一種晶片連續(xù)清洗烘干裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種晶片生產(chǎn)裝置，具體涉及一種晶片連續(xù)清洗烘干裝置，用于晶片安全尚效生廣。
【背景技術(shù)】
[0002]人造水晶棒經(jīng)過(guò)切割、研磨、腐蝕等工序，加工成各種形狀的晶片，晶片的頻率和厚度成反比，晶片的外觀、尺寸和形狀對(duì)晶片的特性影響很大。晶片很薄，石英晶片(半成品)經(jīng)過(guò)焊接電極，安裝支架，封裝外殼等工序加工成成品的電子元件一石英諧振器(簡(jiǎn)稱晶體)。晶體是由石英晶片、支架、外殼等部分組成的。晶體的種類有49U、49S、UM、SMD(表面貼裝)音叉晶體(表晶)。石英晶片和外圍電路組成石英晶體器件。主要器件有:晶體濾波器、石英晶體振蕩器(PXO)、溫補(bǔ)晶振(TCXO)、壓控振蕩器、(VCXO)、溫控振蕩器(OCXO)。
[0003]研磨是晶片加工不可或缺的一步，研磨時(shí)采用有機(jī)無(wú)機(jī)研磨劑，在研磨設(shè)備上研磨晶片；晶片研磨后需要清洗，以去除表面的研磨劑?，F(xiàn)有清洗方式都是分別進(jìn)行，全靠人工操作;導(dǎo)致清洗過(guò)程易損傷晶片，也存在污染環(huán)境、傷害工人的問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種晶片連續(xù)清洗烘干裝置，可以均勻有效的清洗晶片表面帶有中的蠟。
[0005]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種晶片連續(xù)清洗烘干裝置，由堿液噴淋裝置、第一清水噴淋裝置、活化劑噴淋裝置、第二清水噴淋裝置、酒精噴淋裝置以及烘干裝置依次排列組成;所述堿液噴淋裝置包括堿液儲(chǔ)罐、傳送帶以及堿液收集槽；所述堿液儲(chǔ)罐設(shè)有堿液加熱棒;所述堿液儲(chǔ)罐底部設(shè)有堿液噴淋管;所述堿液噴淋管上設(shè)有測(cè)溫設(shè)備以及堿液流量調(diào)節(jié)閥；所述傳送帶兩側(cè)設(shè)有堿液擋板;所述堿液收集槽位于傳送帶下方;所述堿液擋板安裝于堿液收集槽的側(cè)邊上;所述第一清水噴淋裝置包括第一清水噴淋管、第一網(wǎng)格型傳送帶以及第一清水收集槽;所述第一清水噴淋管上設(shè)有清水加熱棒以及第一清水流量調(diào)節(jié)劑;所述第一清水收集槽位于第一網(wǎng)格型傳送帶下方;所述活化劑噴淋裝置包括活化劑儲(chǔ)罐、傳送帶以及活化劑收集槽;所述活化劑儲(chǔ)罐底部設(shè)有活化劑噴淋管;所述活化劑收集槽位于傳送帶下方;所述活化劑噴淋管上設(shè)有活化劑流量調(diào)節(jié)閥；所述第二清水噴淋裝置包括第二清水噴淋管、第二網(wǎng)格型傳送帶以及第二清水收集槽;所述第二清水噴淋管上設(shè)有第二清水流量調(diào)節(jié)劑;所述第二清水收集槽位于第二網(wǎng)格型傳送帶下方;所述酒精噴淋裝置包括酒精儲(chǔ)罐、傳送帶以及酒精收集槽;所述酒精儲(chǔ)罐底部設(shè)有酒精噴淋管;所述酒精噴淋管上設(shè)有酒精流量調(diào)節(jié)閥;所述酒精收集槽位于傳送帶下方;所述烘干裝置包括傳送帶、兩塊空心板以及抽風(fēng)機(jī);所述抽風(fēng)機(jī)出風(fēng)口通過(guò)空氣管道與空心板連通;所述空氣管道上設(shè)有加熱棒;所述兩塊空心板位于傳送帶兩側(cè)，之間通過(guò)熱風(fēng)管道連通;所述空心板位于傳送帶的一側(cè)設(shè)有吹氣孔。
[0006]本實(shí)用新型中，加熱棒控制堿液的加熱溫度。堿液噴淋是晶片清洗過(guò)程中十分重要的一步，直接關(guān)系到能否去除晶片表面的有機(jī)研磨劑，從而嚴(yán)重影響晶片使用頻率，最終關(guān)系到電子設(shè)備能否有效運(yùn)行。而堿液溫度是堿液噴淋的關(guān)鍵，高低都不行。本實(shí)用新型除了加熱棒外，還利用溫度測(cè)試設(shè)備實(shí)時(shí)監(jiān)控堿液溫度，測(cè)溫設(shè)備為直插式熱電偶測(cè)溫儀，其體積小，由感溫探頭與溫顯屏組成，安裝在堿液噴淋管上，探頭伸入堿液噴淋管內(nèi)，可以接觸堿液，從而通過(guò)溫顯屏實(shí)時(shí)監(jiān)控堿液溫度;并且無(wú)需傳輸線，不會(huì)影響操作，達(dá)到簡(jiǎn)易、高效、準(zhǔn)確監(jiān)控堿液溫度的效果。
