廢剝離液回收裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及針對(duì)液晶面板光刻膠進(jìn)行剝離清洗產(chǎn)生的一種廢剝離液回收裝置。該裝置包括從廢剝離液中分離除去其中的水分等輕組分雜質(zhì)的脫輕精餾塔、從廢剝離液中分離除去其中的光刻膠等重組分雜質(zhì)的薄膜蒸發(fā)器，以及精制回收剝離液的精制精餾塔。所述脫輕精餾塔的重相出料管線與所述薄膜蒸發(fā)器的進(jìn)料管線相連，所述薄膜蒸發(fā)器的輕相出料管線與所述精制精餾塔的進(jìn)料管線相連，所述精制精餾塔的重相出料管線與所述薄膜蒸發(fā)器的進(jìn)料管線相連。本實(shí)用新型可達(dá)到節(jié)省設(shè)備投資以及降低實(shí)際運(yùn)行成本的有益效果。
【專利說(shuō)明】廢剝離液回收裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】 [0001] 本實(shí)用新型涉及廢液處理裝置，特別是涉及回收液晶面板光刻膠廢剝 離液的裝置。

【背景技術(shù)】 [0002] 薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-IXD)生產(chǎn)過(guò)程中，在玻璃基板表面有清 洗、鍍膜、光刻、刻蝕、剝離等工序。其中光刻工序利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖 形結(jié)構(gòu)，然后通過(guò)刻蝕工藝將光掩模上的圖形完整且精確地復(fù)制到玻璃基板上。光刻膠主 要由對(duì)光與能量非常敏感的感光樹脂和有機(jī)溶劑組成。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很 快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化， 再經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚?，去除可溶性部分，從而可以得到所需圖像。在剝離工序中，對(duì)已經(jīng)蝕 刻出所需圖形的基板，利用剝離液溶劑將覆蓋于圖形上的光刻膠剝離去除以便進(jìn)行后續(xù)工 序，這個(gè)剝離過(guò)程產(chǎn)生的廢液即為廢剝離液。
[0003] 廢剝離液的成分可分為三大類物質(zhì)：①可回收利用的剝離液溶劑；②水及其它輕 組分雜質(zhì)；③光刻膠及其它重組分雜質(zhì)。廢剝離液一般需要采用精餾的方法進(jìn)行回收，為避 免高溫加熱導(dǎo)致熱敏性剝離液溶劑分解，精餾操作需要在真空條件下進(jìn)行，以降低精餾過(guò) 程的溶劑沸點(diǎn)。但是由于含有光刻膠和其它高沸點(diǎn)物質(zhì)，即使在很高的真空下精餾塔釜溫 度還是很容易超過(guò)熱敏臨界溫度，因此僅僅提高系統(tǒng)的真空度還不夠，還需要采用薄膜蒸 發(fā)去除光刻膠及部分高沸點(diǎn)雜質(zhì)，從而在精餾過(guò)程中降低精餾塔釜的溫度，減少或避免剝 離液的分解，最終達(dá)到盡可能提高剝離液回收率的目的。
[0004] 現(xiàn)有回收剝離液的裝置如圖1所示，由依次連接的薄膜蒸發(fā)器、脫輕精餾塔和精 制精餾塔組成，薄膜蒸發(fā)器的輕相出料管線與脫輕精餾塔的進(jìn)料管線連接，脫輕精餾塔的 重相出料管線與精制精餾塔的進(jìn)料管線連接，精制精餾塔的重相出料管線與薄膜蒸發(fā)器的 進(jìn)料管線連接。該裝置的不足之處在于，廢剝離液首先進(jìn)入起脫重作用的薄膜蒸發(fā)器，在熱 敏溫度限制下，薄膜蒸發(fā)器絕對(duì)壓力要達(dá)到IkPa以下才能將剝離液有效溶劑成分蒸出進(jìn) 行分離回收，IkPa時(shí)水的沸點(diǎn)約為TC，這個(gè)壓力下薄膜蒸發(fā)器蒸出的輕相蒸氣需要用0°C 以下的循環(huán)冷卻液才能將其冷凝下來(lái)，而要提供〇°C以下的循環(huán)冷卻液則需要有相應(yīng)的制 冷設(shè)備，否則輕相蒸氣中的部分水分和部分輕組分有機(jī)溶劑雜質(zhì)不能被完全冷凝，而進(jìn)入 真空機(jī)組，造成真空機(jī)組故障率升高，并最終從真空機(jī)組排氣口進(jìn)入尾氣處理裝置，加重尾 氣處理裝置負(fù)擔(dān)，甚至對(duì)環(huán)境空氣造成污染。
[0005] 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于避免現(xiàn)有技術(shù)中薄膜蒸發(fā)器蒸 出的輕相蒸氣不能被完全冷凝、需要增加相應(yīng)制冷設(shè)備而提出一種廢剝離液回收裝置。
[0006] 本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：
[0007] 本實(shí)用新型的廢剝離液回收裝置，包括從廢剝離液中分離除去其中輕組分雜質(zhì)的 脫輕精餾塔、從廢剝離液中分離除去其中重組分雜質(zhì)的薄膜蒸發(fā)器，以及精制回收剝離液 的精制精餾塔，其特征在于所述脫輕精餾塔與薄膜蒸發(fā)器和精制精餾塔依次相連。所述脫 輕精餾塔的重相出料管線與所述薄膜蒸發(fā)器的進(jìn)料管線相連，所述薄膜蒸發(fā)器的輕相出料 管線與所述精制精餾塔的進(jìn)料管線相連，所述精制精餾塔的重相出料管線與所述薄膜蒸發(fā) 器的進(jìn)料管線相連。
[0008] 進(jìn)一步地，所述薄膜蒸發(fā)器優(yōu)選為刮膜蒸發(fā)器。
[0009] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：
