專利名稱:抽氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種在致冷采暖等設(shè)備中使用的吸收式制冷機(jī)的抽氣裝置。
背景技術(shù):
眾所周知,吸收式制冷機(jī)順次配管連接再生器、冷凝器、蒸發(fā)器、吸收器等,通過(guò)溴化鋰水溶液等的吸收液吸收放出水等制冷劑的同時(shí)使其循環(huán),進(jìn)行熱的收受并提供致冷、采暖。
上述結(jié)構(gòu)的吸收式制冷機(jī)中,再生器、冷凝器、蒸發(fā)器、吸收器、以及連結(jié)這些的配管部等由鐵或不銹鋼形成,若制冷劑使用水、吸收液使用含有緩蝕劑的溴化鋰水溶液等,則吸收液與設(shè)備材料的金屬反應(yīng)形成防蝕保護(hù)膜時(shí)產(chǎn)生氫氣。
特別地,由于運(yùn)轉(zhuǎn)中由再生器加熱吸收液到例如160℃,吸收液和金屬間容易發(fā)生反應(yīng)也產(chǎn)生更多的氫氣。
另外,因?yàn)槭刮帐街评錂C(jī)整體成高真空系統(tǒng),所以雖然通過(guò)焊接等提高密封性,但是不可避免從銷孔和連接部等進(jìn)入空氣成分,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間氮和氧等大氣成分也相應(yīng)增加。
在上述裝置中產(chǎn)生的氫氣和從大氣侵入的氮和氧等由于在制冷機(jī)中的冷卻程度下不凝結(jié)而且在吸收液的溶解度極小,所以滯留在蒸發(fā)器和吸收器的非溶液部,其濃度逐漸增加。像這樣,若機(jī)內(nèi)的氫氣等不凝結(jié)氣體濃度增加則抑制制冷劑的蒸發(fā)降低制冷能力。
為此,例如圖7所示,有這樣的技術(shù)借助吸收液管以及氣相管與吸收式制冷機(jī)100連結(jié)的氣液分離器1的氣相部延伸設(shè)置的不凝結(jié)罐2上安裝有鈀管3,加熱其鈀管3至300~500℃左右,由氣液分離器1從吸收液分離而導(dǎo)入不凝結(jié)罐2的氫氣通過(guò)鈀管3的壁面,排出在吸收式制冷機(jī)主體內(nèi)產(chǎn)生的不凝結(jié)氣體氫氣。
但是圖7所示抽氣裝置必須將鈀管3時(shí)常加熱保持在300~500℃。另外,借助鈀管3可排氣的不凝結(jié)氣體只是氫氣,存在并不能排出從焊接部等的銷管和連接部等侵入的氮?dú)夂脱鯕獾鹊拇髿獬煞诌@樣的問(wèn)題。
鑒于該點(diǎn),發(fā)明人建議真空泵使用無(wú)油真空泵(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1特愿2003-146238號(hào)發(fā)明內(nèi)容但是,在所述無(wú)油泵中,若其泵內(nèi)殘留水分(水滴),則會(huì)出現(xiàn)以下的問(wèn)題。例如,由于在泵內(nèi)的閥(閥門(mén))上附著的水滴導(dǎo)致閥貼附在氣缸內(nèi)的閥座上,造成閥不正常工作;若在所述氣缸內(nèi)含有水分的情況下進(jìn)行吸收(膨脹),水分的膨脹容量比泵的吸收容量更大,產(chǎn)生得不到足夠的吸引力的問(wèn)題。從而可能造成不能充分發(fā)揮所述吸收式制冷機(jī)的功能的狀態(tài)。
因此,本發(fā)明是為解決該問(wèn)題而研發(fā)的,目的在于提供一種除去所述無(wú)油泵的水分且防止吸收式制冷機(jī)的功能下降的抽氣裝置。
本發(fā)明第一方面的抽氣裝置,將在吸收式制冷機(jī)內(nèi)部產(chǎn)生的氫氣等的不凝結(jié)氣體排出機(jī)外。其特征在于,具有借助氣液分離器連通吸收式制冷機(jī)主體部并導(dǎo)入在機(jī)內(nèi)產(chǎn)生的氫氣等不凝結(jié)氣體的不凝結(jié)罐;設(shè)置成可連通其不凝結(jié)罐并排出導(dǎo)入不凝結(jié)罐的不凝結(jié)氣體的無(wú)油真空泵。其還具有在該真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始和/或運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束時(shí),除去殘留在該真空泵的水分和/或在該真空泵內(nèi)凝結(jié)的水分的裝置。
