本實(shí)用新型涉及一種加熱裝置，更具體地說，它涉及一種紅外線加熱器。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，硅片需要預(yù)先清洗，需要配置硅料清洗設(shè)備。而且硅料清洗設(shè)備對清洗溫度有一定的要求，通常需要預(yù)先加熱水，再注入指定的清洗設(shè)備中。目前常用的加熱設(shè)備分為水箱式和即熱式。水箱式通常是預(yù)先加熱儲存在水箱中的水，使用完之后熱水不能及時供應(yīng)。使用即熱式的加熱設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)在線加熱，保證使用過程中水溫恒定。

授權(quán)公告號為CN202188618U的中國專利公開了一種即熱式恒溫在線加熱器，該加熱器包括殼體、加熱組件和用于控制加熱組件的控制系統(tǒng)，殼體內(nèi)部為與外界水通道連通的空腔，殼體內(nèi)部設(shè)置有將空腔分為內(nèi)外兩層的隔離板，設(shè)置在空腔內(nèi)部的導(dǎo)熱層開有進(jìn)水的入水口，位于在導(dǎo)熱層外部的中和層設(shè)置有輸出熱水的出水口，隔離板設(shè)置有連通導(dǎo)熱層和中和層的水流通孔，加熱組件設(shè)置在導(dǎo)熱層里，中和層里設(shè)置有連接控制系統(tǒng)的溫度傳感器。

但是該加熱器的加熱源只有一處，熱量從熱源向周圍的水?dāng)U散，對于在線加熱器來講，離熱源較遠(yuǎn)處的水可能來不及充分加熱就要流入下一個單元。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種紅外線加熱器，在該加熱器內(nèi)設(shè)置多點(diǎn)加熱源，同時在加熱器內(nèi)垂直水流方向設(shè)置若干緩流板，使水流經(jīng)在線加熱器得到充分加熱，便于后期使用。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種紅外線加熱器，包括設(shè)置于殼體內(nèi)部的加熱槽，加熱槽的上方固定有與加熱槽密封的頂蓋，加熱槽底部開設(shè)進(jìn)水口，頂部上開設(shè)出水口；于加熱槽內(nèi)部與頂蓋和加熱槽底面平行，并順向設(shè)置若干帶有導(dǎo)流孔的緩流板；加熱槽內(nèi)部于頂蓋和加熱槽底部之間設(shè)置有貫穿緩流板的至少三根石英管，石英管內(nèi)部設(shè)置紅外線加熱棒。

采用以上技術(shù)方案，加熱槽槽底設(shè)置進(jìn)水口，槽頂部設(shè)置出水口，由于加熱槽用于在線加熱，進(jìn)水口位于下方，進(jìn)入的水需要充滿整個加熱槽才可以從出水口流出，并且進(jìn)入后面的工序中。如果進(jìn)水口出現(xiàn)故障，停止供水時，加熱槽內(nèi)部仍然充滿水防止加熱槽內(nèi)出現(xiàn)“干燒”現(xiàn)象。于加熱槽內(nèi)部與頂蓋和加熱槽底面平行，并順向設(shè)置若干帶有導(dǎo)流孔的緩流板，增大水流由下至上的流動阻力，增加水流流過的路程，使水流經(jīng)加熱槽停留較長時間，使水充分加熱。在加熱槽內(nèi)部頂蓋和加熱槽底部之間貫穿石英管豎直多點(diǎn)分布石英管，石英管內(nèi)設(shè)置紅外線加熱棒，在整個加熱槽內(nèi)分布多個加熱源，熱量可以更快傳遞到周圍的水中，加熱效率更高，適合在線快速加熱過程。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，頂蓋上方設(shè)置一個與加熱槽側(cè)壁以及頂蓋能夠形成密閉空間的可拆卸的上蓋板，出水口從頂蓋伸出并穿過上蓋板向外延伸。

由于本方案中涉及水電共存的體系，需要進(jìn)入電路，而引入的電路不能著水。因此，在加熱槽的頂蓋上方增設(shè)一個密閉的空間進(jìn)行干濕分離，密閉的空間內(nèi)用于集合電路體系，出水口穿過上蓋板向外延伸將液體直接引入下一工序。保證整個加熱槽的安全性。此外，上蓋板設(shè)置為可拆卸方式，便于維修。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，石英管下端與加熱槽底部相連，石英管的上端與頂蓋連通。

