技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠再現(xiàn)性良好地控制溫度分布的熱處理裝置。熱處理裝置(1)具有筒狀的加熱器(20)、由連接于加熱器(20)的兩端的石墨管形成的槽(30、40)以及形成于槽(30、40)的電極(31、41)。加熱器(20)包括：第1石墨管(21B)；第2石墨管(21C)，其配置為一個(gè)端面與第1石墨管(21B)的一個(gè)端面接觸，并具有比第1石墨管(21B)的電阻高的電阻；以及第3石墨管(21D)，其配置為一個(gè)端面與第2石墨管(21C)的另一個(gè)端面接觸，并具有比第2石墨管(21C)的電阻低的電阻。

技術(shù)研發(fā)人員：中村順一;荒川英吾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：SEC炭素株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.20
技術(shù)公布日：2017.09.26