一種空氣刀系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種空氣刀系統(tǒng)，用于分離基板表面的液體，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀，以及用于吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的真空吸液裝置。本實(shí)用新型有益效果是：真空吸液裝置和空氣刀配合及時(shí)吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體，避免水漬殘留，保證空氣刀對(duì)基板表面作用力的均勻性。
【專利說明】
一種空氣刀系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種空氣刀系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT_LCD(thinfilm transistor-liquid crystal display)的制作過程中都需要經(jīng)過鍍膜，涂膠，曝光，顯影，刻蝕，剝離這些工序。在這些工序的前后大多會(huì)有清洗的環(huán)節(jié)，清洗的目的也各不相同，通常工序前的清洗是為了清洗基板表面的Particle(灰塵)，增加基板表面的粘附力等；而工序后的清洗通常是為了將工序所用的化學(xué)藥品清洗干凈；這些清洗單元后都需要連接著將清洗液分離的Air Knife(空氣刀)，從而達(dá)到分離基板表面液體并干燥基板表面的作用。
[0003]Air Knife作為分離清洗液的主要設(shè)備，在傳統(tǒng)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)下，實(shí)際生產(chǎn)中僅能依靠調(diào)節(jié)出風(fēng)口 CDA(壓縮空氣)的流量來控制空氣刀的干燥能力，存在以下的缺點(diǎn):
[0004]1.空氣刀出風(fēng)口氣體流量過大，對(duì)基板的邊角區(qū)域作用力過大會(huì)造成基板抖動(dòng)，同時(shí)會(huì)影響膜層表面的粘附性，造成Peeling(剝離)不良。
[0005]2.空氣刀出風(fēng)口氣體流量過小，對(duì)液體的作用力明顯不足，會(huì)造成嚴(yán)重水漬殘留。
[0006]3.隨著水量的聚集，⑶A對(duì)其沖擊容易形成水霧，這些水霧會(huì)侵蝕已經(jīng)干燥的基板表面。
[0007]4.基板表面的Particle在空氣刀的作用下，容易形成L型的Particle邊角聚集。【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種空氣刀系統(tǒng)，及時(shí)吸取由空氣刀噴射的氣體的液體，避免由于液體聚集而引起的水漬殘留等問題。
[0009]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種空氣刀系統(tǒng)，用于分離基板表面的液體，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀，以及用于吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的真空吸液裝置。
[0010]進(jìn)一步的，所述真空吸液裝置包括:置于基板上方的吸液頭，以及通過抽氣管道與所述吸液頭連接的真空排氣裝置。
[0011 ]進(jìn)一步的，所述真空排氣裝置包括氣液分離裝置，以及通過氣液分離裝置與所述抽氣管道連接的真空栗。
[0012]進(jìn)一步的，所述氣液分離裝置包括與所述抽氣管道連接的氣液分離腔室，所述氣液分離腔室由氣液分離板劃分為與所述抽氣管道連接的第一腔室和與所述真空栗連接的第二腔室。
[0013]進(jìn)一步的，還包括與所述第一腔室靠近所述吸液頭的一側(cè)連接的排液箱。
[0014]進(jìn)一步的，所述吸液頭包括具有一中空腔體的吸液面板，所述吸液面板的第一表面設(shè)有多個(gè)與所述中空腔體連通的第一通孔，所述吸液面板與所述第一表面相對(duì)的第二表面設(shè)有與所述抽氣管道連通的第二通孔。
[0015]進(jìn)一步的，所述吸液面板的第一表面與所述空氣刀出風(fēng)口所在平面平行，所述吸液面板第一表面在吸液時(shí)與基板之間的垂直距離為第一預(yù)設(shè)距離、使得所述吸液面板位于基板上由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的液面之下。
[0016]進(jìn)一步的，所述空氣刀噴射氣體的氣流方向與基板的傳送方向相反。
[0017]本實(shí)用新型有益效果是:真空吸液裝置和空氣刀配合及時(shí)吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體，避免水漬殘留，保證空氣刀對(duì)基板表面作用力的均勻性。
