本發(fā)明涉及的是一種從空分裝置生產(chǎn)的氖、氦、氮、氫混合氣中純氖氣的低溫分離提取系統(tǒng)及方法，屬于低溫氣體分離技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

目前氖氣廣泛應(yīng)用于光電、高能物理等各個(gè)領(lǐng)域。

氖主要來(lái)源于空氣，現(xiàn)有的制取工藝都是利用空分裝置從空氣中提取，提取氖氣的步驟包括：1、空分裝置制取氖、氦、氮、氫的混合氣；2、燃燒法去除混合氣中的氫制取含氖、氦、氮的粗氖、氦混合氣；3、去除粗氖、氦中的氮制取純氖、氦混合氣；4、去除氦制取純氖氣產(chǎn)品。然而，現(xiàn)有的制取方法工藝路徑長(zhǎng)，設(shè)備復(fù)雜，提取率相對(duì)較低，操作難度高，高溫過(guò)程安全性要求高，不利于生產(chǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，而提供一種工藝路線短，設(shè)備簡(jiǎn)單，提取率高，操作簡(jiǎn)單，安全性高，適合于工業(yè)生產(chǎn)需求的純氖氣的低溫分離提取系統(tǒng)及方法。

本發(fā)明的目的是通過(guò)如下技術(shù)方案來(lái)完成的，一種純氖氣的低溫分離提取系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括通過(guò)管道依次連接的原料緩存增壓?jiǎn)卧?、冷凝分離除氮單元、吸附除氮單元和氖凈化單元，其中：

所述的原料緩存增壓?jiǎn)卧ㄍㄟ^(guò)管道依次連通的低壓緩沖罐、原料壓縮機(jī)和中壓緩沖罐；

所述的冷凝分離除氮單元包括通過(guò)管道依次連通的一級(jí)分離器和二級(jí)分離器，所述一級(jí)分離器與混合物緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐之間還設(shè)有第一換熱器，且所述第一換熱器、一級(jí)分離器和二級(jí)分離器均放置于第一真空絕熱容器中；

所述的吸附除氮單元包括并聯(lián)連通的第一除氮吸附器和第二除氮吸附器，且所述第一除氮吸附器和第二除氮吸附器分別放置于第二真空絕熱容器和第三真空絕熱容器中；

所述的氖凈化單元包括通過(guò)管路依次連接的循環(huán)膜壓機(jī)、液氮冷卻器和除氦塔，所述循環(huán)膜壓機(jī)和液氮冷卻器之間還設(shè)有第二換熱器，所述液氮冷卻器和除氦塔之間還設(shè)有第三換熱器，所述除氦塔底部還通過(guò)管路與液氖冷卻器和除氫塔相連，所述除氫塔底部還通過(guò)管路依次與液氖冷卻器和純氖膜壓機(jī)相連，且所述第二換熱器、液氮冷卻器、第三換熱器、除氦塔、液氖冷卻器和除氫塔均放置于高真空絕熱容器中。

作為一種優(yōu)選：所述原料緩存增壓?jiǎn)卧械牡蛪壕彌_罐還通過(guò)管路與冷凝分離除氮單元中的二級(jí)分離器頂部相連；

所述冷凝分離除氮單元中的一級(jí)分離器頂部還通過(guò)管路與吸附除氮單元中的第一除氮吸附器底部和第二除氮吸附器底部并聯(lián)連接，二級(jí)分離器底部還通過(guò)管路與第一真空絕熱容器內(nèi)腔連通，第一真空絕熱容器還連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，所述第一換熱器還通過(guò)管路與真空泵相連。

作為一種優(yōu)選：所述吸附除氮單元中的第一除氮吸附器頂部和第二除氮吸附器頂部通過(guò)管路并聯(lián)連接同時(shí)與冷凝分離除氮單元中的第一換熱器下端連接，第二真空絕熱容器和第三真空絕熱容器分別與高溫氮?dú)夤苈废噙B并且分別連通氮?dú)馀欧殴?，第二真空絕熱容器和第三真空絕熱容器還分別連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，第二真空絕熱容器和第三真空絕熱容器還通過(guò)管道分別連通真空泵和真空泵。

