一種靶材原料燒結用的燒結機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種靶材原料燒結用的燒結機。
【背景技術】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經過制粉、煅燒、燒結之后，制成基板毛料，基板毛料經過平面磨床拋光打磨之后進行濺射鍍膜，目前所采用的燒結工藝中用到的燒結機需要將氫氧化鈮沉淀做成方磚，然后燒結、干燥，提前制作方磚的工序復雜，費事費力，并且由于氫氧化鈮導熱性差，方磚結構中心不易干透，容易造成開裂、干濕不均勻，影響下一步工序質量。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型為了解決上述現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種靶材原料燒結用的燒結機，能夠方便物料裝填，提高生產效率及生產質量。
[0004]本實用新型采用的具體技術方案是:
[0005]—種靶材原料燒結用的燒結機，包括燒結爐，燒結爐為箱體結構，燒結爐還設置有密封門，密封門與燒結爐側壁鉸接形成轉動配合，所述的燒結爐為多層結構，其由內向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結爐還設置有鉑銠測溫計，所述的燒結爐內還設置有物料托盤，所述的物料托盤內設置有一組多個的輔熱粧，輔熱粧在物料托盤內側的底面呈矩陣排布。
[0006]所述的輔熱粧為圓柱結構，輔熱粧中心設置有貫通孔，貫通孔與物料托盤下端面連通。
[0007]還設置有固定滑軌，固定滑軌分別設置在燒結爐內相對的左、右側面上，固定滑軌呈C型槽體結構，固定滑軌與物料托盤形成滑動配合。
[0008]所述的物料托盤設置有多個，多個物料托盤在燒結爐內豎向排列。
[0009]本實用新型的有益效果是:
[0010]本實用新型，采用輔熱粧將物料托盤內的物料貫穿，當加熱時，借助于輔熱粧能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0012]附圖中，1、燒結爐，2、密封門，3、鉑銠測溫計，4、物料托盤，5、輔熱粧，6、貫通孔，7、
固定滑軌。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖及具體實施例對本實用新型作進一步說明:
[0014]具體實施例如圖1所示，本實用新型為一種靶材原料燒結用的燒結機，包括燒結爐I，燒結爐I為箱體結構，燒結爐I還設置有密封門2，密封門2與燒結爐I側壁鉸接形成轉動配合，所述的燒結爐I為多層結構，其由內向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結爐I還設置有鉑銠測溫計3，所述的燒結爐I內還設置有物料托盤4，所述的物料托盤4內設置有一組多個的輔熱粧5，輔熱粧5在物料托盤4內側的底面呈矩陣排布。
[0015]所述的輔熱粧5為圓柱結構，輔熱粧5中心設置有貫通孔6，貫通孔6與物料托盤4下端面連通。
[0016]還設置有固定滑軌7，固定滑軌7分別設置在燒結爐I內相對的左、右側面上，固定滑軌7呈C型槽體結構，固定滑軌7與物料托盤4形成滑動配合。
[0017]作為本實用新型的進一步改進，所述的物料托盤4設置有多個，多個物料托盤4在燒結爐I內豎向排列，設置在物料托盤4上的輔熱粧5在物料托盤4安裝到位后，輔熱粧5相互貫通，即使物料托盤4密集擺放，也能保證物料中心受熱均勻。
[0018]本實用新型，采用輔熱粧將物料托盤內的物料貫穿，當加熱時，借助于輔熱粧能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【主權項】
1.一種靶材原料燒結用的燒結機，包括燒結爐(I)，燒結爐(I)為箱體結構，燒結爐(I)還設置有密封門(2)，密封門(2)與燒結爐(I)側壁鉸接形成轉動配合，所述的燒結爐(I)為多層結構，其由內向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結爐(I)還設置有鉑銠測溫計(3)，所述的燒結爐(I)內還設置有物料托盤(4)，其特征在于:所述的物料托盤(4)內設置有一組多個的輔熱粧(5)，輔熱粧(5)在物料托盤(4)內側的底面呈矩陣排布。2.根據權利要求1所述的一種靶材原料燒結用的燒結機，其特征在于:所述的輔熱粧(5)為圓柱結構，輔熱粧(5)中心設置有貫通孔(6)，貫通孔(6)與物料托盤(4)下端面連通。3.根據權利要求1所述的一種靶材原料燒結用的燒結機，其特征在于:還設置有固定滑軌(7)，固定滑軌(7)分別設置在燒結爐(I)內相對的左、右側面上，固定滑軌(7)呈C型槽體結構，固定滑軌(7)與物料托盤(4)形成滑動配合。4.根據權利要求1所述的一種靶材原料燒結用的燒結機，其特征在于:所述的物料托盤(4)設置有多個，多個物料托盤(4)在燒結爐(I)內豎向排列。
【專利摘要】本實用新型屬于靶材制造領域，具體涉及一種靶材原料燒結用的燒結機，包括燒結爐，燒結爐為箱體結構，燒結爐還設置有密封門，密封門與燒結爐側壁鉸接形成轉動配合，所述的燒結爐為多層結構，其由內向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結爐還設置有鉑銠測溫計，所述的燒結爐內還設置有物料托盤，所述的物料托盤內設置有一組多個的輔熱樁，輔熱樁在物料托盤內側的底面呈矩陣排布。本實用新型，采用輔熱樁將物料托盤內的物料貫穿，當加熱時，借助于輔熱樁能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【IPC分類】F27B17/00
【公開號】CN205262187
【申請?zhí)枴緾N201521061850
【發(fā)明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛(wèi), 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日