本技術涉及擴散爐，尤其涉及一種低壓擴散爐管。

背景技術：

1、擴散爐是半導體生產(chǎn)線上不可或缺的關鍵設備，它利用高溫環(huán)境在硅片表面實現(xiàn)特定物質的擴散，從而形成所需的pn結，為集成電路、分立器件等電子產(chǎn)品的制造提供重要工藝支持。通過精確控制溫度、氣氛和擴散時間，擴散爐能夠確保半導體材料的高質量和高性能，是半導體行業(yè)發(fā)展的重要推動力量。

2、擴散爐在使用過程中確實會產(chǎn)生大量的廢氣，這些廢氣主要來源于燃燒過程、化學反應過程以及材料加熱過程中產(chǎn)生的揮發(fā)物，在擴散爐的工作過程中，特別是在高溫條件下，一些物質如燃料、反應氣體和原材料可能會揮發(fā)或分解，產(chǎn)生廢氣，這些廢氣中可能包含有害的化學物質，如偏磷酸、二氧化硫、氮氧化物、煙塵、揮發(fā)性有機化合物以及其它有毒有害的氣體，這些廢氣一般都通過尾氣管排出。

3、目前perc太陽能電池片生產(chǎn)設備的低壓擴散爐在生產(chǎn)單晶perc太陽能電池片中擴散爐中的石英爐管尾氣管部分較容易被生產(chǎn)過程中排出的尾氣腐蝕，由于生產(chǎn)過程中爐管尾氣管排出的尾氣富含偏磷酸，具有腐蝕性導致爐管尾氣管部分腐蝕穿孔甚至斷裂，導致漏率大，無法滿足工藝生產(chǎn)條件。

4、目前業(yè)內對低壓擴散爐的爐管使用壽命延長的主要方案就是對擴散爐排氣管內部套入一根石英尾氣管，并且對排氣管部分進行定期保養(yǎng)清理排氣管部分沉積的偏磷酸和頻繁更換尾氣管得以達到延長擴散爐管使用壽命的效果。

5、通過在尾氣管內部安裝石英管的方法，由于石英材質的抗腐蝕性能較強，所以可以利用石英管用來降低尾氣對尾氣管的腐蝕，但是對于石英管的安裝和固定一般是采用螺紋連接的方式進行安裝，這就需要在石英管的外壁開設螺紋槽，石英管側壁開設螺紋槽會對石英管造成多方面的影響，石英管在高溫環(huán)境下使用時，由于螺紋槽的存在，會在該區(qū)域產(chǎn)生熱應力集中，這種熱應力集中可能會導致石英管在溫度變化時更容易出現(xiàn)熱裂紋或熱應力斷裂，其次如果石英管是用于腐蝕性環(huán)境的，側壁開設的螺紋槽可能會成為腐蝕介質侵入的通道，導致石英管的耐腐蝕性降低。這可能會縮短石英管的使用壽命，所以通過螺紋連接的方式，使得其使用壽命和安全性均不高，并且石英管在長時間的使用過程中，會有一些廢氣沉淀物附著在石英管的內部，需要定期清理，清理之前需要將石英管拆卸下來，然后對內部的沉淀物進行清理，由于石英管是螺紋連接的，拆卸和安裝的過程，需要使用專用工具，才能夠保障石英管順利拆卸，過程較為繁瑣，因此需要一種低壓擴散爐管解決上述的技術問題。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種低壓擴散爐管，以解決現(xiàn)有技術中的上述不足之處。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：一種低壓擴散爐管，包括低壓擴散爐本體和尾氣管，所述尾氣管與低壓擴散爐本體相連通，所述尾氣管的內部滑動安裝有石英管，所述石英管的外側壁與尾氣管的內壁相貼合，所述石英管的一端固定安裝有連接環(huán)，所述連接環(huán)的內部開設有兩個通槽，兩個所述通槽的內部均滑動安裝有卡塊，所述卡塊的一側設置為楔形面，所述連接環(huán)的兩側滑動安裝有滑桿，兩個所述滑桿貫穿連接環(huán)的側壁并與連接環(huán)滑動連接，兩個所述滑桿的一端均與卡塊固定連接，所述尾氣管的側壁開設有兩個卡槽，兩個所述卡槽與卡快相互適配，所述滑桿的側壁設置有彈簧，所述彈簧的一端與連接環(huán)的側壁固定連接，所述彈簧的另外一端與滑桿的側壁固定連接，所述石英管的內部設置有刮灰組件。

3、作為上述技術方案的進一步描述：所述刮灰組件包括刮環(huán)，所述刮環(huán)與石英管滑動連接，所述刮環(huán)的外側壁與石英管的內壁相貼合，所述刮環(huán)的側壁轉動安裝有兩個螺桿，所述石英管的內壁固定安裝有兩個固定板，兩個所述固定板與兩個螺桿螺紋連接。