本發(fā)明第二方面,其特征在于,在本發(fā)明第一方面的抽氣裝置中,所述抽氣裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)置有使所述不凝結(jié)氣體放熱凝結(jié)的放熱盤(pán)管和對(duì)所述凝結(jié)的不凝結(jié)氣體進(jìn)行氣液分離的氣液分離器。
本發(fā)明第三方面,其特征在于,在本發(fā)明第一或第二方面的抽氣裝置中,所述水分除去裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)有一方借助電磁開(kāi)閉閥與所述不凝結(jié)罐連接,另一方借助電磁開(kāi)閉閥向大氣開(kāi)放的支路,并控制這些電磁開(kāi)閉閥。
本發(fā)明第四方面,其特征在于,在本發(fā)明第一或第二方面的抽氣裝置中,所述水分除去裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)有一方與不凝結(jié)罐連接,另一方向大氣開(kāi)放的三通閥,并控制該三通閥。
通過(guò)本發(fā)明的吸收式制冷機(jī)的抽氣裝置,吸收式制冷機(jī)的內(nèi)部產(chǎn)生的氫氣等不凝結(jié)氣體和漏入機(jī)內(nèi)的大氣層分等不凝結(jié)氣體,可不受所述不凝結(jié)氣體中含有的水分的影響而可靠地排出機(jī)外。
圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例的圖;圖2是用于一實(shí)施例的無(wú)油泵的圖;圖3是抽氣運(yùn)行結(jié)束時(shí)除去真空泵內(nèi)的水分的控制時(shí)間圖;圖4是抽氣運(yùn)行開(kāi)始和結(jié)束時(shí)除去真空泵內(nèi)的水分的控制時(shí)間圖;圖5是表示本發(fā)明另一實(shí)施例的圖;圖6是抽氣運(yùn)行開(kāi)始和結(jié)束時(shí)除去真空泵內(nèi)的水分的控制時(shí)間圖;圖7是表示現(xiàn)有技術(shù)的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照?qǐng)D1和圖2詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的抽氣裝置。另外,為便于理解,在這些圖中,具有與前述圖7中說(shuō)明的部分相同的功能的部分標(biāo)記相同的符號(hào)。
圖1所示本發(fā)明的抽氣裝置中,無(wú)油型真空泵5借助氣液分離箱8等可連通地與不凝結(jié)罐2連結(jié)。另外具有電磁開(kāi)閉閥4A~4C的抽氣管7一端與不凝結(jié)罐2連接,另一端與氣液分離箱8連接,放熱盤(pán)管7A設(shè)置在所述氣液分離箱8側(cè)。所述電磁開(kāi)閉閥4A和4B與所述抽氣管7成直線設(shè)置,所述電磁開(kāi)閉閥4C設(shè)置在從該抽氣管7分支并端部向大氣開(kāi)發(fā)的分支管7B上。
另外,氣液分離箱8的底板上連接有中間安裝開(kāi)閉閥9A的排水管9,氣液分離箱8內(nèi)滯留的制冷劑液體等通過(guò)打開(kāi)開(kāi)閉閥9A可適當(dāng)?shù)嘏懦觥?br>
因?yàn)闊o(wú)油型真空泵5設(shè)置在從氣液分離箱8的頂部延伸設(shè)置的抽氣管7Z的終端部,所以通過(guò)抽氣管7的放熱盤(pán)管7A部分時(shí)向大氣放熱凝結(jié)的制冷劑等凝結(jié)液滯留在氣液分離箱8內(nèi)底部,從抽氣管7Z只導(dǎo)出不凝結(jié)氣體,從而只有不凝結(jié)氣體進(jìn)入真空泵5。
如圖2所示,作為真空泵5,由第一排出機(jī)構(gòu)10和第二排出機(jī)構(gòu)30構(gòu)成,第一排出機(jī)構(gòu)10包括具有吸氣室吸氣口11和借助開(kāi)閉閥12開(kāi)閉的吸氣室排氣口13的吸氣室14、具有排氣室排氣口15和借助開(kāi)閉閥16開(kāi)閉的排氣室吸氣口17的排氣室18、從吸氣室排氣口13以及排氣室吸氣口17的部分延伸設(shè)置其內(nèi)部有往復(fù)運(yùn)動(dòng)的活塞19的氣缸20。
