本技術(shù)涉及一種石英爐裝置。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的半導(dǎo)體行業(yè)臥式爐體在生產(chǎn)過程中由于溫度較高，而且是堆疊放置，熱氣從下往上傳導(dǎo)?，F(xiàn)有技術(shù)方案是在上方安裝翅片管散熱器，存在的問題是：體積大，占地空間大；散熱效果不好。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種石英爐裝置，提高散熱效果。

2、為達(dá)到上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：

3、一種石英爐裝置，包括柜體、熱交換組件，所述的柜體包括第一收納腔、第二收納腔，所述的第一收納腔、第二收納腔相鄰設(shè)置，所述的第一收納腔用于容納石英爐；所述的熱交換組件設(shè)置在所述的第二收納腔內(nèi)，所述的熱交換組件包括箱體、盤管、進(jìn)液管、出液管，所述的箱體與所述的第一收納腔相鄰的一側(cè)均開設(shè)有通風(fēng)孔使得所述的第一收納腔與所述的箱體貫通；所述的盤管設(shè)置在所述的箱體內(nèi)，所述的進(jìn)液管一端與所述的盤管一端連通，所述的進(jìn)液管另一端與冷卻介質(zhì)供送單元連通，所述的出液管一端與所述的盤管另一端連通；所述的箱體的與設(shè)置所述的通風(fēng)孔一側(cè)相對的另一側(cè)設(shè)置有吹風(fēng)部件。

4、在一些實施方式中，所述的進(jìn)液管包括第一管、第二管，所述的第一管與所述的盤管一端連通，所述的第二管一端與所述的第一管連通，所述的第二管另一端與冷卻介質(zhì)供送單元連通；所述的第二管上設(shè)置有進(jìn)液閥。

5、在一些實施方式中，所述的出液管包括第三管、第四管，所述的第三管與所述的盤管另一端連通，所述的第四管一端與所述的第三管連通；所述的第四管上設(shè)置有出液閥。

6、在一些實施方式中，所述的裝置還包括殼體，所述的殼體位于所述的箱體內(nèi)，所述的盤管至少部分位于殼體內(nèi)。

7、在一些實施方式中，所述的箱體內(nèi)設(shè)置有收集盤，所述的收集盤具有頂部開口、其它面封閉的容納空間，所述的殼體下端部分位于所述的收集盤的容納空間。

8、在一些實施方式中，所述的裝置還包括排液管，所述的排液管一端穿過所述的收集盤與所述的收集盤的容納空間貫通，所述的排液管另一端延伸至所述的箱體外。

9、在一些實施方式中，所述的箱體設(shè)置吹風(fēng)部件的一側(cè)包括相對設(shè)置的第一側(cè)板、第二側(cè)板，所述的第一側(cè)板與所述的第二側(cè)板連接，所述的第一側(cè)板較所述的第二側(cè)板靠近所述的箱體的內(nèi)部，所述的第一側(cè)板上開設(shè)有長條形通孔；所述的第二側(cè)板上開設(shè)有多個開孔，所述的開孔與所述的通孔貫通，所述的開孔與吹風(fēng)部件一一對應(yīng)。

10、在一些實施方式中，所述的開孔處設(shè)置有防護(hù)網(wǎng)，所述的防護(hù)網(wǎng)包括多個環(huán)形圈和多個加強(qiáng)筋，多個所述的環(huán)形圈與所述的開孔同心設(shè)置，所述的加強(qiáng)筋沿所述的開孔的徑向設(shè)置。

11、在一些實施方式中，所述的第二收納腔設(shè)置所述的吹風(fēng)部件的一側(cè)設(shè)置有支撐件，所述的支撐件具有用于支撐所述的吹風(fēng)部件的弧形面。

12、在一些實施方式中，所述的箱體為方體形，所述的箱體包括頂板、底板、前板和后板，所述的頂板包括頂面、兩個第一延伸面，兩個所述的第一延伸面分別設(shè)置在所述的頂面的相對兩端，所述的第一延伸面與所述的頂面垂直；所述的底板包括底面、兩個第二延伸面，兩個所述的第二延伸面分別設(shè)置在所述的底面的相對兩端，所述的第二延伸面與所述的底面垂直，所述的頂面與所述的底面相對設(shè)置，一個所述的第一延伸面與一個第所述的二延伸面位于所述的箱體的同一側(cè)并連接形成箱體的左側(cè)面，另一個所述的第一延伸面與另一個所述的第二延伸面位于所述的箱體的另一側(cè)并連接形成所述的箱體的右側(cè)面，所述的箱體的前板、后板中一個開設(shè)有所述的通風(fēng)孔，另一個設(shè)置有所述的吹風(fēng)部件。

13、由于上述技術(shù)方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點：

14、本實用新型提供的石英爐裝置，設(shè)置相鄰的第一收納腔、第二收納腔，第一收納腔用于容納石英爐，第二收納腔用于容納熱交換組件，第一收納腔內(nèi)的石英爐產(chǎn)生的熱氣通過通風(fēng)孔進(jìn)入第二收納腔的箱體內(nèi)，通過盤管降溫，再通過吹風(fēng)部件將熱氣吹出，起到降溫作用，達(dá)到散熱效果；在同等體積下散熱效率高，占地空間小。