[0007]本實(shí)用新型中，液體收集槽包括堿液收集槽、清水收集槽以及活化劑收集槽，為了收集噴淋出、處理晶片后的對(duì)應(yīng)液體，液體收集槽與對(duì)應(yīng)傳送帶之間的距離、液體收集槽開(kāi)口與傳送帶大小之間的關(guān)系不做限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)場(chǎng)地大小、處理晶片的數(shù)量等實(shí)際情況自行選擇，只要有效收集對(duì)應(yīng)液體即可。堿液收集槽兩個(gè)側(cè)邊上分別安裝堿液擋板，從而使得傳送帶位于兩個(gè)擋板之間，有效避免堿液噴淋時(shí)堿液濺出或者在傳輸過(guò)程中堿液溢至地面，濺出的堿液可以順著堿液擋板流入堿液收集槽中。堿液擋板的高度、堿液擋板距離傳送帶的間隙大小不做限定，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以自行選擇，只要能夠防止堿液濺出即可。其他裝置不設(shè)置擋板，一是因?yàn)槠渌后w不會(huì)造成環(huán)境問(wèn)題;二是因?yàn)橥ㄟ^(guò)噴淋流量的調(diào)節(jié)可以避免液體濺出；其實(shí)堿液噴淋過(guò)程也可不設(shè)置堿液擋板，但是為了確保環(huán)境安全、工人不受傷，本實(shí)用新型采用堿液擋板;至于擋板的高度，可以根據(jù)堿液噴淋力度、流量自行選擇。
[0008]本實(shí)用新型中，清水噴淋過(guò)程采用網(wǎng)格型傳送帶，為了快速實(shí)現(xiàn)清水沖洗，有利于清水沖除效果，噴淋的清水直接沖過(guò)晶片，及時(shí)從網(wǎng)格中流出，網(wǎng)格大小不做限定，根據(jù)晶片大小可以設(shè)計(jì)，只要不影響晶片運(yùn)行即可;其他噴淋過(guò)程對(duì)傳送帶結(jié)構(gòu)沒(méi)有要求，可以為網(wǎng)格型，也可以非網(wǎng)格型，都可以有效清洗晶片。傳送帶的安裝、運(yùn)行屬于現(xiàn)有技術(shù)。
[0009]清水噴淋管可以直接與廠內(nèi)自來(lái)水管接通;其他噴淋液體都設(shè)有儲(chǔ)罐，比如堿液儲(chǔ)罐、活化劑儲(chǔ)罐、酒精儲(chǔ)罐，儲(chǔ)罐底部設(shè)置噴淋管。優(yōu)選儲(chǔ)罐都為漏斗形，上大下小，下部近似圓錐型，有利于液體流出、流盡。噴淋管的選擇不做限定，常規(guī)噴淋管都適用，因?yàn)閴A液、活化劑、酒精等濃度都很低，對(duì)材料沒(méi)要求。
[0010]烘干裝置中，設(shè)置的吹氣孔的數(shù)量根據(jù)設(shè)備大小而定，排列的總體原則為使得傳送帶上的晶片受氣均勻;所述吹氣孔的直徑為Imm?1.5mm，根據(jù)需要，合理設(shè)置吹氣孔孔徑分布。加熱棒對(duì)抽風(fēng)機(jī)抽進(jìn)的空氣進(jìn)行加熱，然后輸送至空心板，再由吹起孔吹至傳送帶；優(yōu)選設(shè)置兩根加熱棒，保證烘干效果。
[0011 ]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0012]1.本實(shí)用新型首次提供了一種連續(xù)晶片清洗烘干裝置，通過(guò)合理的結(jié)構(gòu)布局，實(shí)現(xiàn)了晶片堿液清洗、清水漂洗、活化劑清洗、再次清水漂洗、酒精置換、熱風(fēng)烘干的連續(xù)操作;避免了現(xiàn)有人工分步操作帶來(lái)的諸如晶片易損、污染環(huán)境等弊端;是一種清洗徹底、操作安全的裝置。
[0013]2.本實(shí)用新型提供的晶片連續(xù)清洗烘干裝置通過(guò)加熱棒控制堿液儲(chǔ)罐中堿液的溫度，從而有利于高溫反應(yīng)去除晶片表面的有機(jī)研磨劑;特別在堿液噴淋管中設(shè)置溫度監(jiān)測(cè)設(shè)備，保障堿液溫度合理可控，從而可以保證晶片使用頻率;利用流動(dòng)熱風(fēng)加熱，使得晶片周圍熱量均勻，可以保證晶片在熱處理時(shí)，受熱均勻，增加產(chǎn)品的性能穩(wěn)定性，最終利于電子設(shè)備有效運(yùn)行。
【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是實(shí)施例一中晶片連續(xù)清洗烘干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]其中:堿液噴淋裝置1、堿液儲(chǔ)罐11、傳送帶12、堿液收集槽13、堿液加熱棒14、堿液噴淋管15、直插式熱電偶測(cè)溫儀16、堿液流量調(diào)節(jié)閥17、堿液擋板18、第一清水噴淋裝置2、第一清水噴淋管21、第一網(wǎng)格型傳送帶22、第一清水收集槽23、清水加熱棒24、第一清水流量調(diào)節(jié)劑25、活化劑噴淋裝置3、活化劑儲(chǔ)罐31、傳送帶32、活化劑收集槽33、活化劑噴淋管34、活化劑流量調(diào)節(jié)閥35、第二清水噴淋裝置4、第二清水噴淋管41、第二網(wǎng)格型傳送帶42、第二清水收集槽43、第二清水流量調(diào)節(jié)劑44、酒精噴淋裝置5、酒精儲(chǔ)罐51、傳送帶52、酒精收集槽53、酒精噴淋管54、酒精流量調(diào)節(jié)閥55、烘干裝置6、傳送