另外,開(kāi)閉閥12設(shè)置成在活塞19向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積增大,內(nèi)壓力降低時(shí)開(kāi)放吸氣室排氣口13;在活塞19向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積減少,內(nèi)壓力增大時(shí)關(guān)閉吸氣室排氣口13;開(kāi)閉閥16設(shè)置成在活塞19向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積增大,內(nèi)壓力降低時(shí)關(guān)閉排氣室吸氣口17;在活塞19向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積減少,內(nèi)壓力增大時(shí)開(kāi)放排氣室吸氣口17。
第二排出機(jī)構(gòu)30包括具有吸氣室吸氣口31和借助開(kāi)閉閥32開(kāi)閉的吸氣室排氣口33的吸氣室34、具有排氣室排氣口35和借助開(kāi)閉閥36開(kāi)閉的排氣室吸氣口37的排氣室38、從吸氣室排氣口33以及排氣室吸氣口37部分延伸設(shè)置其內(nèi)部設(shè)有往復(fù)運(yùn)動(dòng)的活塞39的氣缸40。
另外,開(kāi)閉閥32設(shè)置成在活塞39向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積增大,內(nèi)壓力降低時(shí)開(kāi)放吸氣室排氣口33;在活塞39向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積減少,內(nèi)壓力增大時(shí)關(guān)閉吸氣室排氣口33;開(kāi)閉閥36設(shè)置成在活塞39向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積增大,內(nèi)壓力降低時(shí)關(guān)閉排氣室吸氣口37;在活塞39向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積減少,內(nèi)壓力增大時(shí)開(kāi)放排氣室吸氣口37。
并且,第一排出機(jī)構(gòu)10的活塞19借助曲柄52L連結(jié)電機(jī)50的旋轉(zhuǎn)軸51L;第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39借助曲柄52R連結(jié)電機(jī)50的旋轉(zhuǎn)軸51R,將電機(jī)50產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)軸51L和51R的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成活塞19和39各自的往復(fù)運(yùn)動(dòng),并在各氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
另外,第一排出機(jī)構(gòu)10的活塞19和第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39安裝成相互向相反的方向移動(dòng)。由此,第一排出機(jī)構(gòu)10的活塞19向圖下方移動(dòng)時(shí)第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39向圖上方移動(dòng),第一排出機(jī)構(gòu)10的活塞19向圖上方移動(dòng)時(shí)第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39向圖下方移動(dòng),因此,當(dāng)?shù)谝慌懦鰴C(jī)構(gòu)10中活塞19向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積增大、氣缸內(nèi)空間21的壓力減少時(shí),開(kāi)閉閥12和16一同向圖下方轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣室排氣口13打開(kāi),排氣室吸氣口17關(guān)閉,因而從吸氣室吸氣口11導(dǎo)入吸氣室14的不凝結(jié)氣體通過(guò)吸氣室排氣口13進(jìn)入氣缸內(nèi)空間21。
