本發(fā)明涉及液體處理方法、對象物處理方法、液體處理裝置及等離子體處理液。

背景技術(shù)：

以往，已知有利用等離子體進(jìn)行水的凈化和殺菌的殺菌裝置。例如，專利文獻(xiàn)1中公開了通過利用等離子體在水中生成的活性種對微生物和細(xì)菌進(jìn)行殺菌的殺菌裝置。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-255027號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的課題

然而，通過等離子體生成的活性種的壽命短，含有活性種的水的活性會立刻降低。即，通過等離子體生成活性種的水不能維持較高的活性。因此，在以往技術(shù)中，例如在殺菌時(shí)，必須將含有菌的對象物置于通常用高電壓驅(qū)動的等離子體生成裝置的附近。

于是，本發(fā)明提供能夠生成具有高活性、其持續(xù)性優(yōu)異的處理液的液體處理方法、對象物處理方法、液體處理裝置、等離子體處理液。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明的一方式的液體處理方法包括：準(zhǔn)備pH為9以上的液體的步驟、和通過在所述液體的附近或所述液體中產(chǎn)生等離子體而生成pH為9以上的等離子體處理液的步驟。

此外，本發(fā)明的一方式的液體處理裝置具備：用于收納液體的容器，包含電極對和對所述電極對施加電壓的電源、在所述液體的附近或所述液體中產(chǎn)生等離子體的等離子體產(chǎn)生器，以及控制所述等離子體產(chǎn)生器的控制電路；所述控制電路使所述等離子體產(chǎn)生器開始產(chǎn)生所述等離子體，在所述液體的pH的每單位時(shí)間的平均值被包含在9以上的規(guī)定范圍內(nèi)時(shí)，停止產(chǎn)生所述等離子體。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠生成具有高活性、其持續(xù)性優(yōu)異的等離子體處理液。

附圖說明

圖1為表示實(shí)施方式的處理液生成裝置的構(gòu)成例的圖。

圖2為表示實(shí)施方式的處理液生成方法的一例子的流程圖。

圖3為表示實(shí)施方式的準(zhǔn)備第1處理液的步驟的流程圖。

圖4A為表示實(shí)施方式的對象物處理方法的一例子的流程圖。

圖4B為表示實(shí)施方式的對象物處理方法的一例子的流程圖。

圖5為表示實(shí)施例1和3以及比較例4的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果的圖。

圖6為表示實(shí)施例1和3以及比較例4的放置24小時(shí)后的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果的圖。

圖7為表示實(shí)施例2和4以及比較例4的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果的圖。

圖8為表示比較例1的放置規(guī)定期間后的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果的圖。

圖9為表示比較例2、4和5的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果的圖。

圖10為表示實(shí)施方式的變形例的處理液生成裝置的構(gòu)成的圖。

具體實(shí)施方式

(術(shù)語的定義)

“堿性”是指pH(氫離子指數(shù))為9以上，“酸性”是指pH比6低。

“堿性化”是指使pH為9以上，“酸性化”是指使pH比6低。

“等離子體處理”是指使等離子體與液體接觸，或是指使含有通過等離子體產(chǎn)生的活性種的氣體與液體接觸。

“未處理液”是指通過等離子體處理之前的液體。

“等離子體處理液”是指通過等離子體處理之后的液體。等離子體處理液例如可作為用于將對象物分解和/或殺菌的處理液發(fā)揮作用。為了說明簡便，可將pH調(diào)整前的等離子體處理液稱為第1處理液，將pH調(diào)整后的等離子體處理液稱為第2處理液。

“液體處理方法”是指對液體進(jìn)行等離子體處理、和/或使液體的pH變更的方法。通過液體處理方法進(jìn)行處理后的液體被作為用于將對象物分解和/或殺菌的處理液利用時(shí)，該液體處理方法可稱為處理液生成方法。即，“處理液生成方法”為液體處理方法的一例子。同樣地，“處理液生成裝置”為液體處理裝置的一例子。

“對象物”是指通過等離子體處理液進(jìn)行分解和/或殺菌的物質(zhì)。

“準(zhǔn)備液體”不僅包括生成液體，還包括供應(yīng)液體。

“液體的附近”是指在通過等離子體產(chǎn)生的活性種能夠接觸到水的范圍內(nèi)離開液面的區(qū)域。液體的附近例如是指距離液面為2cm以內(nèi)的區(qū)域。

“將A添加到B中”，只要沒有特別說明，則不僅包括通過將A供給到B中進(jìn)行混合的情況，還包括通過將B供給到A中進(jìn)行混合的情況。

(實(shí)施方式的概要)

本發(fā)明的一方式的處理液生成方法通過準(zhǔn)備pH為9以上的液體，在所述液體的附近或所述液體中產(chǎn)生等離子體，生成pH為9以上的處理液。

該方法生成的堿性的處理液具有高活性，其持續(xù)性優(yōu)異。因此，能夠?qū)⒃撎幚硪河糜诶缬袡C(jī)物、微生物或細(xì)菌等對象物的分解和/或消滅。

例如，也可以通過準(zhǔn)備作為通過上述處理液生成方法生成的處理液的第1處理液，并調(diào)整所述第1處理液的pH，從而生成pH比6低的第2處理液。

該方法生成的酸性的第2處理液具有高活性。因此，能夠通過酸性的第2處理液將難以用例如堿性的第1處理液分解和/或殺菌的對象物進(jìn)行分解和/或殺菌。

例如，在所述第1處理液的pH調(diào)整中，可以通過在所述第1處理液中添加(i)酸或鹽、(ii)含有酸或鹽的至少一種的溶液、(iii)溶解后形成酸的氣體或固體、或(iv)含有產(chǎn)生該氣體或該固體的微生物的溶液，生成所述第2處理液。

