本實(shí)用新型涉及擴(kuò)散爐的爐門，尤其涉及一種低壓擴(kuò)散爐爐門密封裝置。

背景技術(shù)：

在光伏行業(yè)中，高溫?cái)U(kuò)散爐主要用于對(duì)單晶硅片、多晶硅片進(jìn)行摻雜形成PN結(jié)。隨著擴(kuò)散工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的高溫?cái)U(kuò)散爐的摻雜均勻性無(wú)法滿足先進(jìn)電池工藝路線的技術(shù)需求，低壓擴(kuò)散爐應(yīng)運(yùn)而生，然而低壓擴(kuò)散工藝需在真空環(huán)境下進(jìn)行，其爐門的密封性能直接影響生產(chǎn)質(zhì)量。

現(xiàn)有技術(shù)中的爐門密封裝置，多數(shù)都是將爐門通過(guò)螺釘直接固定在爐門固定座上，爐門的位置主要依靠調(diào)節(jié)螺釘進(jìn)行調(diào)整，當(dāng)通過(guò)調(diào)節(jié)爐門固定座的螺釘對(duì)爐門進(jìn)行調(diào)整，這種靠螺釘調(diào)整的方式操作起來(lái)相當(dāng)麻煩，需人工手動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)，并且經(jīng)常需要反復(fù)多次調(diào)節(jié)，生產(chǎn)效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種低壓擴(kuò)散爐爐門密封裝置，該爐門密封裝置具有自動(dòng)校正功能，只要稍微調(diào)節(jié)就能輕松達(dá)到良好的密封效果。

本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，設(shè)計(jì)一種低壓擴(kuò)散爐爐門密封裝置，包括：由前至后依次排列且同軸設(shè)置的爐門、固定軸及固定座，爐門的后端面中心固定有軸承座，軸承座內(nèi)設(shè)有向心關(guān)節(jié)軸承，向心關(guān)節(jié)軸承的外圈固定在軸承座內(nèi)，向心關(guān)節(jié)軸承的內(nèi)圈固定套在固定軸的前端，固定軸的后端固定在固定座內(nèi)。

固定座的前端面還固定有支撐板，支撐板上設(shè)有間隔設(shè)有多個(gè)彈簧調(diào)整組件，至少有三個(gè)彈簧調(diào)整組件以爐門的軸線為中心均勻排列。彈簧調(diào)整組件包括：固定在支撐板上的調(diào)整套筒，設(shè)于調(diào)整套筒內(nèi)的調(diào)整螺釘，后端設(shè)在調(diào)整套筒內(nèi)、前端向爐門伸出的頂柱，設(shè)于調(diào)整套筒內(nèi)的彈簧，彈簧的兩端壓縮在調(diào)整螺釘與頂柱之間。

其中，頂柱由位于調(diào)整套筒內(nèi)的后圓柱和伸出調(diào)整套筒外的前圓柱構(gòu)成，后圓柱直徑大于前圓柱直徑，調(diào)整套筒的前端設(shè)有恰好容納前圓柱活動(dòng)穿過(guò)的伸縮孔。

優(yōu)選的，調(diào)整套筒的后端內(nèi)側(cè)壁設(shè)有內(nèi)調(diào)整螺紋，調(diào)整螺釘?shù)耐鈧?cè)壁設(shè)有與內(nèi)調(diào)整螺紋配合的外調(diào)整螺紋，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整螺釘可調(diào)整其在調(diào)整套筒內(nèi)的前后位置。

優(yōu)選的，爐門的后端面還固定至少一個(gè)防轉(zhuǎn)銷，支撐板上設(shè)有直徑大于防轉(zhuǎn)銷的限位孔，防轉(zhuǎn)銷伸入該限位孔內(nèi)。

優(yōu)選的，支撐板上設(shè)有四個(gè)彈簧調(diào)整組件，其中兩個(gè)彈簧調(diào)整組件位于爐門的上部?jī)蓚?cè)，另外兩個(gè)彈簧調(diào)整組件呈直線排列在所述爐門的下部中間。