并且,當(dāng)?shù)谝慌懦鰴C(jī)構(gòu)10的活塞19向圖下方移動(dòng),吸氣室14的不凝結(jié)氣體從吸氣室排氣口13導(dǎo)入容積增大的氣缸內(nèi)空間21內(nèi)時(shí),第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積減少氣缸內(nèi)空間41的壓力增加,因而開(kāi)閉閥32和36一同向圖上方轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣室排氣口33關(guān)閉,排氣室吸氣口37打開(kāi)。
因此,在第一排出機(jī)構(gòu)10的排氣室18、第二排出機(jī)構(gòu)30的吸氣室34、第一排出機(jī)構(gòu)10和第二排出機(jī)構(gòu)30的連結(jié)管內(nèi)的不凝結(jié)氣體不導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間41,而將導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間41內(nèi)的不凝結(jié)氣體從排氣室吸氣口37、排氣室38、排氣室排氣口35排出。
另一方面,當(dāng)?shù)谝慌懦鰴C(jī)構(gòu)10中活塞19向圖上方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間21的容積減少氣缸內(nèi)空間21的壓力增加時(shí),開(kāi)閉閥12和16一同向圖上方轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣室排氣口13關(guān)閉,排氣室吸氣口17打開(kāi),因而吸氣室14的不凝結(jié)氣體不導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間21,而導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間21的不凝結(jié)氣體通過(guò)排氣室吸氣口17進(jìn)入排氣室18內(nèi)。
并且,當(dāng)?shù)谝慌懦鰴C(jī)構(gòu)10的活塞19向圖上方移動(dòng),不凝結(jié)氣體從氣缸內(nèi)空間21壓出至排氣室18時(shí),第二排出機(jī)構(gòu)30的活塞39向圖下方移動(dòng),氣缸內(nèi)空間41的容積增大、氣缸內(nèi)空間41的壓力降低,因而開(kāi)閉閥32和36一同向圖下方轉(zhuǎn)動(dòng),吸氣室排氣口33打開(kāi),排氣室吸氣口37關(guān)閉。
因此,外部氣體不通過(guò)排氣室排氣口35、排氣室38、排氣室吸氣口37導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間41,第一排出機(jī)構(gòu)10的排氣室18、第二排出機(jī)構(gòu)30的吸氣室34、第一排出機(jī)構(gòu)10和第二排出機(jī)構(gòu)30的連結(jié)管內(nèi)的不凝結(jié)氣體從吸氣室排氣口33導(dǎo)入氣缸內(nèi)空間41。
由此,可通過(guò)起動(dòng)電機(jī)50使活塞19和39在氣缸20和40內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),同時(shí)通過(guò)打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥4,可排出滯留在不凝結(jié)罐2內(nèi)的不凝結(jié)氣體。
以下,說(shuō)明本發(fā)明的抽氣裝置的工作。
首先,圖1所示的符號(hào)60是抽氣裝置的控制器。符號(hào)61是警報(bào)裝置。
并且,如圖3的時(shí)間圖所示,若不凝結(jié)罐2上安裝的壓力傳感器6檢測(cè)出規(guī)定的高壓,例如101kPa(設(shè)定值可變),則由控制器60控制起動(dòng)電機(jī)50,電機(jī)50起動(dòng)后經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間段t1后由所述控制器60控制打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥4A和4B,不凝結(jié)罐2內(nèi)駐留的不凝結(jié)氣體向大氣排出,從而進(jìn)行抽氣運(yùn)行。