由此，能夠容易地生成第2處理液。即，作為從第1處理液生成第2處理液時(shí)的材料，可以從多種材料中選擇。因此，在選擇例如廉價(jià)的材料時(shí)，能夠降低成本。

本發(fā)明的一方式的對象物處理方法為包括上述處理液生成方法的對象物處理方法，使生成的處理液與對象物接觸。

生成的處理液能夠?qū)ο笪镉行У胤纸夂?或殺菌。因而，能夠縮短對例如微生物或細(xì)菌等進(jìn)行分解和/或殺菌所需的時(shí)間。

本發(fā)明的一方式的對象物處理方法為包括上述處理液生成方法的對象物處理方法，其中，使所述液體與對象物接觸，通過在使所述液體與所述對象物接觸的狀態(tài)下在所述液體的附近或所述液體中產(chǎn)生等離子體，生成pH為9以上的所述處理液。

由此，能夠一邊生成處理液，一邊使處理液與對象物接觸。因此，能夠?qū)ο笪镉行У胤纸夂?或殺菌。因而，能夠縮短對例如微生物或細(xì)菌等進(jìn)行分解和/或殺菌所需的時(shí)間。

本發(fā)明的一方式的處理液為通過上述處理液生成方法生成的處理液。

該處理液能夠?qū)ο笪镉行У胤纸夂?或殺菌。因而，能夠縮短對例如微生物或細(xì)菌等進(jìn)行分解和/或殺菌所需的時(shí)間。

本發(fā)明的一方式的處理液生成裝置具備：用于收納液體的容器，具有至少一對電極對和對所述電極對施加電壓的電源、在所述容器內(nèi)的液體的附近或液體中產(chǎn)生等離子體的等離子體產(chǎn)生器，以及控制所述等離子體產(chǎn)生器的控制電路，所述控制電路通過所述等離子體產(chǎn)生器開始產(chǎn)生等離子體，在所述容器內(nèi)的液體的pH的每單位時(shí)間的平均值被包含在9以上的規(guī)定范圍內(nèi)時(shí)，停止產(chǎn)生所述等離子體。

等離子體產(chǎn)生后的堿性的處理液由于含有離子、分子、自由基等活性種，具有高活性，其持續(xù)性優(yōu)異。因此，能夠?qū)⒃撎幚硪河糜诶缬袡C(jī)物、微生物或細(xì)菌等對象物的分解和/或殺菌等。

本發(fā)明的一方式的處理液生成裝置可以具備：用于收納液體的容器、將用于調(diào)整所述容器內(nèi)的液體的pH的pH調(diào)整物質(zhì)供給到所述容器內(nèi)的供給部、以及控制所述供給部的控制電路，所述控制電路在將通過在液體的附近或液體中產(chǎn)生等離子體而生成的pH為9以上的第1處理液加入到所述容器中時(shí)，通過使所述供給部供給所述pH調(diào)整物質(zhì)來調(diào)整所述容器內(nèi)的所述第1處理液的pH，生成pH比6低的第2處理液。

生成的酸性的第2處理液由于含有離子、分子、自由基等活性種，具有高活性。因此，能夠?qū)㈦y以用例如堿性的第1處理液進(jìn)行分解和/或殺菌的對象物通過酸性的第2處理液進(jìn)行分解和/或殺菌。

以下，參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行具體地說明。

另外，以下說明的實(shí)施方式均表示總括性的或具體的例子。以下的實(shí)施方式所示的數(shù)值、形狀、材料、構(gòu)成要素、構(gòu)成要素的配置位置及連接方式、步驟、步驟的順序等僅為一例子，其主旨并非限定本發(fā)明。此外，以下的實(shí)施方式中的構(gòu)成要素中，對于表示最上位概念的獨(dú)立權(quán)利要求中未記載的構(gòu)成要素，作為任選的構(gòu)成要素進(jìn)行說明。另外，本實(shí)施方式中，處理液生成方法以處理液生成裝置的動作例進(jìn)行了說明，但處理液生成方法并不限定于特定的裝置構(gòu)成。

(實(shí)施方式)

[1.處理液生成裝置]

使用圖1對實(shí)施方式的處理液生成裝置的概要進(jìn)行說明。圖1表示本實(shí)施方式的處理液生成裝置10的構(gòu)成的一例子。

處理液生成裝置10為通過在堿性的液體的附近或液體中產(chǎn)生等離子體，從而生成堿性的第1處理液的裝置。如圖1所示，處理液生成裝置10具備：容器20、控制電路40、等離子體產(chǎn)生器50、循環(huán)泵80、以及配管81。

處理液生成裝置10也可以進(jìn)一步通過調(diào)整第1處理液的pH，生成酸性的第2處理液。例如，如圖1所示，處理液生成裝置10進(jìn)一步具備將pH調(diào)整物質(zhì)供給到容器20內(nèi)的供給部30。

處理液生成裝置10可以進(jìn)一步使堿性的第1處理液或酸性的第2處理液與對象物接觸。例如，如圖1所示，處理液生成裝置10進(jìn)一步具備使處理液與對象物接觸的接觸部60和閥61。

以下，對本實(shí)施方式的處理液生成裝置10具備的各構(gòu)成要素的例子進(jìn)行詳細(xì)地說明。

[1-1.容器]

容器20為用于收納液體的容器。容器20中設(shè)置有用于供給液體的供給口21和用于排出液體的排出口22。

容器20例如由具有耐酸性或耐堿性的材料形成。例如，容器20由聚氯乙烯、聚四氟乙烯(PFA)等樹脂材料、不銹鋼等金屬材料、或陶瓷等形成。容器20的大小和形狀沒有特別限定。

