本技術涉及半導體加工，具體涉及一種半導體加工冷卻裝置。

背景技術：

1、半導體是一種電導率在絕緣體至導體之間的物質(zhì)，其電導率容易受控制，晶圓半導體生產(chǎn)的過程中常常需要對高溫加熱后的晶圓進行退火冷卻，但是現(xiàn)在的冷卻裝置一般是通過水冷方式進行操作，在對半導體進行冷卻時需要使半導體與冷水接觸將半導體本體的熱量傳導到水中，從而降低本身的熱量，但是半導體會浮在水中，從而導致冷卻的效果不好。

2、經(jīng)檢索，公開號為：cn214701445u的一種半導體生產(chǎn)加工用冷卻裝置，包括冷卻箱，冷卻箱內(nèi)壁的兩側(cè)均固定連接有兩個u型板，四個u型板之間滑動連接有承載板，四個u型板之間活動卡接有擋板，承載板頂端的兩側(cè)均固定連接有兩個套環(huán)，四個套環(huán)的外壁均固定連接有連接繩，承載板頂端的兩側(cè)對稱固定連接有豎板，豎板的頂端固定連接有提手，位于同一側(cè)的兩個連接繩的一端分別與對應的豎板的兩側(cè)固定連接，冷卻箱一側(cè)的頂部固定穿插連接有防護罩，冷卻箱另一側(cè)的頂部固定穿插連接有冷水管。

3、針對上述技術方案，存在如下不足：

4、第一，上述技術方案中的傳送帶穿設在防護罩的內(nèi)部，在長時間使用老化磨損后不便于對其進行更換，從而影響整個裝置的正常使用；

5、第二，上述技術方案中使用的水無法循環(huán)使用，容易造成水資源的浪費。

技術實現(xiàn)思路

1、鑒于上述現(xiàn)有半導體加工冷卻裝置存在的問題，提出了本實用新型。

2、因此，本實用新型目的是提供一種半導體加工冷卻裝置，解決了皮帶老化磨損后影響整個裝置的正常使用以及造成了水資源的浪費的問題。

3、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

4、一種半導體加工冷卻裝置，包括冷卻箱和水箱，所述冷卻箱的底部固定套設有出水斗，所述出水斗的底部與水箱之間共同固定套設有第一導管，所述冷卻箱的頂部鉸接設置有第一箱蓋，所述第一箱蓋的內(nèi)壁對稱固定設置有兩個l形桿且通過兩個l形桿固定連接有空心塊，所述空心塊的內(nèi)部轉(zhuǎn)動套設有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿的下端固定連接有扇葉，所述第一箱蓋的頂部開設有出風口，所述冷卻箱的側(cè)壁對稱開設有兩個進風口；

5、所述水箱的頂部設置有第二箱蓋，所述第二箱蓋的上表面固定設置有水泵，所述水泵的兩端分別固定連接有第二導管和第三導管，所述第二導管的另一端貫穿第二箱蓋并延伸至水箱的內(nèi)部，所述第三導管的另一端固定套接有三通管，所述三通管的另外兩個端口分別連接有第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構，所述冷卻箱的內(nèi)部轉(zhuǎn)動設置有攪拌桿，所述第一驅(qū)動機構與轉(zhuǎn)桿傳動連接，所述第二驅(qū)動機構與攪拌桿傳動連接。

6、優(yōu)選的，所述第一驅(qū)動機構包括第四導管和第一葉輪，所述第四導管與第一箱蓋固定套接，所述第四導管的一端與三通管的其中一個端口固定套接，所述第四導管的另一端貫穿至空心塊的內(nèi)部并與空心塊固定套接，所述第一葉輪轉(zhuǎn)動設置于空心塊的內(nèi)部且與轉(zhuǎn)桿的桿壁固定套接，所述空心塊遠離第四導管的一側(cè)固定套設有第五導管。

7、優(yōu)選的，所述第二驅(qū)動機構包括第六導管和第二葉輪，所述攪拌桿的一端桿壁轉(zhuǎn)動套接有盒體，所述盒體的一側(cè)開設有開口，所述盒體開設有開口的一側(cè)與冷卻箱的內(nèi)壁固定連接，所述第二葉輪轉(zhuǎn)動設置于盒體的內(nèi)部并與攪拌桿的桿壁固定套接，所述第六導管與冷卻箱固定套接，所述第六導管的一端與三通管的其中一個端口固定套接，所述第六導管的另一端貫穿至盒體的內(nèi)部并與盒體固定套接，所述盒體的底部固定套設有單向閥。

8、優(yōu)選的，所述水箱的內(nèi)部對稱固定設置有兩個固定桿，兩個所述固定桿之間固定連接有環(huán)形板，所述環(huán)形板的內(nèi)部活動穿設有套管，所述套管的管壁開設有多個條形口，并設置有紗布，所述套管的頂部固定連接有圓盤，所述圓盤與環(huán)形板之間通過螺栓固定連接，所述第二導管活動穿設于套管的內(nèi)部。