4、作為上述技術方案的進一步描述：所述刮環(huán)的側壁固定安裝有阻擋環(huán)。

5、作為上述技術方案的進一步描述：所述阻擋環(huán)靠近刮環(huán)的一側設置為窄口，所述阻擋環(huán)的另外一側設置為寬口。

6、作為上述技術方案的進一步描述：所述尾氣管的側壁設置有一層加厚層。

7、作為上述技術方案的進一步描述：所述尾氣管和石英管之間設置有一層密封圈。

8、作為上述技術方案的進一步描述：所述卡槽內部設置有磁吸層，所述卡槽通過磁吸層與卡塊磁性相連。

9、本實用新型提供了一種低壓擴散爐管。具備以下有益效果：實現(xiàn)石英管的無損固定，在不破壞石英管的情況下，能夠實現(xiàn)推入即卡合的效果，增加了石英管的防腐效果的同時，也方便后續(xù)的清理工作，通過石英管內部的刮灰組件便可以將石英管內壁殘留的有害物沉淀進行清理。

10、應當理解，前面的一般描述和以下詳細描述都僅是示例性和說明性的，而不是用于限制本公開。

11、本申請文件提供本公開中描述的技術的各種實現(xiàn)或示例的概述，并不是所公開技術的全部范圍或所有特征的全面公開。

技術特征：

1.一種低壓擴散爐管，包括低壓擴散爐本體(1)和尾氣管(3)，所述尾氣管(3)與低壓擴散爐本體(1)相連通，所述尾氣管(3)的內部滑動安裝有石英管(5)，所述石英管(5)的外側壁與尾氣管(3)的內壁相貼合，其特征在于，所述石英管(5)的一端固定安裝有連接環(huán)(4)，所述連接環(huán)(4)的內部開設有兩個通槽(6)，兩個所述通槽(6)的內部均滑動安裝有卡塊(9)，所述卡塊(9)的一側設置為楔形面(16)，所述連接環(huán)(4)的兩側滑動安裝有滑桿(7)，兩個所述滑桿(7)貫穿連接環(huán)(4)的側壁并與連接環(huán)(4)滑動連接，兩個所述滑桿(7)的一端均與卡塊(9)固定連接，所述尾氣管(3)的側壁開設有兩個卡槽(10)，兩個所述卡槽(10)與卡快相互適配，所述滑桿(7)的側壁設置有彈簧(8)，所述彈簧(8)的一端與連接環(huán)(4)的側壁固定連接，所述彈簧(8)的另外一端與滑桿(7)的側壁固定連接，所述石英管(5)的內部設置有刮灰組件。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述刮灰組件包括刮環(huán)(17)，所述刮環(huán)(17)與石英管(5)滑動連接，所述刮環(huán)(17)的外側壁與石英管(5)的內壁相貼合，所述刮環(huán)(17)的側壁轉動安裝有兩個螺桿(12)，所述石英管(5)的內壁固定安裝有兩個固定板(13)，兩個所述固定板(13)與兩個螺桿(12)螺紋連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述刮環(huán)(17)的側壁固定安裝有阻擋環(huán)(14)。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述阻擋環(huán)(14)靠近刮環(huán)(17)的一側設置為窄口，所述阻擋環(huán)(14)的另外一側設置為寬口。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述尾氣管(3)的側壁設置有一層加厚層(2)。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述尾氣管(3)和石英管(5)之間設置有一層密封圈(11)。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種低壓擴散爐管，其特征在于，所述卡槽(10)內部設置有磁吸層(15)，所述卡槽(10)通過磁吸層(15)與卡塊(9)磁性相連。

技術總結
本技術公開了一種低壓擴散爐管，包括低壓擴散爐本體和尾氣管，所述尾氣管與低壓擴散爐本體相連通，所述尾氣管的內部滑動安裝有石英管，所述石英管的外側壁與尾氣管的內壁相貼合，所述石英管的一端固定安裝有連接環(huán)，所述連接環(huán)的內部開設有兩個通槽，兩個所述通槽的內部均滑動安裝有卡塊，所述卡塊的一側設置為楔形面，所述連接環(huán)的兩側滑動安裝有滑桿，兩個所述滑桿貫穿連接環(huán)的側壁并與連接環(huán)滑動連接。本技術能夠實現(xiàn)石英管的無損固定，在不破壞石英管的情況下，能夠實現(xiàn)推入即卡合的效果，增加了石英管的防腐效果的同時，也方便后續(xù)的清理工作，通過石英管內部的刮灰組件便可以將石英管內壁殘留的有害物沉淀進行清理。

技術研發(fā)人員：陳開杰,嚴品君,柯詩鵬,朱云輝
受保護的技術使用者：上饒捷泰新能源科技有限公司
技術研發(fā)日：20240517
技術公布日：2025/1/6