在容器20中作為未處理液加入pH為9以上的液體90。如圖1所示，容器20與等離子體產(chǎn)生器50連接。等離子體產(chǎn)生器50對液體90進(jìn)行等離子體處理。例如，等離子體產(chǎn)生器50通過在液體90的附近或液體90中產(chǎn)生等離子體，生成pH為9以上的第1處理液。第1處理液儲存在容器20內(nèi)。

液體90例如為磷酸緩沖液等緩沖液、或氫氧化鈉水溶液等。另外，液體90為緩沖液時(shí)，能夠使pH緩慢地變化，能夠容易地調(diào)整至所希望的pH。

[1-2.供給部]

供給部30將用于調(diào)整容器20內(nèi)的液體90的pH的pH調(diào)整物質(zhì)供給到容器20內(nèi)。供給部30例如根據(jù)來自于控制電路40的指示，在規(guī)定的時(shí)刻將規(guī)定量的pH調(diào)整物質(zhì)供給到容器20中。供給部30通過例如將含有酸或鹽的溶液作為pH調(diào)整物質(zhì)添加到堿性的第1處理液中，將該處理液的pH調(diào)整為比6小。

pH調(diào)整物質(zhì)為(i)酸或鹽、(ii)含有酸或鹽的至少一種的溶液、(iii)溶解后形成酸的氣體或固體、或(iv)含有產(chǎn)生該氣體或該固體的微生物的溶液等。例如，pH調(diào)整物質(zhì)為硫酸(H₂SO₄)、硝酸(HNO₃)、或硫酸鋁(Al₂(SO₄)₃)或氯化鎂(MgCl₂)等鹽。另外，這些只不過是一例子，只要是可調(diào)整液體的pH的物質(zhì)，pH調(diào)整物質(zhì)可以為固體、液體、氣體等任意的物質(zhì)?；蛘撸琾H調(diào)整物質(zhì)也可以為產(chǎn)生能調(diào)整pH的物質(zhì)的微生物。

供給部30也可以在等離子體處理期間添加作為用于抑制液體90的pH變得比9小的pH調(diào)整物質(zhì)的含有堿的溶液。此時(shí)，pH調(diào)整物質(zhì)可以為(i)堿、(ii)含有堿的溶液、(iii)溶解后形成堿的氣體或固體、或(iv)含有產(chǎn)生該氣體或該固體的微生物的溶液等。例如，pH調(diào)整物質(zhì)可以為氫氧化鈉(NaOH)水溶液、氨(NH₃)水溶液等。

供給部30例如具備：用于收納pH調(diào)整物質(zhì)的容器；和與該容器連接，用于將pH調(diào)整物質(zhì)供給到容器20中的泵和/或閥。例如，控制電路40通過控制泵，調(diào)整收納有pH調(diào)整物質(zhì)的容器與收納有液體90的容器20之間的壓力差。例如，控制電路40控制閥的開閉動作。

[1-3.控制電路]

控制電路40控制等離子體產(chǎn)生器50。

控制電路40例如控制等離子體產(chǎn)生器50具備的電源51和氣體供給器56?？刂齐娐?0控制電源51在第1電極52與第2電極53之間施加電壓的時(shí)刻及其期間。即，控制電路40控制在液體90中產(chǎn)生等離子體92的時(shí)刻及其期間(即等離子體處理的持續(xù)時(shí)間)。此外，控制電路40例如控制氣體供給器56向液體90中供給氣體的時(shí)刻及氣體的量等。

例如，控制電路40在將堿性的未處理液加入到容器20內(nèi)后，使等離子體產(chǎn)生器50開始產(chǎn)生等離子體92，經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后停止產(chǎn)生等離子體92。例如，控制電路40具有計(jì)測從開始等離子體處理的時(shí)刻起的經(jīng)過時(shí)間的計(jì)時(shí)器?？刂齐娐?0在等離子體處理的持續(xù)時(shí)間達(dá)到規(guī)定的時(shí)間時(shí)，停止產(chǎn)生等離子體。

控制電路40也可以進(jìn)一步控制供給部30。例如，在容器20中加有堿性的第1處理液時(shí)，控制電路40可以使供給部30將pH調(diào)整物質(zhì)供給到容器20內(nèi)，調(diào)整容器20內(nèi)的第1處理液的pH。由此，生成酸性的第2處理液。即，第2處理液是通過調(diào)整堿性的等離子體處理液的pH而生成的酸性的等離子體處理液。第2處理液也可以根據(jù)需要從容器20的排出口22排出到外部，例如用于對象物的分解和/或殺菌等。

控制電路40也可以在使等離子體產(chǎn)生器50產(chǎn)生等離子體時(shí)，使供給部30向容器20內(nèi)供給pH調(diào)整物質(zhì)。例如，在等離子體產(chǎn)生器50內(nèi)的氣體供給器56供給空氣時(shí)，空氣中的氮的一部分被氧化變成硝酸而溶入液體中，可使液體90的pH降低。因此，控制電路40例如通過使作為pH調(diào)整物質(zhì)的含有堿的溶液向容器20內(nèi)供給，能夠抑制液體的pH變得比9小。

或者，控制電路40也可以在使等離子體產(chǎn)生器50停止產(chǎn)生等離子體92之后，使供給部30向容器20內(nèi)供給pH調(diào)整物質(zhì)。由此，在容器20內(nèi)生成堿性的第1處理液。

或者，控制電路40也可以在使等離子體產(chǎn)生器50產(chǎn)生等離子體92的期間，以使容器20內(nèi)的液體90的pH的每單位時(shí)間的平均值變?yōu)?以上的方式，逐步調(diào)整pH。由此，在容器20內(nèi)生成堿性的第1處理液。

控制電路40例如具備存儲有程序的非易失性存儲器和執(zhí)行程序的處理器?？刂齐娐?0也可以進(jìn)一步具備作為用于執(zhí)行程序的臨時(shí)存儲區(qū)域的易失性存儲器、和輸出輸入端口。控制電路40例如為微型計(jì)算機(jī)。

