本申請屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)，尤其是涉及一種光伏硅片干燥方法。

背景技術(shù)：

1、隨著光伏生產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)效率的提升，單個光伏花籃所容納的光伏硅片的數(shù)量越來越大。單個光伏花籃能夠容納兩組光伏硅片，極大得提高了單次生產(chǎn)的效率。在進行工藝清洗時，為了減小槽體的寬度，光伏花籃是以豎直狀態(tài)置入工藝清洗槽內(nèi)進行清洗，但是在干燥時，當(dāng)風(fēng)口位于頂部時，為了提高干燥效果，就需要把光伏花籃放倒，使兩組光伏硅片呈水平狀態(tài)。

2、同時現(xiàn)有技術(shù)中的光伏硅片是通過放入單獨的干燥槽內(nèi)進行，干燥效率低，無法滿足光伏硅片大批量干燥的需要。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是：為解決現(xiàn)有技術(shù)中光伏硅片干燥效率低的不足，從而提供一種干燥效率高的光伏硅片干燥設(shè)備。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種光伏硅片干燥方法，包括以下步驟：

4、s1：將光伏掛籃進行翻轉(zhuǎn)，使成高度方向上排列的兩排光伏硅片變?yōu)槌伤椒较蚺帕校?/p>

5、s2：將承載有兩排光伏硅片的光伏掛籃放置到上料工位；

6、s3：由運輸裝置將光伏掛籃從上料工位運輸?shù)礁稍锕の唬?/p>

7、s4：在干燥工位上由吹風(fēng)裝置對光伏掛籃及光伏硅片進行吹風(fēng)干燥；

8、s5：干燥后，由運輸裝置將光伏掛籃從干燥工位運輸?shù)较铝瞎の唬?/p>

9、s2-s5步驟的上料工位、干燥工位和下料工位為沿著工作臺依次設(shè)置，光伏掛籃放置在上料工位或者干燥工位或者下料工位上。

10、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，在s1步驟中，將光伏硅片翻轉(zhuǎn)后，還向光伏掛籃吹氣以進行預(yù)干燥。

11、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，在s步驟中，將光伏硅片翻轉(zhuǎn)后，通過頂起組件將光伏掛籃內(nèi)的光伏硅片頂起，使光伏硅片底部與光伏掛籃脫離接觸。

12、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，上料工位、干燥工位和下料工位沿著工作臺設(shè)置，工作臺上設(shè)置有運輸槽，在s步驟中運輸機構(gòu)、設(shè)置在工作臺下方的滑軌、用于驅(qū)動運輸機構(gòu)在滑軌上運動的驅(qū)動件，所述運輸機構(gòu)穿過所述運輸槽并在頂部設(shè)置有用于承載光伏掛籃的運輸臺，所述運輸臺位于工作臺上方，所述運輸機構(gòu)還能夠驅(qū)動運輸臺升降以將運輸臺上的光伏掛籃放置到掛籃固定座上或者將光伏掛籃從掛籃固定座上取下。

13、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，運輸裝置還包括用于封堵運輸槽的封堵機構(gòu)，所述封堵機構(gòu)包括：位于上料工位和干燥工位的底部框架內(nèi)部的帶輪組件，能夠在帶輪組件上運動的遮擋帶，所述遮擋帶根據(jù)位于帶輪組件的上方和下方分別為上遮擋部和下遮擋部，所述上遮擋部能夠與運輸機構(gòu)共同運動并始終位于運輸槽的下方。

14、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，所述運輸機構(gòu)，包括，設(shè)置在滑軌上的滑臺，設(shè)置在滑臺上的升降驅(qū)動件，設(shè)置在升降驅(qū)動件上的水平安裝板，設(shè)置在水平安裝板上的并從運輸槽中穿過的豎直安裝板，設(shè)置在豎直安裝板上并位于工作臺上方的運輸臺，所述豎直安裝板上設(shè)置有能夠自由滑動的并位于工作臺下方的滑動件，所述上遮擋部與滑動件兩端連接。

