本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工,尤其涉及一種管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱。
背景技術(shù):
1、在pin-tia加工中,管芯(也稱為晶體管芯片)是一個(gè)關(guān)鍵的組成部分,管芯是集成電路的基本組成部分,它是由半導(dǎo)體材料制成的微型電子器件,具有放大、開關(guān)、整流等功能,在pin-tia加工中,管芯的質(zhì)量和性能對(duì)整個(gè)集成電路的性能和可靠性有著至關(guān)重要的影響。
2、目前,在管芯的制造和加工過程中,各個(gè)環(huán)節(jié)都可能引入水分,例如清洗、搬運(yùn)和存儲(chǔ)等,此外,環(huán)境濕度和加工設(shè)備的濕度也可能導(dǎo)致管芯表面附著水分,而管芯的表面濕度會(huì)影響其性能和可靠性,傳統(tǒng)的管芯干燥方法如熱風(fēng)干燥和真空干燥等存在效率低下、干燥不均勻等問題,無法滿足現(xiàn)代集成電路制造的高效、高精度要求。
3、因此,有必要提供一種管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱解決上述技術(shù)問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型提供一種管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,為解決上述背景技術(shù)中提出的傳統(tǒng)管芯干燥方法效率低下、干燥不均勻的技術(shù)問題。
2、本實(shí)用新型提供的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱包括:箱體,所述箱體的頂部固定安裝有加熱風(fēng)的電熱箱;用于向所述電熱箱內(nèi)供風(fēng)的鼓風(fēng)機(jī),所述鼓風(fēng)機(jī)固定安裝在所述箱體的一側(cè),所述鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)端上個(gè)固定安裝有連通管,所述連通管的出風(fēng)端與所述電熱箱固定連通;用于向所述箱體內(nèi)供入熱風(fēng)的出風(fēng)管,所述出風(fēng)管固定連通在所述電熱箱上,所述出風(fēng)管的出風(fēng)端延伸入所述箱體內(nèi);旋轉(zhuǎn)架,所述旋轉(zhuǎn)架設(shè)置在所述箱體,所述旋轉(zhuǎn)架上設(shè)置有用于放置待干燥管芯的若可拆卸的網(wǎng)盒,若干所述網(wǎng)盒上均設(shè)置有盒蓋;用于排風(fēng)的出氣管,所述出氣管固定連通在所述箱體的一側(cè);用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述箱體上。
3、優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、減速箱和電機(jī),所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述箱體內(nèi),所述轉(zhuǎn)軸的底端延伸出所述箱體外,所述減速箱固定安裝在所述箱體的底部,所述減速箱的輸出軸與所述轉(zhuǎn)軸的底端固定連接,所述電機(jī)設(shè)置在所述箱體的下方,所述電機(jī)的輸出軸與所述減速箱的輸入軸固定連接。
4、優(yōu)選的,所述箱體的一側(cè)固定安裝有用于對(duì)進(jìn)入到鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)空氣預(yù)過濾的過濾機(jī)構(gòu),所述過濾機(jī)構(gòu)包括過濾箱、若干濾板、進(jìn)氣管和連接管,所述過濾箱固定安裝在所述箱體的一側(cè),若干所述濾板均設(shè)置在所述過濾箱內(nèi),所述進(jìn)氣管固定連通在所述過濾箱上,所述連接管連通在所述過濾箱上,所述連接管的出風(fēng)端與所述鼓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)端固定連接。
5、優(yōu)選的,所述電熱箱內(nèi)設(shè)置有若干電加熱管,所述電熱箱的一側(cè)固定有用于調(diào)控若干電加熱管的溫控器。
6、優(yōu)選的,所述箱體的一側(cè)固定安裝有合頁,所述合頁上固定安裝有箱門,所述箱門上設(shè)置有旋擰把手鎖,所述出風(fēng)管上設(shè)置有閥門。
7、優(yōu)選的,所述旋轉(zhuǎn)架的內(nèi)壁上對(duì)稱固定安裝有若干用于裝配所述網(wǎng)盒的凹槽塊,對(duì)應(yīng)的所述凹槽塊上設(shè)置有用于對(duì)所述網(wǎng)盒限位的插拔式銷桿,所述網(wǎng)盒上開設(shè)有與所述銷桿相適配的銷孔。
8、優(yōu)選的,所述盒蓋的底部固定安裝有限位塊,所述網(wǎng)盒上開設(shè)有與所述限位塊相適配的限位槽。
9、與相關(guān)技術(shù)相比較,本實(shí)用新型提供的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱具有如下有益效果:
10、本實(shí)用新型提供一種管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱:
11、1、通過設(shè)置的箱體、電熱箱、鼓風(fēng)機(jī)、出風(fēng)管、旋轉(zhuǎn)架、網(wǎng)盒、出氣管和盒蓋等,可構(gòu)成管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,解決了傳統(tǒng)管芯干燥方法中存在的效率低下、干燥不均勻的問題,提高了管芯干燥的效率和均勻性;
12、2、通過設(shè)置的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),可驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動(dòng),有利于管芯全方位受熱,通過設(shè)置的過濾機(jī)構(gòu),可對(duì)入到鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)空氣預(yù)過濾,避免雜質(zhì)灰塵污染管芯,有利于潔凈,通過設(shè)置的凹槽塊和銷桿,方便安裝網(wǎng)盒并對(duì)其限位,避免旋轉(zhuǎn)時(shí)滑落,同時(shí)也方便將網(wǎng)盒拆卸清理。
1.一種管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)軸、減速箱和電機(jī),所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述箱體內(nèi),所述轉(zhuǎn)軸的底端延伸出所述箱體外,所述減速箱固定安裝在所述箱體的底部,所述減速箱的輸出軸與所述轉(zhuǎn)軸的底端固定連接,所述電機(jī)設(shè)置在所述箱體的下方,所述電機(jī)的輸出軸與所述減速箱的輸入軸固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述箱體的一側(cè)固定安裝有用于對(duì)進(jìn)入到鼓風(fēng)機(jī)內(nèi)空氣預(yù)過濾的過濾機(jī)構(gòu),所述過濾機(jī)構(gòu)包括過濾箱、若干濾板、進(jìn)氣管和連接管,所述過濾箱固定安裝在所述箱體的一側(cè),若干所述濾板均設(shè)置在所述過濾箱內(nèi),所述進(jìn)氣管固定連通在所述過濾箱上,所述連接管連通在所述過濾箱上,所述連接管的出風(fēng)端與所述鼓風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)端固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述電熱箱內(nèi)設(shè)置有若干電加熱管,所述電熱箱的一側(cè)固定有用于調(diào)控若干電加熱管的溫控器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述箱體的一側(cè)固定安裝有合頁,所述合頁上固定安裝有箱門,所述箱門上設(shè)置有旋擰把手鎖,所述出風(fēng)管上設(shè)置有閥門。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)架的內(nèi)壁上對(duì)稱固定安裝有若干用于裝配所述網(wǎng)盒的凹槽塊,對(duì)應(yīng)的所述凹槽塊上設(shè)置有用于對(duì)所述網(wǎng)盒限位的插拔式銷桿,所述網(wǎng)盒上開設(shè)有與所述銷桿相適配的銷孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管芯加工用鼓風(fēng)干燥箱,其特征在于,所述盒蓋的底部固定安裝有限位塊,所述網(wǎng)盒上開設(shè)有與所述限位塊相適配的限位槽。