并且,若壓力傳感器6檢測(cè)出規(guī)定的低壓,例如4kPa(設(shè)定值可變),則由控制器60控制關(guān)閉電磁開(kāi)閉閥4A和4B,經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間段t2后,這次由控制器60控制在規(guī)定的時(shí)間段t3內(nèi)使電磁開(kāi)閉閥4C處于打開(kāi)狀態(tài),大氣從抽氣管7B經(jīng)由放熱盤(pán)管7A和氣液分離器8吸入真空泵5內(nèi)排出,并除去殘留在所述真空泵5內(nèi)的水分??刂齐姍C(jī)50與所述電磁開(kāi)閉閥4C的關(guān)閉大致同步或者比所述電磁開(kāi)閉閥4C的關(guān)閉略早停止。
由此,在除去包含在所述不凝結(jié)氣體并殘留在真空泵5內(nèi)的水分的狀態(tài)下可停止所述真空泵5的運(yùn)轉(zhuǎn),并可防止所述水分導(dǎo)致的該真空泵5產(chǎn)生不正常工作。
另外如圖4的時(shí)間圖所示,也可在上述圖3的時(shí)間圖所示的控制的基礎(chǔ)上,在與真空泵5的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始大致同步在規(guī)定時(shí)間段t4內(nèi)控制所述電磁開(kāi)閉閥4C打開(kāi)。其中,該電磁開(kāi)閉閥4C在所述電磁開(kāi)閉閥4A和4B的打開(kāi)前必須關(guān)閉。即是,所述規(guī)定時(shí)間段t4必須比上述規(guī)定時(shí)間段t1短。
這樣,真空泵5運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始的同時(shí),打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥4C,將大氣向真空泵5內(nèi)循環(huán),其后,關(guān)閉所述電磁開(kāi)閉閥4C后打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥4A和4B,進(jìn)行駐留在不凝結(jié)罐2內(nèi)的不凝結(jié)氣體的抽氣運(yùn)行,由此,因?yàn)樵诔浞殖ニ稣婵毡?內(nèi)殘留的不凝結(jié)氣體的水分的狀態(tài)下開(kāi)始所述抽氣運(yùn)行,所以可從該抽氣運(yùn)行開(kāi)始充分發(fā)揮所述真空泵5的吸引功能。
這樣的抽氣裝置也可作為如圖5所示的抽氣裝置。
如圖5所示抽氣裝置,是將圖1所示電磁開(kāi)閉閥4B和4C置換成三通閥4D的裝置。另外,該三通閥4D在OFF狀態(tài)設(shè)定成在借助氣液分離箱8連通真空泵5和不凝結(jié)罐2的方向上,在ON狀態(tài)設(shè)定成在真空泵5的吸入側(cè)借助氣液分離箱8與大氣連通的方向。
參照?qǐng)D6所示時(shí)間圖說(shuō)明該運(yùn)行,不凝結(jié)罐2上安裝的壓力傳感器6若檢測(cè)出規(guī)定的高壓,例如10kPa(設(shè)定值可變),則首先在由控制器60控制三通閥4D成為OFF狀態(tài)下起動(dòng)電機(jī)50,該電機(jī)50起動(dòng)后經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間段t5后由所述控制器60控制三通閥4D成為ON狀態(tài)。
由此,與上述圖4的時(shí)間圖相同,在真空泵5的運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始的同時(shí),將大氣向該真空泵5內(nèi)循環(huán),除去該真空泵5內(nèi)殘留的不凝結(jié)氣體部分開(kāi)始抽氣運(yùn)行,因此可從該抽氣運(yùn)行開(kāi)始充分發(fā)揮所述真空泵5的吸引能力。
并且,壓力傳感器6若檢測(cè)出規(guī)定的低壓例如4kPa(設(shè)定值可變),關(guān)閉電磁開(kāi)閉閥4A,如果經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間段t7后,由控制器60控制三通閥4D成為OFF狀態(tài),進(jìn)而經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間段t8后停止所述真空泵5。
