本技術(shù)涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置。

背景技術(shù)：

1、采用燒結(jié)技術(shù)的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝，基于半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備進(jìn)行，半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備具有預(yù)熱、燒結(jié)及冷卻工位。進(jìn)行預(yù)熱工序時(shí)，工裝承載半導(dǎo)體產(chǎn)品，工裝是放置在半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備的預(yù)熱腔內(nèi)進(jìn)行預(yù)熱的，此過程對(duì)溫度有嚴(yán)格要求。

2、目前，主要是通過熱電偶檢測預(yù)熱腔內(nèi)的溫度，再根據(jù)溫度控制預(yù)加熱裝置工作。由于直接檢測的是預(yù)熱腔內(nèi)的溫度，用預(yù)熱腔溫度代表工裝溫度，導(dǎo)致工裝溫度不準(zhǔn)確，自然不能夠?qū)雽?dǎo)體產(chǎn)品的預(yù)熱溫度精確控制在預(yù)設(shè)值，影響預(yù)熱效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，它可以直接、準(zhǔn)確測量出工裝的溫度，以精確控制半導(dǎo)體產(chǎn)品的預(yù)熱溫度。

2、為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，包括：

3、預(yù)加熱室，位于半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備的預(yù)熱腔的底部，頂壁設(shè)置有避讓孔；

4、預(yù)加熱機(jī)構(gòu)，安裝在所述預(yù)加熱室內(nèi)；

5、彈性熱電偶，安裝在所述預(yù)加熱室內(nèi)，其檢測頭自所述避讓孔伸入所述預(yù)熱腔內(nèi)，在承載半導(dǎo)體產(chǎn)品的工裝置于所述預(yù)熱腔內(nèi)時(shí)，所述工裝壓縮所述彈性熱電偶；

6、控制器件，分別連接所述彈性熱電偶和所述預(yù)加熱機(jī)構(gòu)。

7、進(jìn)一步為了可以排盡預(yù)加熱室內(nèi)的氧氣，所述預(yù)加熱室的側(cè)壁和/或底壁分別設(shè)置有多個(gè)透氣孔。

8、進(jìn)一步提供了一種預(yù)加熱機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)，所述預(yù)加熱機(jī)構(gòu)為若干石英加熱管，所述預(yù)加熱室的頂壁的材質(zhì)為石英玻璃。

9、進(jìn)一步為了保證工裝不同穴位的半導(dǎo)體產(chǎn)品受熱均勻，所述石英加熱管的個(gè)數(shù)與所述工裝的穴位的排數(shù)一致，每個(gè)石英加熱管正對(duì)所述工裝的一排穴位在縱向上的中心位置。

10、進(jìn)一步為了盡可能減小工裝的熱量流失，所述預(yù)加熱室外設(shè)置有用于支撐所述工裝的角部的支撐部，所述工裝置于所述支撐部后，與所述預(yù)加熱室的頂壁之間留有間隙。

11、進(jìn)一步為了保證工裝的位置精度，所述預(yù)加熱室外還設(shè)置有用于與所述工裝的定位孔配合實(shí)現(xiàn)定位的定位銷。

12、進(jìn)一步為了避免通過定位銷形成熱傳遞，所述定位銷與所述定位孔的周壁之間留有間隙。

13、進(jìn)一步，半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置還包括工裝檢測器件，用于檢測所述預(yù)熱腔內(nèi)是否有工裝，所述工裝檢測器件連接所述控制器件。

14、進(jìn)一步，至少部分支撐部內(nèi)安裝有彈性伸縮桿，在所述支撐部未放置工裝的情況下，所述彈性伸縮桿朝上超出所述支撐部，在所述支撐部放置工裝的情況下，所述彈性伸縮桿在所述工裝的作用下朝下移動(dòng)至能夠被所述工裝檢測器件檢測到的位置。

15、進(jìn)一步提供了一種彈性熱電偶的具體結(jié)構(gòu)，所述彈性熱電偶包括：

16、安裝體，安裝于所述預(yù)加熱室內(nèi)的底壁，具有空腔；

17、熱電偶本體，插裝在所述安裝體內(nèi)，其檢測頭從所述安裝體頂端伸出，其位于所述空腔內(nèi)的部分設(shè)置有抵接部；

18、彈性件，下端部與所述預(yù)加熱室內(nèi)的底壁或所述安裝體相抵，上端部與所述抵接部相抵。

19、采用上述技術(shù)方案后，彈性熱電偶的檢測頭從避讓孔伸入預(yù)熱腔，在預(yù)熱腔放置工裝的情況下，工裝壓縮彈性熱電偶，因此彈性熱電偶可以抵緊工裝，從而直接、準(zhǔn)確地測量出工裝的溫度，半導(dǎo)體產(chǎn)品直接接觸工裝，工裝的溫度也就是半導(dǎo)體產(chǎn)品的溫度，控制器件再根據(jù)彈性熱電偶反饋的溫度控制預(yù)加熱機(jī)構(gòu)工作。因?yàn)閺椥詿犭娕寄軌驕?zhǔn)確測量工裝的溫度，依據(jù)彈性熱電偶所測量的溫度，對(duì)預(yù)加熱機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，所以本實(shí)用新型能夠達(dá)到準(zhǔn)確控制工裝以及工裝內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的預(yù)熱溫度的目的。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置。半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置包括預(yù)加熱室、預(yù)加熱機(jī)構(gòu)、彈性熱電偶及控制器件，預(yù)加熱室位于半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備的預(yù)熱腔的底部，頂壁設(shè)置有避讓孔；預(yù)加熱機(jī)構(gòu)安裝在所述預(yù)加熱室內(nèi)；彈性熱電偶安裝在所述預(yù)加熱室內(nèi)，其檢測頭自所述避讓孔伸入所述預(yù)熱腔內(nèi)，在承載半導(dǎo)體產(chǎn)品的工裝置于所述預(yù)加熱室外的上方時(shí)，所述工裝壓縮所述彈性熱電偶；控制器件分別連接所述彈性熱電偶和所述預(yù)加熱機(jī)構(gòu)。本技術(shù)可以直接、準(zhǔn)確地測量出工裝的溫度，以精確控制半導(dǎo)體產(chǎn)品的預(yù)熱溫度。

技術(shù)研發(fā)人員：戚國強(qiáng),童顯宗
受保護(hù)的技術(shù)使用者：快克智能裝備股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2024/12/30