[1-4.等離子體產(chǎn)生器]

等離子體產(chǎn)生器50為在液體90中產(chǎn)生等離子體92的裝置。如圖1所示的等離子體產(chǎn)生器50在液體90中生成的氣泡91內(nèi)產(chǎn)生等離子體92。氣泡91例如由通過氣體供給器56供給的氣體形成。

如圖1所示，等離子體產(chǎn)生器50具備電源51、第1電極52、第2電極53、絕緣體54、保持塊55、氣體供給器56、以及反應(yīng)槽57。以下，對等離子體產(chǎn)生器50具備的各構(gòu)成要素的例子進(jìn)行詳細(xì)地說明。

電源51連接于第1電極52與第2電極53之間。電源51在第1電極52與第2電極53之間施加規(guī)定的電壓。規(guī)定的電壓例如為脈沖電壓或交流電壓。規(guī)定的電壓例如為1kV～50kV、1Hz～100kHz的高電壓脈沖。電壓波形例如為脈沖狀、正弦半波形及正弦波狀中的任意一種。此外，在第1電極52與第2電極53之間流通的電流值例如為1mA～3A。例如，電源51在第1電極52與第2電極53之間施加峰值電壓為4kV、脈沖寬度為1μsec、頻率為30kHz的脈沖電壓。例如，電源51的輸入電力為10W～100W。

第1電極52為電極對中的一者，以貫通反應(yīng)槽57的壁的方式配置，至少一部分與液體90接觸。第1電極52例如為棒狀電極。第1電極52例如由銅、鋁或鐵等導(dǎo)電性的金屬材料形成。

第2電極53為電極對中的另一者，以貫通反應(yīng)槽57的壁的方式配置。第2電極53在沒有從電源51供給電力時(shí)，至少一部分與液體90接觸。第2電極53作為反應(yīng)電極使用。在第1電極52與第2電極53之間施加規(guī)定的電壓時(shí)，在第2電極53的周圍產(chǎn)生等離子體92。等離子體92例如在氣泡91內(nèi)產(chǎn)生。

在圖1所示的例子中，第2電極53具備金屬電極部53a和金屬螺栓部53b。

金屬電極部53a可通過壓入金屬螺栓部53b而一體化地形成。金屬電極部53a以不從絕緣體54的開口突出的方式設(shè)置。金屬電極部53a例如為棒狀電極，由鎢等耐等離子體性的金屬材料形成。另外，雖然耐久性會惡化，但金屬電極部53a也可以由銅、鋁或鐵等形成。

金屬螺栓部53b支撐被壓入的金屬電極部53a。金屬螺栓部53b例如為棒狀部件，由鐵形成。另外，金屬螺栓部53b并不限于鐵，也可以為銅、鋅、鋁、錫或黃銅等。

金屬螺栓部53b具有與設(shè)置于保持塊55上的螺紋部(例如內(nèi)螺紋)螺合的螺紋部(例如外螺紋)。由此，能夠調(diào)整金屬電極部53a和絕緣體54的位置關(guān)系。

金屬螺栓部53b例如設(shè)置有在軸向上貫通的貫通孔(未圖示)。貫通孔的一端與位于金屬電極部53a與絕緣體54之間的空隙連通。貫通孔的另一端與氣體供給器56連接。因此，從氣體供給器56供給的氣體經(jīng)由該貫通孔和空隙供給到液體90中，在液體90中形成氣泡91。

絕緣體54以圍住金屬電極部53a的外周面的方式設(shè)置。絕緣體54例如具有圓筒形狀。絕緣體54的內(nèi)徑比金屬電極部53a的外徑大。因此，在絕緣體54的內(nèi)周面與金屬電極部53a的外周面之間形成空隙。

絕緣體54例如可以由氧化鋁陶瓷形成，也可以由氧化鎂、石英或氧化釔等形成。

保持塊55為用于保持金屬螺栓部53b和絕緣體54的部件。保持塊55上設(shè)置有螺紋部(例如內(nèi)螺紋)。通過使金屬螺栓部53b繞軸旋轉(zhuǎn)，能夠調(diào)節(jié)保持塊55與金屬螺栓部53b的位置關(guān)系，由此，能夠調(diào)整絕緣體54與金屬電極部53a的位置關(guān)系。例如，能夠以金屬電極部53a的前端不從絕緣體54的開口突出的方式進(jìn)行調(diào)整。

氣體供給器56通過向液體90中供給氣體，在液體90中形成氣泡91。氣泡91從絕緣體54的開口釋放到反應(yīng)槽57的液體90中。氣體供給器56例如為泵。

氣體供給器56例如取入存在于等離子體產(chǎn)生器50周圍的空氣，將該空氣供給到反應(yīng)槽57內(nèi)的液體90中。另外，氣體供給器56供給的氣體并不限于空氣，也可以為氮?dú)狻⒀鯕?、氬氣等稀有氣體、或水蒸氣等，只要是可形成等離子體狀態(tài)就沒有特別的限定。氣體經(jīng)由在金屬螺栓部53b上設(shè)置的貫通孔、及金屬電極部53a與絕緣體54之間的空隙供給到液體90中，在液體90中形成氣泡91。金屬電極部53a例如被氣泡91覆蓋，并且能夠維持不與液體90直接接觸的狀態(tài)。在該狀態(tài)下，在氣泡91內(nèi)生成等離子體92。

反應(yīng)槽57為在內(nèi)部形成用于產(chǎn)生等離子體92的空間的容器。反應(yīng)槽57與配管81連接。循環(huán)泵80使液體90經(jīng)由配管81在反應(yīng)槽57與容器20之間循環(huán)。另外，反應(yīng)槽57也可以為配管81的一部分。

