本技術(shù)涉及過濾風(fēng)機，尤其是一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)的技術(shù)發(fā)展,國內(nèi)設(shè)備對ffu的需求量激增，對ffu設(shè)備的要求也層出不窮。

2、ffu風(fēng)機過濾機組可模塊化連接用，使用ffu風(fēng)機過濾機組廣泛應(yīng)用于無塵室，無塵操作臺，無塵生產(chǎn)線，組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。

3、目前市場上的ffu的出風(fēng)面都是在底部，而且風(fēng)速不均勻、風(fēng)速不恒定，風(fēng)速不均勻影響過濾效果、出風(fēng)風(fēng)速不恒定影響出風(fēng)效果，不能滿足客戶某些機臺空間不足，或工藝需求需要更改出風(fēng)面。

4、為此，我們提出一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本申請人針對上述現(xiàn)有生產(chǎn)技術(shù)中的缺點，提供一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，從而能夠提高過濾效果、提高穩(wěn)定的風(fēng)壓還能實現(xiàn)側(cè)面出風(fēng)。

2、本實用新型所采用的技術(shù)方案如下：

3、一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，包括：

4、化學(xué)過濾器，其連接進(jìn)風(fēng)口并用于對空氣進(jìn)行一次過濾；

5、風(fēng)扇模塊，其包括兩個上下分布并依次進(jìn)行導(dǎo)氣的風(fēng)機；

6、勻風(fēng)組件，用于將風(fēng)扇模塊產(chǎn)生的集中風(fēng)流分散向下勻風(fēng)；

7、高效過濾器，其用于對空氣進(jìn)行二次過濾

8、排風(fēng)腔，其用于積攢過濾后的空氣，并用于將空氣集中到中部一側(cè)；

9、出氣組件，其連接于排風(fēng)腔集氣的一側(cè)并用于將空氣從側(cè)邊排出。

10、還包括控制面板，用于根據(jù)風(fēng)速傳感器控制出風(fēng)風(fēng)速。

11、其進(jìn)一步特征在于：

12、所述風(fēng)扇模塊包括上下分布并處于同一條垂直線上的風(fēng)機一和風(fēng)機二，且風(fēng)機一和風(fēng)機二通過連接套相互連接。

13、所述勻風(fēng)組件包括：

14、導(dǎo)流板，其數(shù)量至少為兩個且呈“l(fā)”型對稱分布在勻風(fēng)組件的出風(fēng)側(cè)，并用于將集中風(fēng)流分散開；

15、勻風(fēng)板，其呈水平分布并位于導(dǎo)流板的下端用于對分散后的風(fēng)進(jìn)行勻風(fēng)。

16、進(jìn)一步的，所述排風(fēng)腔包括：

17、罩殼；

18、內(nèi)腔，其一端敞口且另三側(cè)壁均呈弧形分布，并用于將垂直風(fēng)向轉(zhuǎn)化為水平風(fēng)向；

19、導(dǎo)風(fēng)板，其數(shù)量為多個并等距分布在內(nèi)腔長邊的側(cè)壁上，且導(dǎo)風(fēng)板呈螺旋形分布并指向出氣組件方向，用于將吹向內(nèi)腔上的風(fēng)均勻的引向出氣組件中。

20、所述導(dǎo)風(fēng)板自內(nèi)腔側(cè)壁向內(nèi)腔底壁進(jìn)行螺旋布置，且在導(dǎo)風(fēng)板位于內(nèi)腔底壁的一端輕微上揚，用于形成指向出氣組件方向的渦流。

