一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜靶材是通過(guò)磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經(jīng)過(guò)制粉、煅燒、燒結(jié)之后，制成基板毛料，基板毛料經(jīng)過(guò)平面磨床拋光打磨之后進(jìn)行濺射鍍膜，目前所采用的烘干箱在使用時(shí)，由于箱門(mén)與箱體為密封結(jié)構(gòu)，所以烘干時(shí)內(nèi)部氣壓變化較大，在箱門(mén)開(kāi)啟時(shí)存在危險(xiǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，能夠避免烘干箱內(nèi)外壓力差過(guò)大，保證烘干箱開(kāi)啟時(shí)的安全。
[0004]本實(shí)用新型采用的具體技術(shù)方案是:
[0005]—種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，包括箱體，箱體設(shè)置有密封門(mén)，密封門(mén)與箱體側(cè)邊鉸接呈轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述的箱體內(nèi)還設(shè)置有烘干架，箱體內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有電熱絲，箱體外側(cè)裝設(shè)有溫度表，所述的箱體側(cè)壁設(shè)置有緩沖氣道，箱體內(nèi)外側(cè)借助緩沖氣道連接相通，緩沖氣道套裝在降溫水箱內(nèi)，緩沖氣道在降溫水箱內(nèi)呈螺旋盤(pán)繞設(shè)置。
[0006]所述的緩沖氣道的末端還設(shè)置有放氣閥
[0007]所述的烘干架借助伸縮滑道安裝在箱體內(nèi)，所述的伸縮滑道包括固定滑道及移動(dòng)滑道，固定滑道安裝固定在箱體底面上，固定滑道呈槽體結(jié)構(gòu)，移動(dòng)滑道套裝在固定滑道內(nèi)并形成滑動(dòng)配合，烘干架安裝在移動(dòng)滑道上。
[0008]所述的箱體側(cè)壁上還設(shè)置有壓力表。
[0009]所述的箱體后側(cè)安裝有送風(fēng)筒，送風(fēng)筒與箱體之間還設(shè)置有抽拉擋板，抽拉擋板與箱體的側(cè)壁形成密封配合。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0011]本實(shí)用新型，采用緩沖氣道平衡內(nèi)外氣壓，同時(shí)借助于降溫水箱將熱氣降溫，避免了熱氣造成工作環(huán)境溫度升高，造成人員不適或者燙傷工作人員的事故，提高了烘干效果。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖中，1、箱體，2、密封門(mén)，3、溫度表，4、緩沖氣道，5、降溫水箱，6、放氣閥，7、烘干架，8、固定滑道，9、移動(dòng)滑道，10、壓力表，11、送風(fēng)筒，12、抽拉擋板。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0015]具體實(shí)施例如圖1所示，本實(shí)用新型為一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，包括箱體I，箱體I設(shè)置有密封門(mén)2，密封門(mén)2與箱體I側(cè)邊鉸接呈轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述的箱體I內(nèi)還設(shè)置有烘干架，箱體I內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有電熱絲，箱體I外側(cè)裝設(shè)有溫度表3，所述的箱體I側(cè)壁設(shè)置有緩沖氣道4，箱體I內(nèi)外側(cè)借助緩沖氣道4連接相通，緩沖氣道4套裝在降溫水箱5內(nèi)，緩沖氣道4在降溫水箱5內(nèi)呈螺旋盤(pán)繞設(shè)置。
[0016]所述的緩沖氣道4的末端還設(shè)置有放氣閥6
[0017]為了方便物料擺放，所述的烘干架7借助伸縮滑道安裝在箱體I內(nèi)，所述的伸縮滑道包括固定滑道8及移動(dòng)滑道9，固定滑道8安裝固定在箱體I底面上，固定滑道8呈槽體結(jié)構(gòu)，移動(dòng)滑道9套裝在固定滑道8內(nèi)并形成滑動(dòng)配合，烘干架7安裝在移動(dòng)滑道上。
[0018]所述的箱體I側(cè)壁上還設(shè)置有壓力表10。
[0019]為了盡快使物料恢復(fù)室溫，所述的箱體I后側(cè)安裝有送風(fēng)筒11，送風(fēng)筒11與箱體I之間還設(shè)置有抽拉擋板12，抽拉擋板12與箱體I的側(cè)壁形成密封配合。
[0020]本實(shí)用新型，采用緩沖氣道平衡內(nèi)外氣壓，同時(shí)借助于降溫水箱將熱氣降溫，避免了熱氣造成工作環(huán)境溫度升高，造成人員不適或者燙傷工作人員的事故，提高了烘干效果。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，包括箱體(I)，箱體(I)設(shè)置有密封門(mén)(2)，密封門(mén)(2)與箱體(I)側(cè)邊鉸接呈轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述的箱體(I)內(nèi)還設(shè)置有烘干架，箱體(I)內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有電熱絲，箱體(I)外側(cè)裝設(shè)有溫度表(3)，其特征在于:所述的箱體(I)側(cè)壁設(shè)置有緩沖氣道(4)，箱體(I)內(nèi)外側(cè)借助緩沖氣道(4)連接相通，緩沖氣道(4)套裝在降溫水箱(5)內(nèi)，緩沖氣道(4)在降溫水箱(5)內(nèi)呈螺旋盤(pán)繞設(shè)置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，其特征在于:所述的緩沖氣道(4)的末端還設(shè)置有放氣閥(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，其特征在于:所述的烘干架(7)借助伸縮滑道安裝在箱體(I)內(nèi)，所述的伸縮滑道包括固定滑道(8)及移動(dòng)滑道(9)，固定滑道(8)安裝固定在箱體(I)底面上，固定滑道(8)呈槽體結(jié)構(gòu)，移動(dòng)滑道(9)套裝在固定滑道(8)內(nèi)并形成滑動(dòng)配合，烘干架(7)安裝在移動(dòng)滑道上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，其特征在于:所述的箱體(I)側(cè)壁上還設(shè)置有壓力表(10)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，其特征在于:所述的箱體(I)后側(cè)安裝有送風(fēng)筒(11)，送風(fēng)筒(11)與箱體(I)之間還設(shè)置有抽拉擋板(12)，抽拉擋板(12)與箱體(I)的側(cè)壁形成密封配合。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種靶材生產(chǎn)用的烘干箱，包括箱體，箱體設(shè)置有密封門(mén)，密封門(mén)與箱體側(cè)邊鉸接呈轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述的箱體內(nèi)還設(shè)置有烘干架，箱體內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有電熱絲，箱體外側(cè)裝設(shè)有溫度表，所述的箱體側(cè)壁設(shè)置有緩沖氣道，箱體內(nèi)外側(cè)借助緩沖氣道連接相通，緩沖氣道套裝在降溫水箱內(nèi)，緩沖氣道在降溫水箱內(nèi)呈螺旋盤(pán)繞設(shè)置。本實(shí)用新型，采用緩沖氣道平衡內(nèi)外氣壓，同時(shí)借助于降溫水箱將熱氣降溫，避免了熱氣造成工作環(huán)境溫度升高，造成人員不適或者燙傷工作人員的事故，提高了烘干效果。
【IPC分類】F26B25/14, F26B9/06, F26B23/06
【公開(kāi)號(hào)】CN205316834
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521064901
【發(fā)明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛(wèi), 康林杰, 郄奕
【申請(qǐng)人】河北東同光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年6月15日
【申請(qǐng)日】2015年12月18日