采用以上技術(shù)方案，石英管分離的設(shè)置于加熱槽內(nèi)，一方面保證石英管內(nèi)部干燥并且上端開口便于放置或者更換紅外線加熱棒，另一方面遠(yuǎn)紅外線通過石英管時產(chǎn)生多次反射和折射的乳濁效應(yīng)，具有很好的遠(yuǎn)紅外輻射特點(diǎn)。使用紅外線加熱棒加熱，熱源不用與液體直接接觸就可加熱，效率更高。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，所述緩流板上的通孔大小不一，同時相鄰兩個緩流板上導(dǎo)流孔的位置相同。

采用以上技術(shù)方案，水從位于下方的進(jìn)水口進(jìn)入，流經(jīng)緩流板，在緩流板上設(shè)置大小不一的通孔。水以同樣速度流過緩流板時，產(chǎn)生分流，流過較大孔水的流量大，流速??；流過較小孔的水流量小，流速大。各分流通過緩流板之后，由于流速流量不同，互相之間發(fā)生擾動，從而促進(jìn)了加熱槽內(nèi)部的水的熱交換。通過每一層緩流板都經(jīng)過一次熱交換，加熱槽內(nèi)水的熱量得到充分交換，加熱更加均勻。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，緩流板上的導(dǎo)流孔大小不一，且相鄰兩個緩流板之間的導(dǎo)流孔位置交錯設(shè)置。

采用以上技術(shù)方案，相鄰兩個緩流板之間的通孔交錯設(shè)置，水流達(dá)到第一個緩流板時，經(jīng)過通孔分流形成多個支流。再流經(jīng)相鄰的緩流板時，經(jīng)過通孔進(jìn)行再次分流。相當(dāng)于在加熱槽內(nèi)又增加了擾流元件，促進(jìn)液體混合均勻，促進(jìn)熱交換。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，與進(jìn)水口相連并且向外延伸設(shè)置帶有閥門的管道。

采用以上技術(shù)方案，由于進(jìn)水口設(shè)置在加熱槽的底面，在進(jìn)水口處設(shè)置帶有閥門的軟管方便其與上水管連接，以供后面工序用水。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，在加熱槽的地面下方設(shè)置若干支腳。

采用以上技術(shù)方案，在加熱槽下方設(shè)置支腳將真?zhèn)€加熱槽支撐起來，方便進(jìn)水口接水。

本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置為，在加熱槽的外壁設(shè)置保溫棉層。

采用以上技術(shù)方案，在加熱槽外壁包裹設(shè)置保溫棉層，保證加熱槽內(nèi)部溫度恒定，減少熱量散失。

有益效果：加熱槽內(nèi)部豎直分布多個加熱源，熱量可以更快傳遞到周圍的水中，加熱效率更高，適合在線快速加熱過程。貫穿石英管順次設(shè)置的帶有通孔的緩流板，增大水流由下至上的流動阻力，增加水流流過的路程，使水流經(jīng)加熱槽停留較長時間，使水充分加熱。

附圖說明

圖1為實(shí)施例一中紅外線加熱器的剖視圖；

圖2為實(shí)施例一中石英管和緩流板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為實(shí)施例二中石英管和緩流板的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：1、加熱槽；11、頂蓋；12、上蓋板；13、凸緣；14、進(jìn)水口；15、出水口；16、支腳；17、閥門；2、石英管；3、紅外線加熱棒；31、加熱部分；32、連線部分；4、緩流板；41、導(dǎo)流孔；5、保溫棉層。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例一：一種紅外線加熱器，如圖1所示，屬于流水線清洗設(shè)備中加熱流動水的環(huán)節(jié)。紅外線加熱器包括殼體（未畫出），在殼體內(nèi)部設(shè)置加熱槽1，加熱槽1上部連接密封的頂蓋11，于頂蓋11上方設(shè)置一個與加熱槽1側(cè)壁以及頂蓋11能夠形成密封空腔的上蓋板12。加熱槽1側(cè)壁頂端向外延伸形成凸緣13，上蓋板12蓋于凸緣13之上，二者使用螺栓固定，便于拆卸、方便維修。在加熱槽1的底面開設(shè)進(jìn)水口14，進(jìn)水口14延伸設(shè)置一段帶有閥門17的管道，便于連接上水管。同時在加熱槽1下端設(shè)置多個支腳16支撐起加熱槽1便于接上水管。在加熱槽1的頂蓋11上開設(shè)出水口15，并且該出水口15延伸至上蓋板12之上，同時與下一用水機(jī)構(gòu)相連。頂蓋11與上蓋板12之間形成干燥的空腔，內(nèi)部安裝電路系統(tǒng)，帶有進(jìn)水口14和出水口15的加熱槽1為水流動的空間。整個加熱槽1分為干濕分離的兩個區(qū)域，互不干涉，避免安全隱患。