15、優(yōu)選地，本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，在s4步驟中，循環(huán)風(fēng)機產(chǎn)生干燥風(fēng)，干燥風(fēng)通過上外罩進入工作臺上方，對放置在工作臺的光伏掛籃進行干燥，再穿過工作臺上的過風(fēng)口進入下外罩并回流到循環(huán)風(fēng)機形成循環(huán)風(fēng)。

16、本發(fā)明的有益效果是：

17、本發(fā)明的光伏硅片干燥方法，在干燥前將光伏掛籃進行翻轉(zhuǎn)放倒，使兩排光伏硅片變?yōu)槌伤椒较蚺帕?，之后再由在干燥工位上由吹風(fēng)裝置對光伏掛籃及光伏硅片進行連續(xù)式吹風(fēng)干燥，無需放入干燥槽內(nèi)，具有干燥速度快，干燥效率高的優(yōu)點。

技術(shù)特征：

1.一種光伏硅片干燥方法，其特征在于，包括以下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，在s1步驟中，將光伏硅片翻轉(zhuǎn)后，還向光伏掛籃吹氣以進行預(yù)干燥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，在s步驟中，將光伏硅片翻轉(zhuǎn)后，通過頂起組件將光伏掛籃內(nèi)的光伏硅片頂起，使光伏硅片底部與光伏掛籃脫離接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，上料工位、干燥工位和下料工位沿著工作臺設(shè)置，工作臺上設(shè)置有運輸槽，在s步驟中運輸機構(gòu)、設(shè)置在工作臺下方的滑軌、用于驅(qū)動運輸機構(gòu)在滑軌上運動的驅(qū)動件，所述運輸機構(gòu)穿過所述運輸槽并在頂部設(shè)置有用于承載光伏掛籃的運輸臺，所述運輸臺位于工作臺上方，所述運輸機構(gòu)還能夠驅(qū)動運輸臺升降以將運輸臺上的光伏掛籃放置到掛籃固定座上或者將光伏掛籃從掛籃固定座上取下。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，運輸裝置還包括用于封堵運輸槽的封堵機構(gòu)，所述封堵機構(gòu)包括：位于上料工位和干燥工位的底部框架內(nèi)部的帶輪組件，能夠在帶輪組件上運動的遮擋帶，所述遮擋帶根據(jù)位于帶輪組件的上方和下方分別為上遮擋部和下遮擋部，所述上遮擋部能夠與運輸機構(gòu)共同運動并始終位于運輸槽的下方。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，所述運輸機構(gòu)，包括，設(shè)置在滑軌上的滑臺，設(shè)置在滑臺上的升降驅(qū)動件，設(shè)置在升降驅(qū)動件上的水平安裝板，設(shè)置在水平安裝板上的并從運輸槽中穿過的豎直安裝板，設(shè)置在豎直安裝板上并位于工作臺上方的運輸臺，所述豎直安裝板上設(shè)置有能夠自由滑動的并位于工作臺下方的滑動件，所述上遮擋部與滑動件兩端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏硅片干燥方法，其特征在于，在s4步驟中，循環(huán)風(fēng)機產(chǎn)生干燥風(fēng)，干燥風(fēng)通過上外罩進入工作臺上方，對放置在工作臺的光伏掛籃進行干燥，再穿過工作臺上的過風(fēng)口進入下外罩并回流到循環(huán)風(fēng)機形成循環(huán)風(fēng)。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種光伏硅片干燥方法，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。本申請的光伏硅片干燥方法，在干燥前將光伏掛籃進行翻轉(zhuǎn)放倒，使兩排光伏硅片變?yōu)槌伤椒较蚺帕?，之后再由在干燥工位上由吹風(fēng)裝置對光伏掛籃及光伏硅片進行連續(xù)式吹風(fēng)干燥，無需放入干燥槽內(nèi)，具有干燥速度快，干燥效率高的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：李剛,田曉東,丁海亮,盧寶堂
受保護的技術(shù)使用者：江蘇亞電科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23