自動輸送產(chǎn)品通過爐子中的加熱區(qū)以進(jìn)行熱處理的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于自動輸送產(chǎn)品(例如玻璃、太陽能電池、半導(dǎo)體晶圓或類似物)通過爐子中的加熱區(qū)以進(jìn)行熱處理的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在實踐中已知提供用于進(jìn)行熱處理的輸送機系統(tǒng)，其承載產(chǎn)品的承載元件的至少一部分穿過爐子。在此，待處理的產(chǎn)品主要承載在輸送帶上或配流板上以通過爐子。根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，這種熱處理包括以下步驟:
[0003]-將產(chǎn)品放置在輸送帶/配流板上；
[0004]-連續(xù)或分階段的運輸?shù)娇緺t內(nèi)；
[0005]-將產(chǎn)品和輸送帶/配流板一起加熱；
[0006]-一旦達(dá)到工藝溫度:保持該溫度、熱處理、機械處理和/或化學(xué)處理等；以及
[0007]-將產(chǎn)品和輸送帶/配流板一起冷卻。
[0008]已知的使用輸送機系統(tǒng)的熱處理的缺點在于，因為大多數(shù)所應(yīng)用的能量常常用來加熱輸送帶或配流板，因此需要大量的能量。通常，產(chǎn)品的熱質(zhì)量比輸送帶或配流板的熱質(zhì)量小得多。另外，輸送帶或配流板的主要磨損產(chǎn)生了，這是因為這些輸送帶或配流板受到了熱應(yīng)力或機械應(yīng)力。輸送帶必須吸收由輸送帶和支撐表面之間的摩擦而產(chǎn)生的所有的拉力，特別是在爐子的熱區(qū)中。在熱區(qū)中，輸送帶材料變軟，輸送帶的帶條變形且輸送帶被拉長、老化和變形。配流板通過板之間的機械接觸而可能會受到損壞，并且棱角可能易于損壞或突然折斷。另一缺點在于，輸送帶的低的熱穩(wěn)定性，加上通過輸送帶或配流板在支撐表面上的磨壓而產(chǎn)生顆粒。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]在此基礎(chǔ)上，本發(fā)明要解決的問題是進(jìn)一步改進(jìn)這種用于自動輸送產(chǎn)品以在爐子中進(jìn)行熱處理的裝置，以避免所描述的缺點。為了達(dá)到這個目的，需要公開一種用于熱處理產(chǎn)品的輸送機系統(tǒng)，該輸送機系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)上簡單的設(shè)計、需要很少的能量來輸送所述產(chǎn)品、出現(xiàn)了少量的磨損、且因此實現(xiàn)了較長的使用壽命。
[0010]該問題根據(jù)本發(fā)明得以解決，在本發(fā)明中，設(shè)置了具有牽引機構(gòu)的輸送機系統(tǒng)，該輸送機系統(tǒng)具有兩個平行的導(dǎo)軌，并且在本發(fā)明中，為了輸送待處理的產(chǎn)品，至少兩個承載元件橫向于輸送機方向被張緊在所述兩個導(dǎo)軌之間。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的另一教導(dǎo)，導(dǎo)軌布置在爐子的冷區(qū)中。因此當(dāng)輸送待處理的產(chǎn)品時，導(dǎo)軌僅受到機械應(yīng)力。因此，沒有熱應(yīng)力和熱磨損發(fā)生。
[0012]本發(fā)明的另一配置提供了每一個導(dǎo)軌具有基本上橢圓形的設(shè)計。除了橢圓形，如果在拐角處可得到足夠的半徑，則每一個導(dǎo)軌還可以具有矩形的或梯形的形式。導(dǎo)軌的用來承載待處理的產(chǎn)品的頂部表面有利地適合于爐子的形狀，但相反地，導(dǎo)軌的底部表面可以為任何形狀。通過使得平的頂部表面和底部表面的端部盡可能地圓，在導(dǎo)軌之間張緊的承載元件可以幾乎沒有摩擦地轉(zhuǎn)向。因此導(dǎo)軌的相應(yīng)形狀使得承載元件不斷循環(huán)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的另一教導(dǎo)，導(dǎo)軌具有鏡像對稱的設(shè)計。這確保了兩個導(dǎo)軌之間的距離保持恒定。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的另一實施方式，在導(dǎo)軌中布置有可移動地安裝的多個承載件。通過多個承載件，多個產(chǎn)品還可以在爐子中同時處理?？梢苿拥陌惭b使得承載件通過導(dǎo)向滾輪例如在導(dǎo)軌的圓形端部處轉(zhuǎn)向。這使得承載件反復(fù)環(huán)繞導(dǎo)軌。