作為一種優(yōu)選：所述冷凝分離除氮單元中的第一換熱器上端與氖凈化單元中的循環(huán)膜壓機(jī)入口通過(guò)管路相連，且所述循環(huán)膜壓機(jī)入口處還連有除氫塔頂部出口管路，所述除氦塔頂部出口還通過(guò)管路與大氣連接，液氮管路還連接液氮冷卻器入口，所述液氮冷卻器出口通過(guò)管路與大氣連接，高真空絕熱容器還通過(guò)管路連接真空泵。

一種利用所述低溫分離提取系統(tǒng)進(jìn)行純氖氣的提取方法，所述的提取方法包括如下步驟：

a、原料氣緩存：原料壓縮機(jī)將空分裝置中的原料氣及冷凝分離除氮單元返回的氣體壓縮到中壓緩沖罐中儲(chǔ)存，中壓緩沖罐(13)中的壓力為4.0mpa；

b、冷凝分離除氮：將步驟a中壓原料氣進(jìn)行降溫冷凝，經(jīng)過(guò)一級(jí)分離器和二級(jí)分離器分離得到含少量氮的氖、氦、氫不凝氣；

c、吸附除氮：將步驟b中得到的含少量氮的氖、氦、氫不凝氣經(jīng)過(guò)第一除氮吸附器和第二除氮吸附器進(jìn)行低溫吸附處理，去除其中的氮和微量氧氬等雜質(zhì)，得到純氖、氦、氫混合氣；

d、氖凈化：將步驟c中得到的純氖、氦、氫混合氣冷卻至45k左右經(jīng)過(guò)除氦塔進(jìn)行精餾分離處理，得到純氖、氫混合液體，再將純氖氫混合液體進(jìn)一步冷卻至25k左右經(jīng)過(guò)除氫塔進(jìn)行精餾分離處理，得到純氖氣。

作為一種優(yōu)選：所述的步驟中：

步驟a，來(lái)自空分裝置的氖、氦、氮、氫混合氣經(jīng)過(guò)減壓后，以10kpa—50kpa的壓力混合氣儲(chǔ)存于低壓緩沖罐中，低壓緩沖罐同時(shí)還接收來(lái)自冷凝分離除氮單元中二級(jí)分離器頂部分離出來(lái)的氣體，這兩部分氣體混合后經(jīng)過(guò)原料壓縮機(jī)壓縮到4.0mpa后進(jìn)入到中壓緩沖罐以供后續(xù)單元連續(xù)運(yùn)行使用；

步驟b，來(lái)自原料緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐中的帶壓原料氣進(jìn)入第一換熱器冷凝，得到的氣液混合物送入一級(jí)分離器，一級(jí)分離器底部得到的液體主要成分為氮，將該股液氮降壓至100kpa通入二級(jí)分離器中，二級(jí)分離器底部液氮排放至第一真空絕熱容器中，二級(jí)分離器頂部氣體送入原料緩存增壓?jiǎn)卧蛪壕彌_罐重復(fù)利用，一級(jí)分離器頂部得到的不凝氣體成分為氖、氦與低于2%的少量氮，將該不凝氣通入下一工序單元繼續(xù)凈化；

步驟c，來(lái)自冷凝除氮單元一級(jí)分離器頂部的含氖、氦組分和少量氮的不凝氣通入到所述第一除氮吸附器底部，在第一除氮吸附器頂部得到的低溫純氖、氦、氫混合氣通入冷凝分離除氮單元的第一換熱器下端，第一換熱器上端得到的常溫純氖、氦、氫混合氣290k通入氖凈化單元循環(huán)膜壓機(jī)入口；

步驟d，來(lái)自冷凝分離除氮單元的第一換熱器上端的常溫純氖、氦、氫混合氣通入循環(huán)膜壓機(jī)入口，同時(shí)循環(huán)膜壓機(jī)入口還有除氫塔頂部氣體并聯(lián)，循環(huán)膜壓機(jī)的出口氣體壓力為18.0mpa—20.0mpa，通過(guò)管路依次通過(guò)第二換熱器、液氮冷卻器和第三換熱器冷卻得到45k左右的低溫氣液混合物，將上述混合物降壓至3.0mpa后通入除氦塔，除氦塔頂部得到的含氦、氫和少量氖的混合氣體依次通入第三換熱器和第二換熱器升溫至300k后排放，將除氦塔底部得到僅含氖和氫的液體通入液氖冷卻器冷卻到25k左右的后降壓至50kpa—80kpa通入除氫塔，除氫塔頂部得到的含氫和氖的混合氣依次通過(guò)連接管路通入第三換熱器和第二換熱器升溫至300k后通入循環(huán)膜壓機(jī)入口，除氫塔底部得到的含氖量高于99.999%的純氖液體通過(guò)管路依次通入液氖冷卻器、第三換熱器和第二換熱器，氣化升溫至300k后通入純氖膜壓機(jī)入口，純氖膜壓機(jī)出口得到15.0mpa—20.0mpa的純氖氣產(chǎn)品。