【附圖說明】
[0018]圖1表示本實(shí)用新型實(shí)施例中空氣刀系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2表示本實(shí)用新型實(shí)施例中空氣刀、吸液面板位置關(guān)系示意圖；
[0020]圖3表示本實(shí)用新型實(shí)施例中吸液面板具體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所舉實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并非以此限定本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
[0022]本實(shí)施例提供一種空氣刀系統(tǒng)，用于分離基板表面的液體，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀，以及用于吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的真空吸液裝置。
[0023]真空吸液裝置和空氣刀配合及時(shí)吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體，避免水漬殘留，聚集的液體被及時(shí)排走，避免了受CDA沖擊形成的水霧，侵蝕已干燥的基板表面;而且液體被吸走的同時(shí)可以有效的帶走基板表面的Part i c I e，防止L型Par t i cle邊角聚集的產(chǎn)生;使得空氣刀對(duì)基板表面各處的作用力都是相同的，保證空氣刀對(duì)基板表面作用力的均勻性，方便實(shí)際生產(chǎn)中對(duì)空氣刀氣體流量的調(diào)整。
[0024]所述真空吸液裝置的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種，只要實(shí)現(xiàn)將空氣刀噴射的氣體吹起的液體吸走的目的即可。
[0025]如圖1所示，本實(shí)施例中，所述真空吸液裝置包括:置于基板上方的吸液頭，以及通過抽氣管道2與所述吸液頭連接的真空排氣裝置。
[0026]為了保證真空抽氣與液體排出的順利進(jìn)行，所述真空排氣裝置包括氣液分離裝置，以及通過氣液分離裝置與所述抽氣管道2連接的真空栗。
[0027]進(jìn)一步的，所述氣液分離裝置包括與所述抽氣管道2連接的氣液分離腔室，所述氣液分離腔室由氣液分離板5劃分為與所述抽氣管道2連接的第一腔室3和與所述真空栗連接的第二腔室4。
[0028]如圖1所示，真空栗通過管道連接于第二腔室4的頂部，抽氣管道2連接于第一腔室3的側(cè)壁，氣液分離板5的設(shè)置使得在抽真空時(shí)，氣體進(jìn)入第二腔室4，液體留在第一腔室3。
[0029]所述氣液分離板5為一具有多個(gè)通孔的板狀結(jié)構(gòu)，氣體通過氣液分離板5上的通孔進(jìn)入第二腔室4，并通過真空排氣裝置排走，液體在其本身重力作用下留在第一腔室3。
[0030]為了及時(shí)將第一腔室3的液體排出，所述氣液分離裝置還包括與所述第一腔室3靠近所述吸液頭的一側(cè)連接的排液箱6。
[0031]進(jìn)一步的，所述吸液頭包括具有一中空腔體的吸液面板I，所述吸液面板I的第一表面設(shè)有多個(gè)與所述中空腔體連通的第一通孔11，所述吸液面板I與所述第一表面相對(duì)的第二表面設(shè)有與所述抽氣管道2連通的第二通孔。
[0032]圖3表不的是吸液面板I具有第一通孔11的一面。
[0033]本實(shí)施例中為了及時(shí)將液體排出，所述抽氣管道2為2個(gè)，實(shí)際使用中，抽氣管道2的數(shù)量可以根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定。
[0034]本實(shí)施例中，所述吸液面板I的第一表面與所述空氣刀7出風(fēng)口所在平面平行，所述吸液面板I第一表面在吸液時(shí)與基板之間的垂直距離為第一預(yù)設(shè)距離、使得所述吸液面板I位于基板上由空氣刀7噴射的氣體吹起的液體的液面之下。
[0035]進(jìn)一步的，所述空氣刀7噴射氣體的氣流方向與基板的傳送方向相反。
[0036]第一預(yù)設(shè)距離可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定。
[0037]如圖2所示，箭頭表示空氣刀7噴射氣體的氣流方向，曲線表示空氣刀噴射的氣體吹起的液體，沿著空氣刀7噴射氣體的氣流方向，吸液面板I設(shè)于空氣刀7的前方，且吸液面板I位于由空氣刀7噴射的氣體吹起的液體的液面之下。