在加熱槽1內(nèi)部豎直設(shè)置五根中空的石英管2，石英管2下端抵設(shè)于加熱槽1底面并與底板相連，石英管2上端延伸至加熱槽1的頂蓋11與頂蓋11相通。石英管2以加熱槽1底面中心為圓心圍繞成圓形均勻分布，于石英管2內(nèi)部設(shè)置紅外線加熱棒3。熱源均勻分布，加熱效率更高。紅外線加熱棒3包括加熱部分31和連線部分32，其中加熱部分31位于石英管2內(nèi)部，連線部分32靠近加熱槽1的頂蓋11并從頂蓋11延伸出連接線。在頂蓋11和上蓋板12形成的空腔內(nèi)，連接線與溫度傳感器相連控制加熱槽1內(nèi)部水的溫度，同時，在該區(qū)域也設(shè)置探測加熱槽1內(nèi)部壓力的壓力表以及泄壓閥。若加熱槽1內(nèi)部溫度較高時產(chǎn)生較大壓力，啟動泄壓減少內(nèi)部氣壓。該部分的電路系統(tǒng)和壓力系統(tǒng)以常規(guī)設(shè)計安裝。加熱槽還配有常規(guī)的液位傳感器進(jìn)行保護(hù)，當(dāng)液位過低，設(shè)備有報警提示，防止加熱器干燒，當(dāng)液位過高時，有報警提示，停止注液。在加熱槽1的外部罩設(shè)一層保溫棉層5，減少熱量散失。

如圖2所示，在加熱槽1內(nèi)部與頂蓋11和底面平行的方向貫穿石英管2順向依次排布三個相同的緩流板4，減緩液體的流速，使其在加熱槽1內(nèi)停留更長時間，加熱更加充分。緩流板4上設(shè)置若干導(dǎo)流孔41，導(dǎo)流孔41的大小各不相同。水從進(jìn)水口14接入流入加熱槽1，抵達(dá)第一個緩流板4時分流，由于從大孔和小孔流出的液體流速各不相同，在緩流板4的上方又互相融合，在液體內(nèi)部形成較大的擾動，液體內(nèi)部的熱量能夠得到充分交換，整個加熱槽1內(nèi)部受熱更加均勻。

通過在加熱槽1內(nèi)部分布多個加熱源，多點(diǎn)同步加熱效率更高。此外，在加熱槽1內(nèi)部設(shè)置的緩流板4可減緩加熱槽1內(nèi)液體的流速，加熱更加充分。緩流板4上設(shè)置大小不一的導(dǎo)流孔41進(jìn)一步擾動液體，使加熱更加均勻。

實(shí)施例二：一種紅外線加熱器，如圖3所示，本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于：本實(shí)施例中相鄰的兩個緩流板4上的導(dǎo)流孔41位置交錯分布，液體從進(jìn)水口14進(jìn)入加熱槽1，經(jīng)過緩流板4減緩流速同時經(jīng)導(dǎo)流孔41分流，再經(jīng)過下一個相鄰的緩流板4時，由于導(dǎo)流孔41錯位分布，液體再次經(jīng)過不同孔徑導(dǎo)流孔41形成紊流，進(jìn)一步加大擾動液體，促進(jìn)液體內(nèi)部的熱交換，加熱槽1內(nèi)液體加熱更加均勻。

將相鄰兩塊緩流板4上的導(dǎo)流孔41位置錯位分布，促進(jìn)加熱槽1內(nèi)部液體流動，加熱更加均勻。

以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。