例如，將液體90從容器20輸送到反應(yīng)槽57內(nèi)，在反應(yīng)槽57內(nèi)的液體90中產(chǎn)生等離子體92，由此，生成第1處理液。在反應(yīng)槽57內(nèi)生成的第1處理液經(jīng)由供給口21供給到容器20中。

反應(yīng)槽57例如由具有耐酸性或耐堿性的材料形成。例如，反應(yīng)槽57由聚氯乙烯、聚四氟乙烯(PFA)等樹脂材料、不銹鋼等金屬材料、或陶瓷等形成。反應(yīng)槽57的大小和形狀沒有特別限定。

另外，反應(yīng)槽57和容器20也可以一體化。換而言之，等離子體產(chǎn)生器50可以不具備反應(yīng)槽57，在容器20內(nèi)產(chǎn)生等離子體92。此時(shí)，處理液生成裝置10可以不具備循環(huán)泵80和配管81。

另外，本實(shí)施方式的處理液生成裝置10也可以不具備等離子體產(chǎn)生器50。此時(shí)，例如將在其它地方預(yù)先生成的第1處理液加入到容器20中。

[1-5.接觸部和閥]

接觸部60為用于使第1處理液或第2處理液與對象物接觸的部分。接觸部60例如經(jīng)由閥61與容器20的排出口22連接。接觸部60例如可以為加入對象物的容器。此時(shí)，通過將第1或第2處理液經(jīng)由排出口22加入該容器內(nèi)，使第1處理液或第2處理液與對象物接觸?；蛘撸佑|部60例如也可以為注射器、噴霧器、或擴(kuò)散器等。此時(shí)，噴射器通過將第1處理液或第2處理液向?qū)ο笪飮姵?，使?處理液或第2處理液與對象物接觸。

對象物為通過第1處理液或第2處理液被分解和/或殺菌的物質(zhì)。例如，對象物為有機(jī)物、微生物或細(xì)菌等。接觸部60例如使從排出口22排出的第1處理液或第2處理液與含有對象物的物體接觸。含有對象物的物體例如是餐具類等生活用品、醫(yī)療器械、或者浴室地板或窗玻璃等建材?；蛘撸袑ο笪锏奈矬w例如為含有齲齒菌或牙周病菌等的人體口腔、含有腐敗細(xì)菌等的食品、動植物等。

閥61設(shè)置于排出口22，通過控制電路40控制開閉。例如，在閥61打開的情況下，儲存在容器20中的液體經(jīng)由排出口22供給到接觸部60，與對象物接觸。例如，控制電路40在生成第2處理液之后，通過打開閥61，使第2處理液與對象物接觸?；蛘?，控制電路40不控制供給部30，通過打開閥61，使第1處理液與對象物接觸。

另外，處理液生成裝置10也可以通過接觸部60以外的方法使第1處理液或第2處理液與對象物接觸。

例如，處理液生成裝置10也可以進(jìn)一步具備向容器20內(nèi)供給對象物的供給部(未圖示)。供給部可以為用于用戶將對象物供給到容器20中而設(shè)置在容器20上的供給口。供給部可以進(jìn)一步具有收納對象物的容器，該容器經(jīng)由閥與供給口連接。通過該構(gòu)成，例如，能夠通過供給部向容器20內(nèi)供給對象物，并在對象物和第1處理液混合的狀態(tài)下，調(diào)整該處理液(或第1處理液和對象物的混合液)的pH。由此，能夠在生成第2處理液的同時(shí)，使第2處理液與對象物接觸。

例如，處理液生成裝置10也可以具有收納使對象物和pH調(diào)整物質(zhì)預(yù)先混合后的混合物的容器。在該構(gòu)成中，可以通過將混合物供給到第1處理液中，使混合物與第1處理液接觸，也可以通過將第1處理液供給到混合物中，使混合物與第1處理液接觸。在任一種情況下，均能夠在使第1處理液與對象物接觸的同時(shí)，調(diào)整第1處理液的pH。其結(jié)果是，在生成第2處理液的同時(shí)，第2處理液與對象物接觸?；蛘?，例如也可以將對象物和pH調(diào)整物質(zhì)從不同的容器同時(shí)供給到容器20內(nèi)。

[1-6.循環(huán)泵和配管]

循環(huán)泵80為在配管81上設(shè)置的送液裝置的一例子。循環(huán)泵80例如為化工泵。

循環(huán)泵80使液體90經(jīng)由配管81在容器20和反應(yīng)槽57之間循環(huán)。即，通過容器20、配管81及反應(yīng)槽57形成液體90的循環(huán)路徑。

配管81為用于形成用于使液體90循環(huán)的循環(huán)路徑的管。配管81例如由管道(pipe)、管子(tube)或軟管等管狀的部件形成。配管81例如由與容器20相同的材料形成。

[2.動作]

[2-1.處理液生成方法]

使用圖2～圖4B對本實(shí)施方式的處理液生成裝置10的動作例進(jìn)行說明。首先，使用圖2對本實(shí)施方式的處理液生成方法進(jìn)行說明。

圖2表示本實(shí)施方式的處理液生成方法的流程圖。

首先，處理液生成裝置10準(zhǔn)備pH為9以上的第1處理液(S10)。將準(zhǔn)備的第1處理液收納于容器20中。

接著，處理液生成裝置10通過調(diào)整第1處理液的pH，生成pH比6低的第2處理液(S20)。例如，根據(jù)來自于控制電路40的指示，供給部30將含有酸或鹽的溶液添加到第1處理液中。