[0015]本發(fā)明的另一教導(dǎo)提供了承載元件可以在不同位置上附接至每一個承載件。為了達(dá)到這個目的，在承載件上設(shè)置了彼此相鄰布置的多個凹槽，例如插槽或孔，所述凹槽用來容置承載元件。這使得承載元件之間的距離是可變的。承載元件可以懸掛成適合待處理的產(chǎn)品的長度。這樣，產(chǎn)品由至少兩個承載元件自由地支撐，這意味著由輸送帶在支撐表面上磨壓而產(chǎn)生的不期望的顆粒得以可靠地避免。
[0016]本發(fā)明的另一配置提供了每一個導(dǎo)軌的承載件借由牽引機構(gòu)彼此連接。連續(xù)的牽引機構(gòu)使一連串的承載件沿著導(dǎo)軌移動。此處，導(dǎo)軌內(nèi)承載件之間的距離可以自由選擇成適合待處理的產(chǎn)品。為此，承載件可以利用任何緊固件附接至連續(xù)的牽引機構(gòu)。
[0017]根據(jù)本發(fā)明的另一配置，牽引機構(gòu)優(yōu)選地設(shè)計為輸送鏈。這使得橢圓形導(dǎo)軌通過輸送鏈得以最佳循環(huán)。由于導(dǎo)軌布置在爐子的冷區(qū)中，因而對于輸送鏈不需要特殊的高溫材料。這還降低了材料成本。牽引機構(gòu)還可以可選地具有鋼絲繩、鋼帶(belt)或鋼條(strip)的設(shè)計。
[0018]根據(jù)本發(fā)明的另一教導(dǎo)，承載元件設(shè)計為張力鋼絲。這樣，待處理的產(chǎn)品的支撐表面以及在產(chǎn)品上的輻射遮蔽效應(yīng)都最小化。張力鋼絲的小質(zhì)量還導(dǎo)致了相較于輸送帶而節(jié)約材料。張力鋼絲由于它們低的熱質(zhì)量而保持非常低的加熱損耗和冷卻損耗。通過產(chǎn)品在導(dǎo)軌之間的張力鋼絲上的精確定位，用作輸送元件的皮帶材料的使用變成多余的，因此還避免了皮帶在爐子的熱區(qū)中變軟和變形。
[0019]本發(fā)明的另一配置提供了張力鋼絲優(yōu)選地由不銹鋼鋁鎳合金制成，從而在高達(dá)1250°C的溫度下提供了最佳的機械穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。這使得張力鋼絲穿過爐子的熱區(qū)時不會出現(xiàn)問題、也不會在材料中出現(xiàn)機械應(yīng)力和/或熱應(yīng)力。
[0020]最后，本發(fā)明的另一教導(dǎo)提供了張力鋼絲通過彈簧加載而被張緊，其中每一根張力鋼絲優(yōu)選地由連接元件、通過至少一個螺旋彈簧連接，以產(chǎn)生彈力。這使得待處理的產(chǎn)品由沒有下垂的張力鋼絲承載。為此，每一個螺旋彈簧的彈簧系數(shù)匹配于所施加的重量。
【附圖說明】
[0021]以下通過僅示出一個優(yōu)選實施方式的附圖更詳細(xì)地解釋本發(fā)明。在附圖中:
[0022]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的具有導(dǎo)軌和承載元件的輸送機系統(tǒng)的透視圖；
[0023]圖2示出了圖1中具有導(dǎo)向滾輪的導(dǎo)軌的由“II”標(biāo)出的區(qū)域的放大圖；
[0024]圖3A示出了具有兩個承載元件的兩個承載件的俯視圖；
[0025]圖3B示出了兩個承載件和承載元件在輸送機方向上的側(cè)視圖；以及
[0026]圖3C示出了承載件在圖3B的箭頭IIIc的方向上的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0027]圖1示出了具有兩個平行的導(dǎo)軌I的輸送機系統(tǒng)。在示出的實施方式中且在這方面優(yōu)選地，導(dǎo)軌I為