本發(fā)明的有益效果是：

首先，本方法能通過(guò)全低溫的方法得到純氖氣，氖氣純度達(dá)到99.999%，具有低溫方法的一切優(yōu)點(diǎn)。其次，本方法工藝路線短，設(shè)備簡(jiǎn)單，提取率高，操作簡(jiǎn)單，安全性高，適合于工業(yè)生產(chǎn)的需求。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明所述的系統(tǒng)組成及工藝流程示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將通過(guò)實(shí)施例及附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。圖1所示，本發(fā)明所述的一種純氖氣的低溫分離提取系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括通過(guò)管道依次連接的原料緩存增壓?jiǎn)卧?、冷凝分離除氮單元、吸附除氮單元和氖凈化單元，其中：

所述的原料緩存增壓?jiǎn)卧ㄍㄟ^(guò)管道依次連通的低壓緩沖罐11、原料壓縮機(jī)12和中壓緩沖罐13；

所述的冷凝分離除氮單元包括通過(guò)管道依次連通的一級(jí)分離器21和二級(jí)分離器22，所述一級(jí)分離器21與混合物緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐13之間還設(shè)有第一換熱器23，且所述第一換熱器23、一級(jí)分離器21和二級(jí)分離器22均放置于第一真空絕熱容器24中；

所述的吸附除氮單元包括并聯(lián)連通的第一除氮吸附器31和第二除氮吸附器32，且所述第一除氮吸附器31和第二除氮吸附器32分別放置于第二真空絕熱容器33和第三真空絕熱容器34中；

所述的氖凈化單元包括通過(guò)管路依次連接的循環(huán)膜壓機(jī)41、液氮冷卻器42和除氦塔43，所述循環(huán)膜壓機(jī)41和液氮冷卻器42之間還設(shè)有第二換熱器44，所述液氮冷卻器42和除氦塔43之間還設(shè)有第三換熱器45，所述除氦塔43底部還通過(guò)管路與液氖冷卻器46和除氫塔47相連，所述除氫塔47底部還通過(guò)管路依次與液氖冷卻器46和純氖膜壓機(jī)48相連，且所述第二換熱器44、液氮冷卻器42、第三換熱器45、除氦塔43、液氖冷卻器46和除氫塔47均放置于高真空絕熱容器49中。

本發(fā)明所述原料緩存增壓?jiǎn)卧械牡蛪壕彌_罐11還通過(guò)管路與冷凝分離除氮單元中的二級(jí)分離器22頂部相連；

所述冷凝分離除氮單元中的一級(jí)分離器21頂部還通過(guò)管路與吸附除氮單元中的第一除氮吸附器31底部和第二除氮吸附器32底部并聯(lián)連接，二級(jí)分離器22底部還通過(guò)管路與第一真空絕熱容器24內(nèi)腔連通，第一真空絕熱容器24還連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，所述第一換熱器23還通過(guò)管路與真空泵25相連。

本發(fā)明所述吸附除氮單元中的第一除氮吸附器31頂部和第二除氮吸附器32頂部通過(guò)管路并聯(lián)連接同時(shí)與冷凝分離除氮單元中的第一換熱器23下端連接，第二真空絕熱容器33和第三真空絕熱容器34分別與高溫氮?dú)夤苈废噙B并且分別連通氮?dú)馀欧殴埽诙婵战^熱容器33和第三真空絕熱容器34還分別連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，第二真空絕熱容器33和第三真空絕熱容器34還通過(guò)管道分別連通真空泵35和真空泵36。