本實(shí)施方式中，第1處理液的準(zhǔn)備(例如，生成)(S10)和第2處理液的生成(S20)可以用不同的方法進(jìn)行。例如，相對于第1處理液通過等離子體處理生成的情況，第2處理液可以通過向第1處理液中添加pH調(diào)整物質(zhì)來進(jìn)行。在由第1處理液生成第2處理液時(shí)，不進(jìn)行等離子體處理。

例如，第1處理液保存于保存用容器中。第1處理液在利用到對象物的分解和/或殺菌等時(shí)，可以基于例如用戶的輸入，從保存用容器僅排出所利用的量，供給到反應(yīng)用容器中。通過在供給到反應(yīng)用容器中的第1處理液中添加pH調(diào)整物質(zhì)，生成第2處理液。由此，能夠?qū)⑸傻牡?處理液利用于對象物的分解和/或殺菌。

[2-2.第1處理液的生成]

接著，作為本實(shí)施方式的準(zhǔn)備堿性的第1處理液的步驟的一例子，使用圖3對生成堿性的第1處理液的步驟進(jìn)行說明。圖3為表示本實(shí)施方式的生成第1處理液的步驟的流程圖。

首先，將未處理液加入容器20中(S11)。未處理液為未進(jìn)行等離子體處理的液體90，例如為堿性的緩沖液或水溶液。

接著，開始產(chǎn)生等離子體(S12)。例如，根據(jù)來自于控制電路40的指示，氣體供給器56向液體90中供給氣體。第2電極53被由所供給的氣體形成的氣泡91覆蓋。在該狀態(tài)下，根據(jù)來自于控制電路40的指示，電源51在第1電極52和第2電極53之間施加電壓。由此，在氣泡91中引起放電，產(chǎn)生等離子體92。等離子體92產(chǎn)生時(shí)，等離子體92作用于液體90，通過使液體90的離子組成變化，使pH變化?；蛘?，等離子體92作用于所供給的氣體，生成產(chǎn)物，該產(chǎn)物溶入液體90中而使液體90的pH變化。

例如，在氣體供給器56供給空氣時(shí)，空氣中所含的氮?dú)獾囊徊糠直谎趸纬上跛帷Ｔ撓跛崛苋胍后w90中時(shí)，液體90的pH降低。因此，在圖3所示的流程中，在液體90的pH的每單位時(shí)間的平均值變?yōu)榈陀?時(shí)(S13中為否)，控制電路40使供給部30將pH調(diào)整物質(zhì)添加到容器20內(nèi)的液體90中(S14)。此時(shí)的pH調(diào)整物質(zhì)為含有堿的溶液等用于增大液體90的pH的物質(zhì)。

pH為9以上(S13中為是)、且經(jīng)過規(guī)定期間時(shí)(S15中為是)，停止產(chǎn)生等離子體92(S16)。例如，控制電路40使電源51停止在第1電極52和第2電極53之間施加電壓。此外，控制電路40使氣體供給器56停止供給氣體。

另外，規(guī)定期間為持續(xù)等離子體處理的時(shí)間，可以任意地設(shè)定。規(guī)定期間例如為用于使第1處理液(或第2處理液)得到所要求的分解和/或殺菌能力的充分的期間。產(chǎn)生等離子體92的期間(即等離子體處理的持續(xù)期間)越長，第1處理液(或第2處理液)的分解和/或殺菌能力變得越大。

容器20中也可以設(shè)置用于檢測液體90的pH的pH傳感器。控制電路40也可以從pH傳感器得到液體90的pH的值，基于所得到的值停止產(chǎn)生等離子體92。

pH傳感器例如為玻璃電極式pH計(jì)。玻璃電極式pH計(jì)中，例如使用氯化鉀溶液或離子液體鹽橋作為液接部，使Ag/AgCl作為電極。pH傳感器例如可以為ISFET式pH計(jì)?；蛘撸鳛閜H檢測手段，也可以對液體取樣，使用pH指示劑或pH試紙進(jìn)行比色測定。

另外，也可以不設(shè)置pH傳感器。此時(shí)，可以將等離子體處理的持續(xù)期間根據(jù)例如通過氣體供給器56供給的氣體的種類、液體90的種類和容量、以及施加的電壓，設(shè)定為用于將液體90的pH保持為9以上的適當(dāng)?shù)闹怠?/p>

如以上那樣，本實(shí)施方式的處理液生成方法能夠生成分解和/或殺菌能力高的第2處理液。

[2-3.對象物處理方法]

以下，使用圖4A和圖4B對利用酸性的第2處理液的對象物的處理方法進(jìn)行說明。

圖4A為表示本實(shí)施方式的對象物處理方法的流程圖。如圖4A所示，直至生成酸性的第2處理液的步驟S10和S20與例如圖2所示的步驟S10和S20相同。

處理液生成裝置10在生成第2處理液之后，使生成的第2處理液與對象物接觸(S30)。例如，控制電路40通過打開閥61，將儲存在容器20中的第2處理液經(jīng)由排出口22供給到接觸部60中。接觸部60使供給的第2處理液與對象物接觸。

也可以將步驟S10和S20一并進(jìn)行。例如，可以預(yù)先將對象物和pH調(diào)整物質(zhì)混合。此時(shí)，將由對象物和pH調(diào)整物質(zhì)形成的混合物進(jìn)一步與第1處理液混合。或者，也可以將對象物、pH調(diào)整物質(zhì)以及第1處理液同時(shí)混合。即，本實(shí)施方式的對象物處理方法也可以在使第1處理液與對象物接觸的同時(shí)，調(diào)整第1處理液的pH。由此，能夠在生成第2處理液的同時(shí)，進(jìn)行第2處理液與對象物的接觸。

