硅晶片烘干設備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種硅晶片烘干設備。
【背景技術(shù)】
[0002]硅晶片在生產(chǎn)過程中，有清洗的工序，在清洗之后再通過烘干設備將硅晶片烘干，現(xiàn)有市面上的硅晶片烘干設備的出料口是敞開的，這樣，烘干設備內(nèi)的熱量容易散失，從而影響烘干效率及效果。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]對此，本實用新型旨在提供一種能有效提高烘干效率及效果的硅晶片烘干設備。
[0004]實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是:
[0005]—種硅晶片烘干設備，其烘干腔內(nèi)設有傳送鏈條，所述烘干腔的出料口處安裝有門板和用于控制所述門板開啟和關(guān)閉的驅(qū)動裝置。
[0006]上述技術(shù)方案中，所述驅(qū)動裝置包括氣缸，所述氣缸的氣缸桿端部與所述門板連接；
[0007]所述出料口側(cè)邊框處設有與所述門板側(cè)邊緣配合的導槽，在所述門板的下方設有控制所述氣缸工作的感應開關(guān)。
[0008]上述技術(shù)方案中，所述氣缸通過氣缸固定座固定在所述烘干腔外殼頂部；
[0009]所述氣缸固定座包括與氣缸本體固定連接的固定部和與所述烘干腔外殼固定連接的安裝部，所述固定部上設有通過螺栓與所述氣缸本體固定連接的固定孔、適于與所述氣缸本體固定端部相配合的定位槽以及適于所述氣缸桿穿過的穿孔，所述安裝部上設有通過螺栓與機體固定連接的安裝孔。
[0010]上述技術(shù)方案中，所述固定部與所述安裝部連接構(gòu)成的所述氣缸固定座為L形。
[0011]本實用新型具有積極的效果:(1)本實用新型中的硅晶片烘干設備的結(jié)構(gòu)合理，在烘干過程中，通過關(guān)閉門板能有效防止烘干腔內(nèi)熱量從出料口散失，從而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。(2)本實用新型中的驅(qū)動裝置在工作時，感應開關(guān)感應到硅晶片臨近時控制氣缸動作打開門板，硅晶片撤去后感應開關(guān)控制氣缸動作關(guān)閉門板，從而實現(xiàn)門板自動化控制，無須人工操作。(3)本實用新型中，氣缸固定座的結(jié)構(gòu)合理，能夠可靠的將氣缸固定到位，具有很好的使用效果。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的硅晶片烘干設備的正向視圖；
[0013]圖2為本實用新型中氣缸固定座的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中所示附圖標記為:1_烘干腔；2-傳送鏈條；3-出料口；4-門板；5-氣缸；51-氣缸桿；52-氣缸本體；6-感應開關(guān)；7-氣缸固定座；71-固定部；72-安裝部；73-固定孔；74-定位槽；75-穿孔；76-安裝孔。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合說明書附圖對本實用新型中硅晶片烘干設備的具體結(jié)構(gòu)做以說明:
[0016]—種硅晶片烘干設備，如圖1所示，其烘干腔1內(nèi)設有傳送鏈條2，所述烘干腔1的出料口 3處安裝有門板4和用于控制所述門板4開啟和關(guān)閉的驅(qū)動裝置。本實施例中的硅晶片烘干設備的結(jié)構(gòu)合理，在烘干過程中，通過關(guān)閉門板4能有效防止烘干腔1內(nèi)熱量從出料口 3散失，從而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。
[0017]本實施例中，所述驅(qū)動裝置包括氣缸5，所述氣缸5的氣缸桿51端部與所述門板4連接;所述出料口 3側(cè)邊框處設有與所述門板4側(cè)邊緣配合的導槽，在所述門板4的下方設有控制所述氣缸5工作的感應開關(guān)6。通過上述驅(qū)動裝置在工作時，感應開關(guān)6在感應到硅晶片臨近時控制氣缸5動作打開門板4，硅晶片撤去后感應開關(guān)6控制氣缸5動作關(guān)閉門板4，從而實現(xiàn)門板自動化控制，無須人工操作;上述驅(qū)動裝置為氣動裝置，在實踐操作中，也可采用其它常見的驅(qū)動裝置，如手動裝置，或電動裝置。
[0018]進一步，所述氣缸5通過氣缸固定座7固定在所述烘干腔1外殼頂部;如圖2所示，所述氣缸固定座7包括與氣缸本體52固定連接的固定部71和與所述烘干腔1外殼固定連接的安裝部72，所述固定部71上設有通過螺栓與所述氣缸本體52固定連接的固定孔73、適于與所述氣缸本體52固定端部相配合的定位槽74以及適于所述氣缸桿51穿過的穿孔75，所述安裝部72上設有通過螺栓與機體固定連接的安裝孔76，本實施例中的所述固定部71與所述安裝部72連接構(gòu)成的所述氣缸固定座7為L形。該氣缸固定座7的結(jié)構(gòu)簡化合理，能夠可靠的將氣缸5固定到位，具有很好的使用效果。
[0019]顯然，本實用新型的上述實施例僅僅是為清楚地說明本實用新型所作的舉例，而并非是對本實用新型的實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而這些屬于本實用新型的實質(zhì)精神所引伸出的顯而易見的變化或變動仍屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種硅晶片烘干設備，其烘干腔(1)內(nèi)設有傳送鏈條(2)，其特征在于，所述烘干腔(1)的出料口(3)處安裝有門板(4)和用于控制所述門板(4)開啟和關(guān)閉的驅(qū)動裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅晶片烘干設備，其特征在于，所述驅(qū)動裝置包括氣缸(5)，所述氣缸(5)的氣缸桿(51)端部與所述門板(4)連接； 所述出料口(3)側(cè)邊框處設有與所述門板(4)側(cè)邊緣配合的導槽，在所述門板(4)的下方設有控制所述氣缸(5)工作的感應開關(guān)(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅晶片烘干設備，其特征在于，所述氣缸(5)通過氣缸固定座(7)固定在所述烘干腔(1)外殼頂部； 所述氣缸固定座(7)包括與氣缸本體(52)固定連接的固定部(71)和與機體固定連接的安裝部(72)，所述固定部(71)上設有通過螺栓與所述氣缸本體(52)固定連接的固定孔(73)、適于與所述氣缸本體(52)固定端部相配合的定位槽(74)以及適于所述氣缸桿(51)穿過的穿孔(75)，所述安裝部(72)上設有通過螺栓與烘干腔(1)外殼固定連接的安裝孔(76)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅晶片烘干設備，其特征在于，所述固定部(71)與所述安裝部(72)連接構(gòu)成的所述氣缸固定座(7)為L形。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅晶片烘干設備，其烘干腔內(nèi)設有傳送鏈條，所述烘干腔的出料口處安裝有門板和用于控制所述門板開啟和關(guān)閉的驅(qū)動裝置；所述驅(qū)動裝置包括氣缸，所述氣缸的氣缸桿端部與所述門板連接；本實用新型中的硅晶片烘干設備的結(jié)構(gòu)合理，在烘干過程中，通過關(guān)閉門板能有效防止烘干腔內(nèi)熱量從出料口散失，從而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。
【IPC分類】F26B15/12, F26B25/00
【公開號】CN205138128
【申請?zhí)枴緾N201520948998
【發(fā)明人】王勇
【申請人】浙江恒都光電科技有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年11月25日