[0038]本實(shí)施例空氣刀7系統(tǒng)，在空氣刀7出風(fēng)□的前方(圖2所示的空氣刀7的右側(cè))增加了真空吸液裝置?？諝獾?噴射氣體對(duì)基板進(jìn)行干燥和真空吸液裝置進(jìn)行吸液同時(shí)進(jìn)行，保證由空氣刀7噴射的氣體吹起、聚集的液體可以及時(shí)的被排走。
[0039]當(dāng)基板最初到達(dá)空氣刀7對(duì)應(yīng)的位置時(shí)，空氣刀7出風(fēng)口開始噴射高速的壓縮氣體，同時(shí)真空吸液裝置也開始運(yùn)轉(zhuǎn)，使吸液面板I及其連同的管道內(nèi)形成瞬間的真空環(huán)境，被空氣刀7噴射的氣體聚集的液體在大氣壓力的作用下，迅速的進(jìn)入吸水面板、并通過抽氣管道2進(jìn)入第一腔室3，然后排到排液箱6內(nèi)。
[0040]真空吸液裝置在吸液過程中，吸液面板I要始終位于基板上被空氣刀7噴射的氣體吹起的液體的液面之下(在實(shí)際使用中，為了避免吸液面板I與基板接觸以損傷基板，并保證液體被真空吸液裝置吸取，吸液面板I的位置位于被空氣刀7噴射的氣體的氣流吹趕的液體液位最高處)，保證基板表面的液體可以在大氣壓力和液體分子內(nèi)在作用力的情況下，實(shí)時(shí)的被排到第一腔室3內(nèi)，并最終排放到排液箱6。
[0041 ]本實(shí)施例空氣刀7系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了空氣刀7噴射氣體干燥基板表面和真空吸水實(shí)時(shí)抽走聚集的液體的完美配合。由于空氣刀7噴射的氣體接觸到的液體始終一定，保證空氣刀7對(duì)基板表面各處的作用力的均一性。在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中，需要實(shí)現(xiàn)空氣刀7出風(fēng)口的氣體氣流方向與基板傳送方向反向平行設(shè)計(jì)，同時(shí)要保證排液箱6所在平面在基板通過時(shí)，始終處于基板液體液面之下，以便液體的排出。
[0042]以上為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，需要說明的是，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種空氣刀系統(tǒng)，用于分離基板表面的液體，其特征在于，包括向基板表面噴射氣體的空氣刀，以及用于吸取由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的真空吸液裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述真空吸液裝置包括:置于基板上方的吸液頭，以及通過抽氣管道與所述吸液頭連接的真空排氣裝置。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述真空排氣裝置包括氣液分離裝置，以及通過氣液分離裝置與所述抽氣管道連接的真空栗。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述氣液分離裝置包括與所述抽氣管道連接的氣液分離腔室，所述氣液分離腔室由氣液分離板劃分為與所述抽氣管道連接的第一腔室和與所述真空栗連接的第二腔室。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述第一腔室靠近所述吸液頭的一側(cè)連接的排液箱。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述吸液頭包括具有一中空腔體的吸液面板，所述吸液面板的第一表面設(shè)有多個(gè)與所述中空腔體連通的第一通孔，所述吸液面板與所述第一表面相對(duì)的第二表面設(shè)有與所述抽氣管道連通的第二通孔。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述吸液面板的第一表面與所述空氣刀出風(fēng)口所在平面平行，所述吸液面板第一表面在吸液時(shí)與基板之間的垂直距離為第一預(yù)設(shè)距離、使得所述吸液面板位于基板上由空氣刀噴射的氣體吹起的液體的液面之下。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣刀系統(tǒng)，其特征在于，所述空氣刀噴射氣體的氣流方向與基板的傳送方向相反。
【文檔編號(hào)】F26B21/00GK205664639SQ201620525505
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年5月27日
【發(fā)明人】錢娟娟, 馬超, 黃勝, 徐海濤, 劉超, 王守波, 歐陽欠, 林杰
【申請(qǐng)人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司