由此,與上述圖4的時(shí)間圖相同,可除去包含在所述不凝結(jié)氣體并殘留在真空泵5內(nèi)的水分并停止所述真空泵5的運(yùn)轉(zhuǎn)。
另外,本發(fā)明不限于上述實(shí)施例,根據(jù)本發(fā)明內(nèi)容記載的宗旨可進(jìn)行各種變形。例如,圖1中抽氣管7B也可設(shè)置在電磁開(kāi)閉閥4B和真空泵5之間的任意的位置上,圖5中抽氣管7B也可設(shè)置在電磁開(kāi)閉閥4A和真空泵5之間的任意的位置上。
并且例如,判斷抽氣裝置的功能降低也可通過(guò)將壓力傳感器6檢測(cè)出的壓力的變化速度與標(biāo)準(zhǔn)值比較進(jìn)行。
本發(fā)明是在吸引含有水分的氣體的回路中,使用無(wú)油泵時(shí)的有效裝置。
權(quán)利要求
1.一種抽氣裝置,其將在吸收式制冷機(jī)內(nèi)部產(chǎn)生的氫氣等的不凝結(jié)氣體排出機(jī)外,其特征在于,具有借助氣液分離器連通吸收式制冷機(jī)主體部并導(dǎo)入在機(jī)內(nèi)產(chǎn)生的氫氣等不凝結(jié)氣體的不凝結(jié)罐;設(shè)置成可連通其不凝結(jié)罐并排出導(dǎo)入不凝結(jié)罐的不凝結(jié)氣體的無(wú)油真空泵;還具有在該真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始和/或運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)束時(shí),除去殘留在該真空泵的水分和/或在該真空泵內(nèi)凝結(jié)的水分的裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的抽氣裝置,其特征在于,所述抽氣裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)置有使所述不凝結(jié)氣體放熱凝結(jié)的放熱盤(pán)管和對(duì)所述凝結(jié)的不凝結(jié)氣體進(jìn)行氣液分離的氣液分離器。
3.如權(quán)利要求1或2所述的抽氣裝置,其特征在于,所述水分除去裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)有一方借助電磁開(kāi)閉閥與所述不凝結(jié)罐連接,另一方借助電磁開(kāi)閉閥向大氣開(kāi)放的支路,并控制這些電磁開(kāi)閉閥。
4.如權(quán)利要求1或2所述的抽氣裝置,其特征在于,所述水分除去裝置朝向所述真空泵的上游側(cè)設(shè)有一方與所述不凝結(jié)罐連接,另一方向大氣開(kāi)放的三通閥,并控制該三通閥。
全文摘要
本發(fā)明提供一種除去無(wú)油泵的水分防止吸收式制冷機(jī)能力降低的抽氣裝置。該抽氣裝置設(shè)有抽氣管(7B),其抽氣管(7B)在連接不凝結(jié)罐(2)和氣液分離箱(8)的抽氣管(7)的電磁開(kāi)閉閥(4A)和(4B)的下游側(cè)分支,其端部向大氣開(kāi)放并具有電磁開(kāi)閉閥(4C)。并且,若壓力傳感器(6)檢測(cè)出規(guī)定的高壓,開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)真空泵(5),經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間段(t1)后,打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥(4A)和(4B)進(jìn)行抽氣運(yùn)行。另外,若壓力傳感器(6)檢測(cè)出規(guī)定的低壓,則關(guān)閉電磁開(kāi)閉閥(4A)和(4B),經(jīng)過(guò)規(guī)定的時(shí)間段(t2)后,打開(kāi)電磁開(kāi)閉閥(4C)將大氣向所述真空泵(5)內(nèi)循環(huán)并除去殘留在該真空泵(5)內(nèi)的不凝結(jié)氣體的水分。
文檔編號(hào)F25B43/04GK1626997SQ200410056629
公開(kāi)日2005年6月15日 申請(qǐng)日期2004年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月8日
發(fā)明者柳田信一郎 申請(qǐng)人:三洋電機(jī)株式會(huì)社