一種靶材生產用的離心甩干機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種靶材生產用的離心甩干機。
【背景技術】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經過制粉、煅燒、燒結之后，制成基板毛料，基板毛料經過平面磨床拋光打磨之后需要進行干燥處理，目前干燥處理采用風槍吹干，工作效率不高，勞動強度大，不適合大批量生產。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型為了解決上述現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種靶材生產用的離心甩干機，能夠極大提高基板的干燥處理進度，適合大批量生產使用。
[0004]本實用新型采用的具體技術方案是:
[0005]—種靶材生產用的離心甩干機，包括基座、風扇筒，風扇筒呈筒形結構，風扇筒包括都為圓環(huán)狀的上固定盤及下固定盤，上固定盤及下固定盤之間借助豎直設置的扇葉固定，基座下端面固定有電動機，電動機輸出軸貫穿基座底面并與風扇筒的下固定盤連接，基座底面還設置有一組多個基板固定座，一組多個的基板固定座圍繞風扇筒呈圓環(huán)形分布。
[0006]所述的基座上還設置有殼體，殼體套裝在風扇筒及基板固定座外側，殼體的側壁上對應基板固定座的位置設置有透氣窗。
[0007]所述的殼體上端面還設置有加熱風道，加熱風道設置在風扇筒上方，加熱風道內設置有加熱棒。
[0008]所述的加熱棒借助固定桿懸掛設置在加熱風道內，加熱棒呈螺旋彈簧狀。
[0009]所述的基板固定座呈U型槽體結構，基板固定座的U型槽體結構的軸線與基板固定座到風扇筒中心連線的夾角呈30°-45°。
[0010]本實用新型的有益效果是:
[0011]本實用新型，采用風扇筒進行吹風，將環(huán)繞設置的基板吹干，并借助風力將水分甩出設備，保證了基板風干的效率，設置的基板固定座及透氣窗方便將基板安裝及取出，使得設備在不停機情況下能夠連續(xù)生產。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0013]附圖中，1、基座，2、上固定盤，3、下固定盤，4、扇葉，5、電動機，6、基板固定座，7、殼體，8、透氣窗，9、加熱風道，10、加熱棒，11、固定桿。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明:
[0015]具體實施例如圖1所示，本實用新型為一種靶材生產用的離心甩干機，包括基座1、風扇筒，風扇筒呈筒形結構，風扇筒包括都為圓環(huán)狀的上固定盤2及下固定盤3，上固定盤2及下固定盤3之間借助豎直設置的扇葉4固定，基座I下端面固定有電動機5，電動機5輸出軸貫穿基座I底面并與風扇筒的下固定盤3連接，基座I底面還設置有一組多個基板固定座6，一組多個的基板固定座6圍繞風扇筒呈圓環(huán)形分布。
[0016]為了提高干燥效果，所述的基座I上還設置有殼體7，殼體7套裝在風扇筒及基板固定座6外側，殼體7的側壁上對應基板固定座6的位置設置有透氣窗8。所述的殼體7上端面還設置有加熱風道9，加熱風道9設置在風扇筒上方，加熱風道9內設置有加熱棒10。所述的加熱棒10借助固定桿11懸掛設置在加熱風道9內，加熱棒10呈螺旋彈簧狀，使得加熱棒10與加熱風道9接觸時間延長，加熱效果更好。
[0017]為了擴充基板安裝數(shù)量，提高基板與風的接觸時間，所述的基板固定座6呈U型槽體結構，基板固定座6的U型槽體結構的軸線與基板固定座6到風扇筒中心連線的夾角呈30。-45。ο
[0018]本實用新型，采用風扇筒進行吹風，將環(huán)繞設置的基板吹干，并借助風力將水分甩出設備，保證了基板風干的效率，設置的基板固定座及透氣窗方便將基板安裝及取出，使得設備在不停機情況下能夠連續(xù)生產。
【主權項】
1.一種靶材生產用的離心甩干機，其特征在于:包括基座(I)、風扇筒，風扇筒呈筒形結構，風扇筒包括都為圓環(huán)狀的上固定盤(2)及下固定盤(3)，上固定盤(2)及下固定盤(3)之間借助豎直設置的扇葉(4)固定，基座(I)下端面固定有電動機(5)，電動機(5)輸出軸貫穿基座(I)底面并與風扇筒的下固定盤(3)連接，基座(I)底面還設置有一組多個基板固定座(6)，一組多個的基板固定座(6)圍繞風扇筒呈圓環(huán)形分布。2.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材生產用的離心甩干機，其特征在于:所述的基座(I)上還設置有殼體(7)，殼體(7)套裝在風扇筒及基板固定座(6)外側，殼體(7)的側壁上對應基板固定座(6)的位置設置有透氣窗(8)。3.根據(jù)權利要求2所述的一種靶材生產用的離心甩干機，其特征在于:所述的殼體(7)上端面還設置有加熱風道(9)，加熱風道(9)設置在風扇筒上方，加熱風道(9)內設置有加熱棒(1)04.根據(jù)權利要求3所述的一種靶材生產用的離心甩干機，其特征在于:所述的加熱棒(10)借助固定桿(11)懸掛設置在加熱風道(9)內，加熱棒(10)呈螺旋彈簧狀。5.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材生產用的離心甩干機，其特征在于:所述的基板固定座(6)呈U型槽體結構，基板固定座(6)的U型槽體結構的軸線與基板固定座(6)到風扇筒中心連線的夾角呈30° -45°。
【專利摘要】本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種靶材生產用的離心甩干機，包括基座、風扇筒，風扇筒呈筒形結構，風扇筒包括都為圓環(huán)狀的上固定盤及下固定盤，上固定盤及下固定盤之間借助豎直設置的扇葉固定，基座下端面固定有電動機，電動機輸出軸貫穿基座底面并與風扇筒的下固定盤連接，基座底面還設置有一組多個基板固定座，一組多個的基板固定座圍繞風扇筒呈圓環(huán)形分布。本實用新型，采用風扇筒進行吹風，將環(huán)繞設置的基板吹干，并借助風力將水分甩出設備，保證了基板風干的效率，設置的基板固定座及透氣窗方便將基板安裝及取出，使得設備在不停機情況下能夠連續(xù)生產。
【IPC分類】F26B11/08, F26B25/06, F24H3/04, F26B21/00
【公開號】CN205262089
【申請?zhí)枴緾N201521062146
【發(fā)明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛(wèi), 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日