另外，上述說明中對使酸性的第2處理液與對象物接觸的例子進(jìn)行了例示，但并不限于此。也可以使堿性的第1處理液與對象物接觸。

圖4B為表示本實(shí)施方式的對象物處理方法的流程圖。如圖4B所示，在步驟S10中準(zhǔn)備第1處理液之后，使第1處理液與對象物接觸(S30a)。

例如，控制電路40也可以不使供給部30供給用于使液體90酸性化的pH調(diào)整物質(zhì)，通過打開閥61，經(jīng)由排出口22向接觸部60供給儲存于容器20中的第1處理液。接觸部60使供給的第1處理液與對象物接觸。

第1處理液由于能夠?qū)ο笪锓纸饣驓⒕?，因此能夠進(jìn)行例如殺菌等。

另外，例示了在準(zhǔn)備或生成第1處理液后使其與對象物接觸的例子，但并不限定于此。也可以在生成第1處理液的同時(shí)，使第1處理液與對象物接觸。例如，可以在使液體90與對象物接觸的狀態(tài)下，在液體90的附近或在液體90中產(chǎn)生等離子體而生成pH為9以上的第1處理液。

[3.實(shí)施例]

以下，使用附圖對本實(shí)施方式的處理液生成裝置10的實(shí)施例進(jìn)行說明。本發(fā)明人為了驗(yàn)證第1處理液和第2處理液的分解能力及其持續(xù)性，準(zhǔn)備了以下所示的實(shí)施例1～4的液體試樣和比較例1～5的液體試樣，進(jìn)行了這些液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)。

[3-1.條件]

首先，使用表1和表2對各實(shí)施例和比較例的詳細(xì)條件進(jìn)行說明。表1中匯總了實(shí)施例1和2以及比較例1～3的條件。表2中匯總了實(shí)施例3和4以及比較例4和5的條件。

表1

表2

實(shí)施例1～4及比較例1中，使用圖1所示的處理液生成裝置10對未處理液進(jìn)行等離子體處理。容器20為PFA制的容器，使用100mL的液體90。容器20中配置pH傳感器，持續(xù)地對液體90的pH和溫度進(jìn)行監(jiān)測。

循環(huán)泵80為化工泵，配管81內(nèi)的流量為0.6L/min。氣體供給器56以0.3L/min將空氣供給到液體90中。電源51供給30分鐘、20W的電力。即，產(chǎn)生等離子體92的時(shí)間、即等離子體處理的持續(xù)時(shí)間為30分鐘。

另外，產(chǎn)生等離子體92時(shí)，液體90的pH變小。為了將pH抑制為比9小，一邊適當(dāng)追加氫氧化鈉水溶液等，一邊產(chǎn)生等離子體92。

實(shí)施例1中，將pH為12的磷酸緩沖液(未處理液)進(jìn)行等離子體處理，得到pH為11.4的液體(第1處理液)。實(shí)施例3中，通過在實(shí)施例1的第1處理液中添加硫酸，得到pH為2.58的第2處理液。

實(shí)施例2中，將pH為12的氫氧化鈉水溶液(未處理液)進(jìn)行等離子體處理，得到pH為11.2的液體(第1處理液)。實(shí)施例4中，通過在實(shí)施例2的第1處理液中添加硫酸，得到pH為2.29的第2處理液。

比較例1中，將pH為6的標(biāo)準(zhǔn)水(未處理液)進(jìn)行等離子體處理，得到pH為2.5的液體(等離子體處理液)。在此，標(biāo)準(zhǔn)水是指將電導(dǎo)率調(diào)整成與自來水相同的20mS/m的硫酸鈉(Na₂SO₄)水溶液。標(biāo)準(zhǔn)水是通過將硫酸鈉61.3mg用超純水定容至500mL而生成的。

比較例2中，準(zhǔn)備pH為11.5的磷酸緩沖液(非等離子體處理液)。比較例4中，通過在pH為7.2的磷酸緩沖液中添加硫酸，得到pH為2.5的磷酸緩沖液(非等離子體處理液)。比較例5中，準(zhǔn)備pH為7.2的磷酸緩沖液(非等離子體處理液)。比較例2、4和5中，沒有對磷酸緩沖液進(jìn)行等離子體處理。

比較例3中，準(zhǔn)備pH為11.5的氫氧化鈉水溶液。比較例3中，沒有對氫氧化鈉水溶液進(jìn)行等離子體處理。

以下，實(shí)施例1和2的第1處理液、實(shí)施例3和4的第2處理液、比較例1中的等離子體處理液、以及比較例2～5中的非等離子體處理液作為分解試驗(yàn)的液體試樣使用。

[3-2.分解試驗(yàn)的結(jié)果]

以下，對實(shí)施例1～4及比較例1～5的試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果進(jìn)行說明。靛藍(lán)胭脂紅對610nm的波長的光具有最大吸收。即，液體試樣中存在靛藍(lán)胭脂紅時(shí)，吸收610nm的波長的光而使吸光度變?yōu)楦咧?。另一方面，液體試樣中的靛藍(lán)胭脂紅被分解時(shí)，由于不吸收610nm的波長的光，而使吸光度變?yōu)榈椭?。因此，能夠?qū)⒁后w試樣和靛藍(lán)胭脂紅混合時(shí)的吸光度的時(shí)間變化作為液體試樣的分解能力的指標(biāo)使用。

于是，使用分光測定器對混合了靛藍(lán)胭脂紅的各種液體試樣對于610nm的波長的光的吸光度的時(shí)間變化進(jìn)行測定。作為測定方法，使用以下2種。

第1測定方法中，將使用超純水調(diào)整為2000ppm的靛藍(lán)胭脂紅11μL滴加到分光測定用玻璃比色槽中，加入調(diào)整到所希望的pH的液體試樣2.2mL之后，立刻進(jìn)行移液，開始吸光度的測定。即，該測定中的靛藍(lán)胭脂紅的初始濃度為10ppm。