優(yōu)選的，爐門上固定有三個(gè)以爐門的軸線為中心均勻排列的防轉(zhuǎn)銷，其中兩個(gè)防轉(zhuǎn)銷位于爐門的下部?jī)蓚?cè)，另外一個(gè)防轉(zhuǎn)銷位于爐門的上部中間。

與現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型采用向心關(guān)節(jié)軸承作為核心部件，爐門在向心關(guān)節(jié)軸承的作用下可傾斜擺動(dòng)調(diào)節(jié)位置，再采用彈簧對(duì)向心關(guān)節(jié)軸承形成的萬(wàn)向空間進(jìn)行約束，推動(dòng)爐門傾斜擺動(dòng)以緊密貼合反應(yīng)腔端口處的密封法蘭，達(dá)到自動(dòng)校正位置并密封反應(yīng)腔的效果。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中：

圖1是本實(shí)用新型的背面示意圖；

圖2是圖1中A-A的剖面示意圖；

圖3是圖2中B處的放大示意圖；

圖4是本實(shí)用新型的立體示意圖；

圖5是本實(shí)用新型密封在反應(yīng)腔端口的剖面示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1、2所示，本實(shí)用新型提出的低壓擴(kuò)散爐爐門密封裝置，包括：同軸設(shè)置的爐門1、固定軸2和固定座3，爐門1、固定軸2和固定座3由前至后依次排列，固定軸2的后端固定在固定座3內(nèi)，固定軸2的前端通過(guò)一向心關(guān)節(jié)軸承4與爐門1的后端面連接。

如圖3所示，固定軸2的前端固定在向心關(guān)節(jié)軸承4的內(nèi)圈中，固定軸2的前端設(shè)有一圈向外凸出的限位圈，固定軸2上還套有位于向心關(guān)節(jié)軸承4與固定座3之間的套筒5，固定軸2的后端設(shè)有螺紋孔，固定座3上設(shè)有連通至該螺紋孔的鎖緊孔，固定軸2通過(guò)螺釘固定在固定座3上，螺釘鎖緊后向心關(guān)節(jié)軸承4的內(nèi)圈被夾持在限位圈與套筒5之間，實(shí)現(xiàn)其內(nèi)圈與固定軸2的固定連接。

爐門1的后端面中心固定有軸承座6，軸承座6的前端為敞口，向心關(guān)節(jié)軸承4位于該軸承座6內(nèi)，向心關(guān)節(jié)軸承4的外圈與爐門1的后端面之間還設(shè)有墊圈7，軸承座6的后端設(shè)有通孔，通孔的尺寸恰好將向心關(guān)節(jié)軸承4的外圈限制在軸承座6內(nèi)，軸承座6與爐門1固定后，向心關(guān)節(jié)軸承4的外圈被夾持在墊圈7和軸承座之間，實(shí)現(xiàn)其外圈與爐門1的固定連接。

如圖1、2、4所示，固定座3的前端面還固定有支撐板8，支撐板8上設(shè)有間隔設(shè)有多個(gè)彈簧調(diào)整組件，至少有三個(gè)彈簧調(diào)整組件以爐門1的軸線為中心均勻排列。彈簧調(diào)整組件包括：調(diào)整套筒9、調(diào)整螺釘10、彈簧11和頂柱12。

調(diào)整套筒9固定在支撐板8上，支撐板8上設(shè)有容納調(diào)整套筒9穿過(guò)的安裝孔，調(diào)整套筒9通過(guò)螺母座13和螺母14固定在支撐板8上，調(diào)整套筒9的前端外側(cè)壁設(shè)有外固定螺紋，螺母座13和螺母14分別套在該外固定螺紋上，支撐板8夾持在螺母座13與螺母14之間，實(shí)現(xiàn)調(diào)整套筒9與支撐板8的固定連接。調(diào)整螺釘10連接在調(diào)整套筒9的后端內(nèi)，頂柱12由前圓柱和直徑大于前圓柱的后圓柱構(gòu)成，后圓柱位于調(diào)整套筒9內(nèi)，前圓柱位于調(diào)整套筒9外向爐門1伸出，調(diào)整套筒9的前端設(shè)有恰好容納前圓柱活動(dòng)穿過(guò)的伸縮孔，彈簧11的兩端壓縮在調(diào)整螺釘10與頂柱12的后端之間，由于彈簧11處于壓縮狀態(tài)，保證頂柱12上始終有向前推動(dòng)爐門1的推力。

