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一種噴氣柱及太陽能硅片甩干機(jī)的制作方法

文檔序號:12726585閱讀:646來源:國知局
一種噴氣柱及太陽能硅片甩干機(jī)的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及太陽能硅片甩干機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種噴氣柱及太陽能硅片甩干機(jī)。



背景技術(shù):

現(xiàn)有技術(shù)中的太陽能硅片甩干機(jī)一般采用高溫加噴氣的方式進(jìn)行甩干,現(xiàn)有技術(shù)中的噴氣柱上設(shè)置的氣嘴數(shù)量少,噴出的氣體量少。如圖1所示,由于CDA氣體(CLEAN DRY AIR,即壓縮干燥空氣)僅從噴氣柱的上端進(jìn)入,而設(shè)置在噴氣柱上的氣嘴大小相同且等距分布,因此噴氣柱上端的氣嘴與噴氣柱下端的氣嘴存在空間上及氣體噴出時間上的差異,導(dǎo)致CDA氣體在腔內(nèi)分布的均勻性存在差異從而影響到甩干時間。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的第一個目的在于提供一種噴氣柱,其使得氣體的分布更加均勻,減少了甩干時間。

本實(shí)用新型的第二個目的在于提供一種包含上述噴氣柱的太陽能硅片甩干機(jī),其使得氣體在甩干機(jī)腔內(nèi)的分布更加均勻,減少了甩干時間。

為達(dá)第一個目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:

一種噴氣柱,噴氣柱的上部設(shè)置有進(jìn)氣口,噴氣柱的側(cè)壁設(shè)置有若干個通孔,若干個通孔沿噴氣柱的側(cè)壁呈陣列式排布,若干個通孔的直徑沿噴氣柱的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大。

其中,噴氣柱的側(cè)壁從上到下依次設(shè)置有第一孔區(qū)、第二孔區(qū)和第三孔區(qū),通孔包括設(shè)置在第一孔區(qū)的若干個第一氣孔、設(shè)置在第二孔區(qū)的若干個第二氣孔和設(shè)置在第三孔區(qū)的若干個第三氣孔,第一氣孔的直徑小于第二氣孔的直徑,第二氣孔的直徑小于第三氣孔的直徑。

其中,若干個第一氣孔在第一孔區(qū)均勻分布,若干個第二氣孔在第二孔區(qū)均勻分布,若干個第三氣孔在第三孔區(qū)均勻分布。

其中,第一孔區(qū)、第二孔區(qū)和第三孔區(qū)的長度相等。

其中,第一氣孔的直徑為0.1mm,第二氣孔的直徑為0.2mm,第三氣孔的直徑為0.3mm。

其中,通孔的直徑為0.1~0.3mm。

其中,噴氣柱的長度為6~10cm,噴氣柱的外徑為2~3cm。

為達(dá)第二個目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:

一種太陽能硅片甩干機(jī),包括底板、環(huán)繞分布于底板上表面的若干個硅片承載盒及與底板相對設(shè)置的蓋板,底板的中心位置上設(shè)有上述的噴氣柱。

本實(shí)用新型的有益效果:一種噴氣柱,噴氣柱的上部設(shè)置有進(jìn)氣口,噴氣柱的側(cè)壁設(shè)置有若干個通孔,若干個通孔沿噴氣柱的側(cè)壁呈陣列式排布,若干個通孔的直徑沿噴氣柱的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大。本實(shí)用新型的噴氣柱及太陽能硅片甩干機(jī),氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入噴氣柱內(nèi)部,若干個通孔的直徑沿噴氣柱的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大,使得位于噴氣柱下端的通孔的直徑較大,從而使得氣體的分布更加均勻,減少了甩干時間。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的噴氣柱的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的噴氣柱的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記如下:

1-噴氣柱;11-進(jìn)氣口;12-通孔;13-第一孔區(qū);131-第一氣孔;14-第二孔區(qū);141-第二氣孔;15-第三孔區(qū);151-第三氣孔

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合圖2并通過具體實(shí)施例來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。

如圖2所示,一種噴氣柱1,噴氣柱1的上部設(shè)置有進(jìn)氣口11,噴氣柱1的側(cè)壁設(shè)置有若干個通孔12,若干個通孔12沿噴氣柱1的側(cè)壁呈陣列式排布,若干個通孔12的直徑沿噴氣柱1的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大。本實(shí)用新型的噴氣柱1,氣體從進(jìn)氣口11進(jìn)入噴氣柱1內(nèi)部,若干個通孔12的直徑沿噴氣柱1的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大,使得位于噴氣柱1下端的通孔12的直徑較大,從而使得氣體的分布更加均勻,減少了甩干時間。

本實(shí)施例中,如圖2所示,噴氣柱1的側(cè)壁從上到下依次設(shè)置有第一孔區(qū)13、第二孔區(qū)14和第三孔區(qū)15,通孔12包括設(shè)置在第一孔區(qū)13的若干個第一氣孔131、設(shè)置在第二孔區(qū)14的若干個第二氣孔141和設(shè)置在第三孔區(qū)15的若干個第三氣孔151,第一氣孔131的直徑小于第二氣孔141的直徑,第二氣孔141的直徑小于第三氣孔151的直徑。

本實(shí)施例中,若干個第一氣孔131在第一孔區(qū)13均勻分布,若干個第二氣孔141在第二孔區(qū)14均勻分布,若干個第三氣孔151在第三孔區(qū)15均勻分布,使得氣體的分布更加均勻。優(yōu)選地,第一孔區(qū)13、第二孔區(qū)14和第三孔區(qū)15的長度相等。

本實(shí)施例中,通孔12的直徑為0.1~0.3mm,第一氣孔131的直徑為0.1mm,第二氣孔141的直徑為0.2mm,第三氣孔151的直徑為0.3mm。在其他實(shí)施例中,第一氣孔131、第二氣孔141和第三氣孔151的直徑也可根據(jù)需要選擇0.1~0.3mm中的其他數(shù)值。

本實(shí)用新型中,噴氣柱1的長度為6~10cm,噴氣柱1的外徑為2~3cm。本實(shí)施例中,噴氣柱1的長度為8cm,噴氣柱1的外徑為2.5cm。在其他實(shí)施例中,噴氣柱1的長度也可根據(jù)需要選擇6cm、10cm等,噴氣柱1的外徑也可根據(jù)需要選擇2cm、3cm等。

一種太陽能硅片甩干機(jī),包括底板、環(huán)繞分布于底板上表面的若干個硅片承載盒及與底板相對設(shè)置的蓋板,底板的中心位置上設(shè)有上述的噴氣柱1。氣體從進(jìn)氣口11進(jìn)入噴氣柱1內(nèi)部,若干個通孔12的直徑沿噴氣柱1的側(cè)壁從上到下呈階梯型增大,使得位于噴氣柱1下端的通孔12的直徑較大,從而使得氣體的分布更加均勻,減少了甩干時間。

以上內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,依據(jù)本實(shí)用新型的思想,在具體實(shí)施方式及應(yīng)用范圍上均會有改變之處,本說明書內(nèi)容不應(yīng)理解為對本實(shí)用新型的限制。

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