本發(fā)明所述冷凝分離除氮單元中的第一換熱器23上端與氖凈化單元中的循環(huán)膜壓機(jī)41入口通過(guò)管路相連，且所述循環(huán)膜壓機(jī)41入口處還連有除氫塔47頂部出口管路，所述除氦塔43頂部出口還通過(guò)管路與大氣連接，液氮管路還連接液氮冷卻器42入口，所述液氮冷卻器42出口通過(guò)管路與大氣連接，高真空絕熱容器49還通過(guò)管路連接真空泵50。

一種利用所述低溫分離提取系統(tǒng)進(jìn)行純氖氣的提取方法，所述的提取方法包括如下步驟：

a、原料氣緩存：原料壓縮機(jī)12將空分裝置中的原料氣及冷凝分離除氮單元返回的氣體壓縮到中壓緩沖罐13中儲(chǔ)存，中壓緩沖罐13中的壓力為4.0mpa；

b、冷凝分離除氮：將步驟a中壓原料氣進(jìn)行降溫冷凝，經(jīng)過(guò)一級(jí)分離器21和二級(jí)分離器22分離得到含少量氮的氖、氦、氫不凝氣；

c、吸附除氮：將步驟b中得到的含少量氮的氖、氦、氫不凝氣經(jīng)過(guò)第一除氮吸附器31和第二除氮吸附器32進(jìn)行低溫吸附處理，去除其中的氮和微量氧氬等雜質(zhì)，得到純氖、氦、氫混合氣；

d、氖凈化：將步驟c中得到的純氖、氦、氫混合氣冷卻至45k左右經(jīng)過(guò)除氦塔43進(jìn)行精餾分離處理，得到純氖、氫混合液體，再將純氖氫混合液體進(jìn)一步冷卻至25k左右經(jīng)過(guò)除氫塔47進(jìn)行精餾分離處理，得到純氖氣。

本發(fā)明所述的步驟中：

步驟a，來(lái)自空分裝置的氖、氦、氮、氫混合氣經(jīng)過(guò)減壓后，以10kpa—50kpa的壓力混合氣儲(chǔ)存于低壓緩沖罐11中，低壓緩沖罐11同時(shí)還接收來(lái)自冷凝分離除氮單元中二級(jí)分離器22頂部分離出來(lái)的氣體，這兩部分氣體混合后經(jīng)過(guò)原料壓縮機(jī)12壓縮到4.0mpa后進(jìn)入到中壓緩沖罐13以供后續(xù)單元連續(xù)運(yùn)行使用；

步驟b，來(lái)自原料緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐13中的帶壓原料氣進(jìn)入第一換熱器23冷凝，得到的氣液混合物送入一級(jí)分離器21，一級(jí)分離器21底部得到的液體主要成分為氮，將該股液氮降壓至100kpa（g）通入二級(jí)分離器22中，二級(jí)分離器22底部液氮排放至第一真空絕熱容器24中，二級(jí)分離器22頂部氣體送入原料緩存增壓?jiǎn)卧蛪壕彌_罐11重復(fù)利用，一級(jí)分離器21頂部得到的不凝氣體成分為氖、氦與低于2%的少量氮，將該不凝氣通入下一工序單元繼續(xù)凈化；

步驟c，來(lái)自冷凝除氮單元一級(jí)分離器21頂部的含氖、氦組分和少量氮的不凝氣通入到所述第一除氮吸附器31底部，在第一除氮吸附器31頂部得到的低溫純氖、氦、氫混合氣通入冷凝分離除氮單元的第一換熱器23下端，第一換熱器23上端得到的常溫純氖、氦、氫混合氣290k通入氖凈化單元循環(huán)膜壓機(jī)12入口；

步驟d，來(lái)自冷凝分離除氮單元的第一換熱器23上端的常溫純氖、氦、氫混合氣通入循環(huán)膜壓機(jī)41入口，同時(shí)循環(huán)膜壓機(jī)41入口還有除氫塔47頂部氣體并聯(lián)，循環(huán)膜壓機(jī)41的出口氣體壓力為18.0mpa（g）—20.0mpa（g），通過(guò)管路依次通過(guò)第二換熱器44、液氮冷卻器42和第三換熱器45冷卻得到45k左右的低溫氣液混合物，將上述混合物降壓至3.0mpa（g）后通入除氦塔43，除氦塔43頂部得到的含氦、氫和少量氖的混合氣體依次通入第三換熱器45和第二換熱器44升溫至300k后排放，將除氦塔43底部得到僅含氖和氫的液體通入液氖冷卻器46冷卻到25k左右的后降壓至50kpa（g）—80kpa（g）通入除氫塔47，除氫塔47頂部得到的含氫和氖的混合氣依次通過(guò)連接管路通入第三換熱器45和第二換熱器44升溫至300k后通入循環(huán)膜壓機(jī)41入口，除氫塔47底部得到的含氖量高于99.999%的純氖液體通過(guò)管路依次通入液氖冷卻器46、第三換熱器45和第二換熱器44，氣化升溫至300k后通入純氖膜壓機(jī)48入口，純氖膜壓機(jī)48出口得到15.0mpa（g）—20.0mpa（g）的純氖氣產(chǎn)品。