9、優(yōu)選的，所述第一導管的管壁固定設置有電磁閥。

10、優(yōu)選的，所述攪拌桿的桿壁對稱固定設置有多個攪拌葉。

11、優(yōu)選的，所述出風口和兩個進風口的內(nèi)部均設置有過濾網(wǎng)。

12、優(yōu)選的，所述套管的底部固定設置有第一密封圈，所述第一密封圈與水箱的底部內(nèi)壁接觸連接。

13、優(yōu)選的，所述圓盤的底部固定設置有第二密封圈，所述第二密封圈與環(huán)形板的上表面接觸連接。

14、在上述技術方案中，本實用新型提供的技術效果和優(yōu)點：

15、本實用新型，通過設置的扇葉，能夠轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動的過程中驅(qū)動扇葉旋轉(zhuǎn)，從而能夠通過兩個進風口和出風口加速冷卻箱內(nèi)部的空氣流動，達到輔助冷卻的效果，通過設置的第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構，能夠在水泵工作的過程中驅(qū)動轉(zhuǎn)桿和攪拌桿同步工作，實現(xiàn)了雙重冷卻，同時，通過設置的水泵，能夠?qū)鋮s用水進行循環(huán)使用，有效避免了水資源的浪費。

技術特征：

1.一種半導體加工冷卻裝置，包括冷卻箱(1)和水箱(2)，其特征在于，所述冷卻箱(1)的底部固定套設有出水斗(3)，所述出水斗(3)的底部與水箱(2)之間共同固定套設有第一導管(4)，所述冷卻箱(1)的頂部鉸接設置有第一箱蓋(5)，所述第一箱蓋(5)的內(nèi)壁對稱固定設置有兩個l形桿(6)且通過兩個l形桿(6)固定連接有空心塊(7)，所述空心塊(7)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動套設有轉(zhuǎn)桿(8)，所述轉(zhuǎn)桿(8)的下端固定連接有扇葉(9)，所述第一箱蓋(5)的頂部開設有出風口，所述冷卻箱(1)的側(cè)壁對稱開設有兩個進風口；

2.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動機構包括第四導管(16)和第一葉輪(17)，所述第四導管(16)與第一箱蓋(5)固定套接，所述第四導管(16)的一端與三通管(14)的其中一個端口固定套接，所述第四導管(16)的另一端貫穿至空心塊(7)的內(nèi)部并與空心塊(7)固定套接，所述第一葉輪(17)轉(zhuǎn)動設置于空心塊(7)的內(nèi)部且與轉(zhuǎn)桿(8)的桿壁固定套接，所述空心塊(7)遠離第四導管(16)的一側(cè)固定套設有第五導管(18)。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動機構包括第六導管(19)和第二葉輪(20)，所述攪拌桿(15)的一端桿壁轉(zhuǎn)動套接有盒體(21)，所述盒體(21)的一側(cè)開設有開口，所述盒體(21)開設有開口的一側(cè)與冷卻箱(1)的內(nèi)壁固定連接，所述第二葉輪(20)轉(zhuǎn)動設置于盒體(21)的內(nèi)部并與攪拌桿(15)的桿壁固定套接，所述第六導管(19)與冷卻箱(1)固定套接，所述第六導管(19)的一端與三通管(14)的其中一個端口固定套接，所述第六導管(19)的另一端貫穿至盒體(21)的內(nèi)部并與盒體(21)固定套接，所述盒體(21)的底部固定套設有單向閥(32)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述水箱(2)的內(nèi)部對稱固定設置有兩個固定桿(22)，兩個所述固定桿(22)之間固定連接有環(huán)形板(23)，所述環(huán)形板(23)的內(nèi)部活動穿設有套管(24)，所述套管(24)的管壁開設有多個條形口，并設置有紗布(25)，所述套管(24)的頂部固定連接有圓盤(31)，所述圓盤(31)與環(huán)形板(23)之間通過螺栓固定連接，所述第二導管(12)活動穿設于套管(24)的內(nèi)部。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述第一導管(4)的管壁固定設置有電磁閥(26)。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述攪拌桿(15)的桿壁對稱固定設置有多個攪拌葉(27)。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述出風口和兩個進風口的內(nèi)部均設置有過濾網(wǎng)(28)。

8.根據(jù)權利要求4所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述套管(24)的底部固定設置有第一密封圈(29)，所述第一密封圈(29)與水箱(2)的底部內(nèi)壁接觸連接。

9.根據(jù)權利要求4所述的一種半導體加工冷卻裝置，其特征在于，所述圓盤(31)的底部固定設置有第二密封圈(30)，所述第二密封圈(30)與環(huán)形板(23)的上表面接觸連接。

技術總結
本技術公開了一種半導體加工冷卻裝置，涉及半導體加工技術領域，包括冷卻箱和水箱，所述冷卻箱的底部固定套設有出水斗，所述出水斗的底部與水箱之間共同固定套設有第一導管，所述冷卻箱的頂部鉸接設置有第一箱蓋，所述第一箱蓋的內(nèi)壁對稱固定設置有兩個L形桿且通過兩個L形桿固定連接有空心塊。本技術通過設置的扇葉，能夠轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動的過程中驅(qū)動扇葉旋轉(zhuǎn)，從而能夠通過兩個進風口和出風口加速冷卻箱內(nèi)部的空氣流動，達到輔助冷卻的效果，通過設置的第一驅(qū)動機構和第二驅(qū)動機構，能夠在水泵工作的過程中驅(qū)動轉(zhuǎn)桿和攪拌桿同步工作，實現(xiàn)了雙重冷卻，同時，通過設置的水泵，能夠?qū)鋮s用水進行循環(huán)使用，有效避免了水資源的浪費。

技術研發(fā)人員：金恩澤,繆新海,李承浩,吳耀輝,尹鍾晚
受保護的技術使用者：愛特微（張家港）半導體技術有限公司
技術研發(fā)日：20231212
技術公布日：2025/1/2