如圖5所示，實(shí)際安裝使用時(shí)固定座3的后端還連接有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)爐門密封裝置向反應(yīng)腔15移動(dòng)，反應(yīng)腔15的端口密封設(shè)有密封法蘭16，密封法蘭16的端面上設(shè)有一圈向外凸出密封圈17，爐門1移動(dòng)直至完全貼合在密封法蘭16上，擠壓密封圈17以完成反應(yīng)腔15的密封。由于向心關(guān)節(jié)軸承4是一種球面滑動(dòng)軸承，其滑動(dòng)接觸表面是一個(gè)內(nèi)球面和一個(gè)外球面，運(yùn)動(dòng)時(shí)可以在任意角度旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，向心關(guān)節(jié)軸承4安裝后可傾斜擺動(dòng)去貼合密封法蘭16的表面，以自動(dòng)適應(yīng)密封法蘭16和密封圈17，位置調(diào)整效果非常好，同時(shí)在爐門1旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)的過(guò)程中，由于多個(gè)頂柱12始終對(duì)爐門1存在向前推動(dòng)的推力，保證爐門1在適應(yīng)密封法蘭16和密封圈17的同時(shí)，能緊密壓制在密封圈17的表面，密封性能更好。

較優(yōu)的，如圖1、4所示，支撐板8上設(shè)有四個(gè)彈簧調(diào)整組件，其中兩個(gè)彈簧調(diào)整組件位于爐門1的上部?jī)蓚?cè)，另外兩個(gè)彈簧調(diào)整組件呈直線排列在爐門1的下部中間，這是由于爐門1存在重力，在重力作用下?tīng)t門1會(huì)向下擺動(dòng)，即頂部向前傾斜、底部向后傾斜，在爐門1的下部中間設(shè)置兩個(gè)彈簧調(diào)整組件可使?fàn)t門1保持豎直，爐門1與密封法蘭16貼合后各個(gè)位置的受力也比較均勻。

更優(yōu)的，如圖2所示，調(diào)整套筒9的后端內(nèi)側(cè)壁設(shè)有內(nèi)調(diào)整螺紋，調(diào)整螺釘10的外側(cè)壁設(shè)有與內(nèi)調(diào)整螺紋配合的外調(diào)整螺紋，轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整螺釘10可使其在調(diào)整套筒9內(nèi)前后移動(dòng)，以改變彈簧11的壓縮狀態(tài)，調(diào)整頂柱12作用在爐門1上的推力。

進(jìn)一步的，如圖2、3所示，為了防止?fàn)t門1以向心關(guān)節(jié)軸承4為中心360°轉(zhuǎn)動(dòng)，爐門1的后端面還固定至少一個(gè)防轉(zhuǎn)銷18，支撐板8上設(shè)有直徑大于防轉(zhuǎn)銷18的限位孔，防轉(zhuǎn)銷18伸入該限位孔內(nèi)，既不會(huì)影響爐門1在一定范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)，又限制了爐門1的360°轉(zhuǎn)動(dòng)，在本實(shí)施例中，如圖1、4所示，爐門1上固定有三個(gè)以爐門1的軸線為中心均勻排列的防轉(zhuǎn)銷18，其中兩個(gè)防轉(zhuǎn)銷18位于爐門的下部?jī)蓚?cè)，另外一個(gè)防轉(zhuǎn)銷18位于爐門1的上部中間。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。