本技術屬于電子元器件生產設備領域，尤其是涉及一種用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)。

背景技術：

1、賤金屬內電極mlcc產品在燒結過程需要使用到氣氛鐘罩爐。氣氛鐘罩爐在運行的初始階段，需要對爐內氣體進行置換以達到爐內氣氛的穩(wěn)定可控，其中常用的一種方法是對爐內進行抽真空-破真空以完成氣氛置換。當前設計是在爐床底部對爐磚進行開口作為抽真空-破真空的氣體通道。然而隨著設備的使用，疏松結構的爐磚容易產生纖維粉末掉落至該氣體通道附近，同時燒結爐碳鋼外殼的內壁生銹產生的鐵銹也會掉落堆積在氣體通道。以上兩種雜質在破真空時會被揚起吹落至產品表面，在高溫燒結過程中與產品反應造成致命的不良。

2、若簡單的將氣體破真空管路放在正常運行時的進氣口處，由于進氣口直吹產品，在破真空的初期，真空度較高時氣體流速大，易將產品吹飛。若簡單的調小氣體流量，則破真空時間將增加。

技術實現思路

1、本實用新型目的是：提供一種用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，可防止破真空時將爐內底部雜質揚起污染產品，同時通過壓力傳感器識別爐內真空度，并結合氮氣管路、氫氣管路和空氣管路上的mfc氣體流量控制器，實現各階段真空度下氣體流量的精確控制，從而達到即不吹飛待燒結產品，又減少氣體置換時間的目的。

2、本實用新型的技術方案是：一種用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，包括爐體，設置于所述爐體內部的爐膛，以及穿過所述爐體頂部側壁、并與所述爐膛內部相連通的爐內氣氛控制系統(tǒng)；所述爐內氣氛控制系統(tǒng)包括穿過所述爐體頂部側壁的氣體混合管路，置于所述爐體外部、并與所述氣體混合管路相連通的氮氣管路、氫氣管路和空氣管路，與所述氣體混合管路相并聯(lián)的增濕管路，以及若干個與所述氣體混合管路相連通、并從所述爐膛頂部縱向插入其內部腔體的進氣管路；在所述進氣管路的內側管壁上設置有若干個自上而下均勻排布的進氣孔，在所述爐體的內側壁上設置有一個壓力傳感器，同時在所述氮氣管路、所述氫氣管路和所述空氣管路上各設置有一個mfc氣體流量控制器。

3、作為優(yōu)選的技術方案，在所述氣體混合管路上設置有相互串聯(lián)的第一控制閥和第二控制閥，在所述增濕管路上設置有相互串聯(lián)的第三控制閥和增濕水箱，同時所述第三控制閥和所述增濕水箱與所述第一控制閥相并聯(lián)。

4、作為優(yōu)選的技術方案，所述氣體置換系統(tǒng)還包括設置于所述爐膛底部一側壁上的抽真空通道，設置于所述爐體底部一側壁上、且與所述抽真空通道對應設置的抽真空管路，以及與所述抽真空管路相連接的真空泵。

5、作為優(yōu)選的技術方案，所述氣體置換系統(tǒng)還包括與所述壓力傳感器、所述mfc氣體流量控制器、所述真空泵電連接、且?guī)в杏|控屏的主控制器。

6、作為優(yōu)選的技術方案，所述爐體采用內部呈中空結構設置的碳鋼爐殼。

7、作為優(yōu)選的技術方案，在所述爐膛的內壁設置有高溫耐火材料層，該高溫耐火材料層由若干個高溫耐火爐磚拼接而成，且相鄰高溫耐火爐磚之間相互擠壓形成一個密封整體。

8、作為優(yōu)選的技術方案，所述氮氣管路、所述氫氣管路和所述空氣管路分別與氮氣源、氫氣源、空氣源相連通。

9、本實用新型的優(yōu)點是：

10、1.本實用新型用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，可防止破真空時將爐內底部雜質揚起污染產品，同時通過壓力傳感器識別爐內真空度，并結合氮氣管路、氫氣管路和空氣管路上的mfc氣體流量控制器，實現各階段真空度下氣體流量的精確控制，從而達到即不吹飛待燒結產品，又減少氣體置換時間的目的。

技術特征：

1.一種用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，包括爐體，設置于所述爐體內部的爐膛，以及穿過所述爐體頂部側壁、并與所述爐膛內部相連通的爐內氣氛控制系統(tǒng)；其特征在于，所述爐內氣氛控制系統(tǒng)包括穿過所述爐體頂部側壁的氣體混合管路，置于所述爐體外部、并與所述氣體混合管路相連通的氮氣管路、氫氣管路和空氣管路，與所述氣體混合管路相并聯(lián)的增濕管路，以及若干個與所述氣體混合管路相連通、并從所述爐膛頂部縱向插入其內部腔體的進氣管路；在所述進氣管路的內側管壁上設置有若干個自上而下均勻排布的進氣孔，在所述爐體的內側壁上設置有一個壓力傳感器，同時在所述氮氣管路、所述氫氣管路和所述空氣管路上各設置有一個mfc氣體流量控制器。

2.根據權利要求1所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，在所述氣體混合管路上設置有相互串聯(lián)的第一控制閥和第二控制閥，在所述增濕管路上設置有相互串聯(lián)的第三控制閥和增濕水箱，同時所述第三控制閥和所述增濕水箱與所述第一控制閥相并聯(lián)。

3.根據權利要求1所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體置換系統(tǒng)還包括設置于所述爐膛底部一側壁上的抽真空通道，設置于所述爐體底部一側壁上、且與所述抽真空通道對應設置的抽真空管路，以及與所述抽真空管路相連接的真空泵。

4.根據權利要求3所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，所述氣體置換系統(tǒng)還包括與所述壓力傳感器、所述mfc氣體流量控制器、所述真空泵電連接、且?guī)в杏|控屏的主控制器。

5.根據權利要求1所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，所述爐體采用內部呈中空結構設置的碳鋼爐殼。

6.根據權利要求1所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，在所述爐膛的內壁設置有高溫耐火材料層，該高溫耐火材料層由若干個高溫耐火爐磚拼接而成，且相鄰高溫耐火爐磚之間相互擠壓形成一個密封整體。

7.根據權利要求1所述的用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，其特征在于，所述氮氣管路、所述氫氣管路和所述空氣管路分別與氮氣源、氫氣源、空氣源相連通。

技術總結
本技術公開了一種用于氣氛鐘罩爐的氣體置換系統(tǒng)，包括爐體、爐膛、以及爐內氣氛控制系統(tǒng)；該爐內氣氛控制系統(tǒng)包括穿過爐體頂部側壁的氣體混合管路，置于爐體外部、并與氣體混合管路相連通的氮氣管路、氫氣管路和空氣管路，與氣體混合管路相并聯(lián)的增濕管路，以及若干個與氣體混合管路相連通、并從爐膛頂部縱向插入其內部腔體的進氣管路；在進氣管路的內側管壁上設置有若干個自上而下均勻排布的進氣孔，在爐體的內側壁上設置有一個壓力傳感器，在氮氣管路、氫氣管路和空氣管路上各設置有一個MFC氣體流量控制器；可防止破真空時將爐內底部雜質揚起污染產品，同時實現各階段真空度下氣體流量的精確控制，即不吹飛待燒結產品，又減少氣體置換時間。

技術研發(fā)人員：翟世銘
受保護的技術使用者：元六鴻遠（蘇州）電子科技有限公司
技術研發(fā)日：20240528
技術公布日：2025/1/9