21、所述出氣組件包括：

22、喇叭口，用于匯聚排風(fēng)腔中的空氣；

23、出風(fēng)口，用于將空氣導(dǎo)出，且在出風(fēng)口中設(shè)置有風(fēng)速傳感器，用于檢測風(fēng)速。

24、本實用新型的有益效果如下：

25、化學(xué)過濾器，其連接進(jìn)風(fēng)口并用于對空氣進(jìn)行一次過濾；

26、風(fēng)扇模塊，其包括兩個上下分布并依次進(jìn)行導(dǎo)氣的風(fēng)機；

27、勻風(fēng)組件，用于將風(fēng)扇模塊產(chǎn)生的集中風(fēng)流分散向下勻風(fēng)；

28、高效過濾器，其用于對空氣進(jìn)行二次過濾

29、排風(fēng)腔，其用于積攢過濾后的空氣，并用于將空氣集中到中部一側(cè)；

30、出氣組件，其連接于排風(fēng)腔集氣的一側(cè)并用于將空氣從側(cè)邊排出。

31、還包括控制面板，用于根據(jù)風(fēng)速傳感器控制出風(fēng)風(fēng)速。

32、本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，通過對空氣進(jìn)行兩次過濾提高新風(fēng)質(zhì)量，同時采用雙重疊加的風(fēng)機提高了風(fēng)速，再通過勻風(fēng)組件對新風(fēng)進(jìn)行勻風(fēng)處理，使得出風(fēng)更加均勻，最后通過排風(fēng)腔對勻后的新風(fēng)進(jìn)行側(cè)向聚集出風(fēng)，同時提高出風(fēng)效果，具有很強的實用性。

33、同時，本實用新型還具備如下優(yōu)點：

34、(1).風(fēng)扇模塊為其中一個改進(jìn)點，風(fēng)扇模塊包括兩個上下分布并依次進(jìn)行導(dǎo)氣的風(fēng)機，能夠提高風(fēng)速，提高風(fēng)速后方便后續(xù)提供穩(wěn)定風(fēng)壓。

35、(2).勻風(fēng)組件用于將風(fēng)扇模塊產(chǎn)生的集中風(fēng)流分散向下勻風(fēng)，能夠為第二次的高效過濾器提高過濾效果，避免過濾不均勻的情況。

36、(3).排風(fēng)腔作為最大的改進(jìn)點，排風(fēng)腔包括罩殼、內(nèi)腔和導(dǎo)風(fēng)板，用于形成指向出氣組件方向的渦流，方便將周測的風(fēng)匯聚到中部下端，在通過上揚匯聚到出氣組件的位置，進(jìn)行出風(fēng)。

技術(shù)特征：

1.一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：所述風(fēng)扇模塊(500)包括上下分布并處于同一條垂直線上的風(fēng)機一(501)和風(fēng)機二(502)，且風(fēng)機一(501)和風(fēng)機二(502)通過連接套(503)相互連接。

3.如權(quán)利要求1所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：所述勻風(fēng)組件(400)包括：

4.如權(quán)利要求1所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：所述排風(fēng)腔(100)包括：

5.如權(quán)利要求4所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：所述導(dǎo)風(fēng)板(103)自內(nèi)腔(102)側(cè)壁向內(nèi)腔(102)底壁進(jìn)行螺旋布置，且在導(dǎo)風(fēng)板(103)位于內(nèi)腔(102)底壁的一端輕微上揚，用于形成指向出氣組件(200)方向的渦流。

6.如權(quán)利要求1所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：所述出氣組件(200)包括：

7.如權(quán)利要求6所述的一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的ffu設(shè)備，其特征在于：還包括控制面板(700)，用于根據(jù)風(fēng)速傳感器控制出風(fēng)風(fēng)速。

技術(shù)總結(jié)
一種給高集成度腔室穩(wěn)定送風(fēng)的FFU設(shè)備，包括化學(xué)過濾器；風(fēng)扇模塊，其包括兩個上下分布并依次進(jìn)行導(dǎo)氣的風(fēng)機；勻風(fēng)組件，用于將風(fēng)扇模塊產(chǎn)生的集中風(fēng)流分散向下勻風(fēng)；高效過濾器，其用于對空氣進(jìn)行二次過濾排風(fēng)腔，其用于積攢過濾后的空氣，并用于將空氣集中到中部一側(cè)；出氣組件，其連接于排風(fēng)腔集氣的一側(cè)并用于將空氣從側(cè)邊排出，還包括控制面板，用于根據(jù)風(fēng)速傳感器控制出風(fēng)風(fēng)速。本技術(shù)結(jié)構(gòu)緊湊、合理，操作方便，通過對空氣進(jìn)行兩次過濾提高新風(fēng)質(zhì)量，同時采用雙重疊加的風(fēng)機提高了風(fēng)速，再通過勻風(fēng)組件對新風(fēng)進(jìn)行勻風(fēng)處理，使得出風(fēng)更加均勻，最后通過排風(fēng)腔對勻后的新風(fēng)進(jìn)行側(cè)向聚集出風(fēng)，同時提高出風(fēng)效果，具有很強的實用性。

技術(shù)研發(fā)人員：郁凱欽,孫濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者：盛奕半導(dǎo)體科技（無錫）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231129
技術(shù)公布日：2025/1/2