實(shí)施例：

本發(fā)明所述的純氖氣的低溫分離提取系統(tǒng)，它包括通過(guò)管道依次連接的原料緩存增壓?jiǎn)卧?、冷凝分離除氮單元、吸附除氮單元、氖凈化單元。

如圖1所示，原料緩存增壓?jiǎn)卧ㄍㄟ^(guò)管道依次連通的低壓緩沖罐11、原料壓縮機(jī)12和中壓緩沖罐13。

來(lái)自空分裝置的氖、氦、氮、氫的混合氣經(jīng)過(guò)減壓后（10kpa（g）~50kpa（g））儲(chǔ)存于低壓緩沖罐11中，低壓緩沖罐11同時(shí)還接收來(lái)自冷凝分離除氮單元中二級(jí)分離器22頂部分離出來(lái)的氣體，這兩部分氣體混合后經(jīng)過(guò)原料壓縮機(jī)12壓縮到4.0mpa（g）后進(jìn)入到中壓緩沖罐13以供后續(xù)單元連續(xù)運(yùn)行使用。

圖中所示，冷凝分離除氮單元包括通過(guò)管道依次連通的一級(jí)分離器21和二級(jí)分離器22，所述一級(jí)分離器與混合物緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐13之間還設(shè)有第一換熱器23，且所述第一換熱器23、一級(jí)分離器21和二級(jí)分離器22均放置于第一真空絕熱容器24中。

來(lái)自原料緩存增壓?jiǎn)卧袎壕彌_罐13中的帶壓原料氣進(jìn)入第一換熱器23冷凝，得到的氣液混合物送入一級(jí)分離器21，一級(jí)分離器21底部得到的液體主要成分為氮，將該股液氮降壓后100kpa（g）通入二級(jí)分離器22中，二級(jí)分離器22底部液氮排放至第一真空絕熱容器24中，二級(jí)分離器22頂部氣體送入原料緩存增壓?jiǎn)卧蛪壕彌_罐11重復(fù)利用，一級(jí)分離器21頂部得到的不凝氣體成分為氖、氦與少量氮（低于2%），將該不凝氣通入下一工序單元繼續(xù)凈化。第一真空絕熱容器24還連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，冷凝分離除氮單元中第一換熱器23下端連通第一真空絕熱容器24氣相空間，上端通過(guò)管路連通真空泵25，第一真空絕熱容器24內(nèi)腔在真空泵25的作用下保持壓力為15kpa（a）~20kpa（a）。

本發(fā)明所述的吸附除氮單元包括并聯(lián)連通的第一除氮吸附器31和第二除氮吸附器32，且所述第一除氮吸附器31和第二除氮吸附器32分別放置于第二真空絕熱容器33和第三真空絕熱容器34中。