[0010] 1.廢剝離液首先進(jìn)入脫輕精餾塔，該塔任務(wù)在于脫除水分等輕組分雜質(zhì)，因此脫 輕精餾塔的塔頂壓力只需要控制在6~10kPa之間(若低于6kPa則塔頂蒸出的輕相蒸氣靠常 規(guī)冷卻冷凝可能不完全；若超過(guò)IOkPa則塔釜溫度可能超過(guò)熱敏臨界溫度)，此壓力下水及 其它輕組分雜質(zhì)的最低沸點(diǎn)在36~46°C之間，可以用25~30°C的循環(huán)冷卻水進(jìn)行常規(guī)冷卻， 無(wú)須配置制冷設(shè)備，也不會(huì)增加尾氣處理負(fù)荷。
[0011] 2.經(jīng)脫輕精餾塔脫除水分等輕組分雜質(zhì)后的廢剝離液進(jìn)入薄膜蒸發(fā)器進(jìn)行脫重 處理，由于低沸點(diǎn)雜質(zhì)已被除去，因此薄膜蒸發(fā)器的壓力在IkPa時(shí)，其蒸發(fā)出來(lái)的輕相蒸 氣溫度在50°C以上，可以用25~30°C的循環(huán)冷卻水進(jìn)行常規(guī)冷卻，無(wú)須配置制冷設(shè)備，也不 會(huì)增加尾氣處理負(fù)荷。
[0012] 因此，本實(shí)用新型既不用配置制冷設(shè)備，節(jié)省了設(shè)備投資，也避免了制冷設(shè)備運(yùn)行 所需的額外能量消耗，以及避免了現(xiàn)有技術(shù)可能對(duì)尾氣處理裝置帶來(lái)的額外負(fù)擔(dān)，從而降 低了運(yùn)行成本，也更符合環(huán)保要求。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013] 圖1是現(xiàn)有工藝裝置圖。
[0014] 圖2是本實(shí)用新型工藝裝置圖。

【具體實(shí)施方式】 [0015] 以下結(jié)合附圖和優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述。
[0016] 如圖2所示，本實(shí)用新型廢剝離液回收裝置，包括從廢剝離液中分離除去其中的 水分等輕組分雜質(zhì)的脫輕精餾塔2、從廢剝離液中分離除去其中的光刻膠等重組分雜質(zhì)的 薄膜蒸發(fā)器1，以及精制回收剝離液的精制精餾塔3,所述薄膜蒸發(fā)器1連接在脫輕精餾塔 2與和精制精餾塔3之間。所述薄膜蒸發(fā)器1可以采用刮膜蒸發(fā)器。
[0017] 所述脫輕精餾塔2的重相出料管線與所述刮膜蒸發(fā)器1的進(jìn)料管線相連，所述刮 膜蒸發(fā)器1的輕相出料管線與所述精制精餾塔3的進(jìn)料管線相連，所述精制精餾塔3的重 相出料管線與所述刮膜蒸發(fā)器1的進(jìn)料管線相連。
[0018] 優(yōu)選實(shí)施例中，廢剝離液首先進(jìn)入脫輕精餾塔2,其塔頂操作壓力在IOkPa,塔頂 溫度46°C，塔釜溫度11(TC，脫輕精餾塔塔釜重相進(jìn)入刮膜蒸發(fā)器1，在壓力lkPa、溫度 120°C下蒸出輕相進(jìn)入精制精餾塔3,其塔頂壓力2kPa，塔頂溫度65°C，塔釜溫度110°C，精 制精餾塔塔頂?shù)玫交厥談冸x液，精制精餾塔塔釜重相含有少量重組分雜質(zhì)和大量剝離液有 效溶劑成分，返回刮膜蒸發(fā)器再次脫除重組分雜質(zhì)后循環(huán)回收剝離液。上述脫輕精餾塔塔 頂輕相、刮膜蒸發(fā)器輕相以及精制精餾塔塔頂輕相均采用25~30°C的循環(huán)冷卻水進(jìn)行冷凝 冷卻，且均能達(dá)到很好的冷卻效果，尾氣排放符合環(huán)保要求。
[0019] 以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選技術(shù)方案對(duì)本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，不能 認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說(shuō)明。對(duì)于本實(shí)用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù) 人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡(jiǎn)單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視 為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種廢剝離液回收裝置，包括從廢剝離液中分離除去其中輕組分雜質(zhì)的脫輕精餾塔 (2)、從廢剝離液中分離除去其中重組分雜質(zhì)的薄膜蒸發(fā)器（1 )，以及回收剝離液的精制精 餾塔（3)，其特征在于：所述薄膜蒸發(fā)器（1)連接在脫輕精餾塔（2)與和精制精餾塔（3)之 間，所述脫輕精餾塔（2)的重相出料管線與所述薄膜蒸發(fā)器（1)的進(jìn)料管線相連，所述薄膜 蒸發(fā)器（1)的輕相出料管線與所述精制精餾塔（3)的進(jìn)料管線相連，所述精制精餾塔（3)的 重相出料管線與所述（1)的進(jìn)料管線相連。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢剝離液回收裝置，其特征在于：所述薄膜蒸發(fā)器（1)為刮膜 蒸發(fā)器。
【文檔編號(hào)】C02F1/04GK204022491SQ201420372336
【公開日】2014年12月17日 申請(qǐng)日期:2014年7月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月8日
【發(fā)明者】張艷華, 邱詩(shī)融, 汪春霞, 謝亨華, 徐文彬, 羅文群 申請(qǐng)人:東江環(huán)保股份有限公司