技術(shù)特征：

1.一種石英爐裝置，其特征在于，包括柜體、熱交換組件，所述的柜體包括第一收納腔、第二收納腔，所述的第一收納腔、第二收納腔相鄰設(shè)置，所述的第一收納腔用于容納石英爐；所述的熱交換組件設(shè)置在所述的第二收納腔內(nèi)，所述的熱交換組件包括箱體、盤管、進(jìn)液管、出液管，所述的箱體與所述的第一收納腔相鄰的一側(cè)均開設(shè)有通風(fēng)孔使得所述的第一收納腔與所述的箱體貫通；所述的盤管設(shè)置在所述的箱體內(nèi)，所述的進(jìn)液管一端與所述的盤管一端連通，所述的進(jìn)液管另一端與冷卻介質(zhì)供送單元連通，所述的出液管一端與所述的盤管另一端連通；所述的箱體的與設(shè)置所述的通風(fēng)孔一側(cè)相對的另一側(cè)設(shè)置有吹風(fēng)部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的進(jìn)液管包括第一管、第二管，所述的第一管與所述的盤管一端連通，所述的第二管一端與所述的第一管連通，所述的第二管另一端與冷卻介質(zhì)供送單元連通；所述的第二管上設(shè)置有進(jìn)液閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的出液管包括第三管、第四管，所述的第三管與所述的盤管另一端連通，所述的第四管一端與所述的第三管連通；所述的第四管上設(shè)置有出液閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的裝置還包括殼體，所述的殼體位于所述的箱體內(nèi)，所述的盤管至少部分位于殼體內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的箱體內(nèi)設(shè)置有收集盤，所述的收集盤具有頂部開口、其它面封閉的容納空間，所述的殼體下端部分位于所述的收集盤的容納空間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的裝置還包括排液管，所述的排液管一端穿過所述的收集盤與所述的收集盤的容納空間貫通，所述的排液管另一端延伸至所述的箱體外。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的箱體設(shè)置吹風(fēng)部件的一側(cè)包括相對設(shè)置的第一側(cè)板、第二側(cè)板，所述的第一側(cè)板與所述的第二側(cè)板連接，所述的第一側(cè)板較所述的第二側(cè)板靠近所述的箱體的內(nèi)部，所述的第一側(cè)板上開設(shè)有長條形通孔；所述的第二側(cè)板上開設(shè)有多個開孔，所述的開孔與所述的通孔貫通，所述的開孔與吹風(fēng)部件一一對應(yīng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的開孔處設(shè)置有防護(hù)網(wǎng)，所述的防護(hù)網(wǎng)包括多個環(huán)形圈和多個加強(qiáng)筋，多個所述的環(huán)形圈與所述的開孔同心設(shè)置，所述的加強(qiáng)筋沿所述的開孔的徑向設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的第二收納腔設(shè)置所述的吹風(fēng)部件的一側(cè)設(shè)置有支撐件，所述的支撐件具有用于支撐所述的吹風(fēng)部件的弧形面。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英爐裝置，其特征在于，所述的箱體為方體形，所述的箱體包括頂板、底板、前板和后板，所述的頂板包括頂面、兩個第一延伸面，兩個所述的第一延伸面分別設(shè)置在所述的頂面的相對兩端，所述的第一延伸面與所述的頂面垂直；所述的底板包括底面、兩個第二延伸面，兩個所述的第二延伸面分別設(shè)置在所述的底面的相對兩端，所述的第二延伸面與所述的底面垂直，所述的頂面與所述的底面相對設(shè)置，一個所述的第一延伸面與一個第所述的二延伸面位于所述的箱體的同一側(cè)并連接形成箱體的左側(cè)面，另一個所述的第一延伸面與另一個所述的第二延伸面位于所述的箱體的另一側(cè)并連接形成所述的箱體的右側(cè)面，所述的箱體的前板、后板中一個開設(shè)有所述的通風(fēng)孔，另一個設(shè)置有所述的吹風(fēng)部件。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種石英爐裝置，包括柜體、熱交換組件，柜體包括第一收納腔、第二收納腔，第一收納腔、第二收納腔相鄰設(shè)置，第一收納腔用于容納石英爐；熱交換組件設(shè)置在第二收納腔內(nèi)，熱交換組件包括箱體、盤管、進(jìn)液管、出液管，箱體與第一收納腔相鄰的一側(cè)均開設(shè)有通風(fēng)孔使得第一收納腔與箱體貫通；盤管設(shè)置在箱體內(nèi)，進(jìn)液管一端與盤管一端連通，進(jìn)液管另一端與冷卻介質(zhì)供送單元連通，出液管一端與盤管另一端連通；箱體的與設(shè)置通風(fēng)孔一側(cè)相對的另一側(cè)設(shè)置有吹風(fēng)部件。本技術(shù)提供的裝置，第一收納腔內(nèi)的石英爐產(chǎn)生的熱氣通過通風(fēng)孔進(jìn)入第二收納腔的箱體內(nèi)，通過盤管降溫，再通過吹風(fēng)部件將熱氣吹出，達(dá)到散熱效果；占地面積小。

技術(shù)研發(fā)人員：劉鏈柱,任俊江,薇兒妮卡·夏麗葉,云飛,吳京波,肖益波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：賽姆柯（蘇州）智能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231227
技術(shù)公布日：2024/12/30