來(lái)自冷凝除氮單元一級(jí)分離器21頂部的含氖、氦組分和少量氮的不凝氣通入到所述第一除氮吸附器31底部，在第一除氮吸附器31頂部得到的低溫純氖、氦、氫混合氣通入冷凝分離除氮單元第一換熱器23下端，第一換熱器23上端得到的常溫純氖、氦、氫混合氣（290k）通入氖凈化單元循環(huán)膜壓機(jī)41入口。第二真空絕熱容器33還通過(guò)管道連通真空泵35，第二真空絕熱容器33內(nèi)腔在真空泵35的作用下保持壓力為15kpa（a）~20kpa（a）。同時(shí)第二真空絕熱容器33還連通來(lái)自液氮罐的液氮管路，連續(xù)注入液氮保持吸附作用時(shí)第二真空絕熱容器33內(nèi)腔溫度65k~70k。第二真空絕熱容器33還連通來(lái)自加熱器高溫氮?dú)夤苈?，脫附作用時(shí)，向第二真空絕熱容器33內(nèi)腔通入高溫氮?dú)獠⒂蛇B接管路排空使得內(nèi)腔溫度達(dá)到320k，所述第一除氮吸附器31內(nèi)脫附作用得到的氮?dú)庥扇肟诠苈放欧趴卺尫?。第一除氮吸附?1和第二除氮吸附器32吸附作用與脫附作用交替進(jìn)行，下述實(shí)施過(guò)程僅對(duì)第一除氮吸附器31的吸附作用和脫附作用過(guò)程進(jìn)行詳述，第二除氮吸附器32同時(shí)進(jìn)行脫附作用和吸附作用過(guò)程，通過(guò)吸附除氮單元內(nèi)閥門(mén)可控制，此為本技術(shù)領(lǐng)域人員所公知，不再贅述。

圖中所示，氖凈化單元包括通過(guò)管路依次連接的循環(huán)膜壓機(jī)41、液氮冷卻器42和除氦塔43，所述循環(huán)膜壓機(jī)41和液氮冷卻器42之間還設(shè)有第二換熱器44，所述液氮冷卻器42和除氦塔43之間還設(shè)有第三換熱器45，所述除氦塔43底部還通過(guò)管路與液氖冷卻器46和除氫塔47相連，所述除氫塔47底部還通過(guò)管路依次與液氖冷卻器46和純氖膜壓機(jī)48相連，且所述第二換熱器44、液氮冷卻器42、第三換熱器45、除氦塔43、液氖冷卻器46和除氫塔47均放置于高真空絕熱容器49中。

來(lái)自冷凝分離除氮單元第一換熱器23上端的常溫純氖、氦、氫混合氣通入循環(huán)膜壓機(jī)41入口，同時(shí)循環(huán)膜壓機(jī)41入口還有除氫塔47頂部氣體并聯(lián)，循環(huán)膜壓機(jī)41出口氣體（18.0mpa（g）~20.0mpa（g））通過(guò)管路依次通過(guò)第二換熱器44、液氮冷卻器42和第三換熱器45冷卻得到45k左右的低溫氣液混合物，將上述混合物降壓后（3.0mpa（g））通入除氦塔43，除氦塔43頂部得到的含氦、氫和少量氖的混合氣體依次通入第三換熱器45和第二換熱器44升溫至300k后排放，將除氦塔43底部得到僅含氖和氫的液體通入液氖冷卻器46冷卻到25k左右的后降壓至50kpa（g）~80kpa（g）通入除氫塔47，除氫塔47頂部得到的含氫和氖的混合氣依次通過(guò)連接管路通入第三換熱器45和第二換熱器44升溫至300k后通入循環(huán)膜壓機(jī)41入口，除氫塔47底部得到的純氖（含氖量高于99.999%）液體通過(guò)管路依次通入液氖冷卻器46、第三換熱器45和第二換熱器44氣化升溫至300k后通入純氖膜壓機(jī)41入口，純氖膜壓機(jī)41出口能得到15.0mpa（g）~20.0mpa（g）的純氖氣產(chǎn)品。液氮管路還連接所述液氮冷卻器42入口，所述液氮冷卻器42出口通過(guò)管路與大氣連接。所述高真空絕熱容器49還通過(guò)管路連接真空泵50，高真空絕熱容器49內(nèi)腔在真空泵50的作用下保持壓力不高于1×10^-4pa（a）。

所述除氦塔43和除氫塔47的結(jié)構(gòu)與化工設(shè)備的精餾塔結(jié)構(gòu)相同；精餾元件采用填料+分布器的結(jié)構(gòu)；所述除氦塔43和除氫塔47底部采用電加熱器的結(jié)構(gòu)；上述設(shè)備以及元件、部件可全部外購(gòu)或自制。

所述第一換熱器23、第二換熱器44和第三換熱器45可根據(jù)傳熱溫差的需要，采用板翅式換熱器或管式換熱器結(jié)構(gòu)；也可外購(gòu)或自制。

以上所述的所有管路均分別安裝有調(diào)節(jié)管路內(nèi)介質(zhì)壓力的控制閥門(mén)（常規(guī)結(jié)構(gòu)閥門(mén)，可外購(gòu)獲得）。