在通常情況下，為了延長設(shè)備使用壽命，該熱循環(huán)栗16不會滿負荷運轉(zhuǎn)，即，該熱循環(huán)栗16提供給該干燥倉14的熱風(fēng)的溫度不是該熱循環(huán)栗16所能提供熱風(fēng)的最高溫度，所以當(dāng)該倉口 15打開之前，該熱循環(huán)栗16可以提高運行功率，以便向該防止熱擴散的裝置送出的熱風(fēng)的溫度更高。
[0042]另外，由于通常情況下，卡匣的清洗以及干燥過程都是自動進行的，S卩，清洗倉以及該干燥倉14的清洗過程、干燥過程以及入倉和出倉的過程都是自動化的，而一般自動化控制都需要一個控制中心，該控制中心可以是一個處理器或者集成電路等控制設(shè)備，所以為了使本實用新型中所述的防止熱擴散的裝置可以同樣通過該控制中心實現(xiàn)自動化的防止該干燥倉14的熱量損失，S卩，該防止熱擴散的裝置還可以與該控制中心相連，并通過該控制中心控制該防止熱擴散的裝置的電磁閥13的開啟或者關(guān)閉。
[0043]以上所述僅為本實用新型的實施例而已，并不用于限制本實用新型。對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原理之內(nèi)所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述裝置包括:熱循環(huán)栗、熱風(fēng)連接管路以及出風(fēng)口，其中: 所述熱循環(huán)栗，用于向所述防止熱擴散的裝置提供熱風(fēng)； 所述熱風(fēng)連接管路，用于連接熱循環(huán)栗和所述出風(fēng)口； 所述出風(fēng)口，在開啟時用于將所述熱循環(huán)栗提供的熱風(fēng)吹出，以形成熱風(fēng)的風(fēng)簾。2.如權(quán)利要求1所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述裝置還包括: 電磁閥，設(shè)置于所述熱風(fēng)連接管路上，用于控制所述出風(fēng)口開啟或關(guān)閉。3.如權(quán)利要求1所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口有多個； 所述熱風(fēng)連接管路分別與每個出風(fēng)口連接。4.如權(quán)利要求1所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述裝置還包括:干燥倉； 所述出風(fēng)口位于干燥倉的倉口，所述出風(fēng)口吹出的熱風(fēng)在倉口內(nèi)與倉口外之間形成風(fēng)簾隔離層。5.如權(quán)利要求4所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口垂直于所述倉口的內(nèi)壁。6.如權(quán)利要求4所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口向所述干燥倉內(nèi)傾斜預(yù)設(shè)的角度。7.如權(quán)利要求4所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口的寬度與所述干燥倉倉口的寬度一致。8.如權(quán)利要求4所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述出風(fēng)口位于所述倉口的上內(nèi)壁和/或下內(nèi)壁。9.如權(quán)利要求2所述的防止熱擴散的裝置，其特征在于，所述電磁閥位于所述熱風(fēng)連接管路與所述熱循環(huán)栗連接的一端。
【文檔編號】F26B9/06GK205718260SQ201620599533
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月17日
【發(fā)明人】董正新
【申請人】昆山國顯光電有限公司