第2測定方法中，開始測定吸光度之后，調(diào)整液性。即，按照第1測定方法開始對于第1處理液的測定之后，通過添加pH調(diào)整物質(zhì)，生成第2處理液。由此，能夠?qū)λ傻牡?處理液的靛藍(lán)胭脂紅的分解進(jìn)行精度良好地測定。第2測定方法適于靛藍(lán)胭脂紅的分解能力高的情況。

以下說明的實(shí)驗(yàn)中，實(shí)施例2和4采用第2測定方法，其它的例子采用第1測定方法。

圖5表示實(shí)施例1和3、以及比較例2的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果。

如圖5所示，實(shí)施例1的情況，在液體試樣與靛藍(lán)胭脂紅接觸之后，吸光度立刻急劇降低。即，經(jīng)等離子體處理的堿性的磷酸緩沖液使靛藍(lán)胭脂紅急劇分解。

實(shí)施例3的情況，在液體試樣與靛藍(lán)胭脂紅接觸之后，吸光度立刻降低。即，等離子體處理后進(jìn)行了酸性化的磷酸緩沖液使靛藍(lán)胭脂紅充分分解。另外，靛藍(lán)胭脂紅的分解所需的時(shí)間與實(shí)施例3相比，實(shí)施例1更短。即，實(shí)施例1的第1處理液與實(shí)施例3的第2處理液相比，分解能力更高。

另一方面，比較例4的情況，吸光度幾乎沒有變化。即，酸性化的非等離子體液幾乎沒有使靛藍(lán)胭脂紅分解。將實(shí)施例3和比較例4進(jìn)行比較，可知進(jìn)行等離子體處理有助于顯現(xiàn)處理液的分解能力。

圖6表示將實(shí)施例1和實(shí)施例3、以及比較例4的液體試樣放置24小時(shí)后進(jìn)行的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果。在此，將實(shí)施例1和實(shí)施例3、以及比較例4的液體試樣放置24小時(shí)，然后，與靛藍(lán)胭脂紅接觸。

如圖6所示，在實(shí)施例1和實(shí)施例3以及比較例2的任一情況下，均得到與圖5幾乎相同的結(jié)果。實(shí)施例1和實(shí)施例3的液體試樣保持分解能力至24小時(shí)后。因此，等離子體處理后的磷酸緩沖液，與之后是否酸性化無關(guān)，保持了高的分解能力。

圖7表示實(shí)施例2和4、以及比較例3的液體試樣的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果。圖7一并示出了實(shí)施例2和4以及比較例3的剛生成液體試樣后的分解試驗(yàn)的結(jié)果、和將實(shí)施例2的液體試樣放置24小時(shí)或48小時(shí)后的分解試驗(yàn)的結(jié)果。

如圖7所示，實(shí)施例2的液體試樣(即等離子體處理后的堿性的氫氧化鈉水溶液)顯示出高的分解能力。實(shí)施例2的液體試樣直至48小時(shí)后具有充分高的分解能力。

實(shí)施例4的液體試樣(即等離子體處理后進(jìn)行了酸性化的氫氧化鈉水溶液)顯示出高的分解能力。實(shí)施例4的液體試樣與未設(shè)置放置期間的實(shí)施例2的液體試樣相比，顯示出高的分解能力。

另一方面，比較例3的液體試樣(即未進(jìn)行等離子體處理的氫氧化鈉水溶液)不具有分解能力。因此，將實(shí)施例2和比較例3進(jìn)行比較可知，進(jìn)行等離子體處理有助于顯現(xiàn)處理液的分解能力。

由實(shí)施例1～4的結(jié)果可知，等離子體處理液在等離子體處理前即使為堿性的緩沖液和堿性的水溶液的任一種，均具有高的分解能力，即具有高活性。因此，未處理液的液性只要為堿性，對于其它的性質(zhì)沒有特別的限定。

圖8表示將比較例1的液體試樣放置規(guī)定期間后進(jìn)行的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果。圖8中的圖例表示放置的時(shí)間。

如圖8所示，比較例1的情況，從等離子體處理剛停止后僅經(jīng)過5分鐘，靛藍(lán)胭脂紅的分解所需的時(shí)間變長。即，比較例1的液體試樣(即經(jīng)等離子體處理的標(biāo)準(zhǔn)水)的分解能力在短時(shí)間內(nèi)降低。然后，比較例1的液體試樣隨著放置時(shí)間的經(jīng)過，處理液的分解能力降低，在經(jīng)過24小時(shí)的時(shí)刻，分解能力大大降低。

圖9表示比較例2、4和5的處理液的靛藍(lán)胭脂紅分解試驗(yàn)的結(jié)果。

由圖9明確可知，比較例4的液體試樣(即酸性的磷酸緩沖液)和比較例5的液體試樣(即中性的磷酸緩沖液)幾乎沒有分解能力。

比較例2的液體試樣(即堿性的磷酸緩沖液)也幾乎沒有分解能力。如一般所知，由于靛藍(lán)胭脂紅在pH為11以上的堿性溶液中，一部分形成隱色型結(jié)構(gòu)，因此在610nm下的吸光度降低。這是比較例2的吸光度的初期值較低的原因，但這是可逆的，通過使pH為11以下，能夠使吸光度返回到與比較例4或5相同的值。但是，在靛藍(lán)胭脂紅長時(shí)間持續(xù)混合在pH為11.5以上的堿性溶液中時(shí)，會緩慢分解而使吸光度降低。

從比較例2明確可知，即使是堿性的磷酸緩沖液，也不具有像實(shí)施例1和實(shí)施例3那樣強(qiáng)的分解能力。

(變形例)

上述的實(shí)施方式中，對處理液生成裝置10具備等離子體產(chǎn)生器50的構(gòu)成進(jìn)行了說明，但并不限定于此。也可以如圖10所示的處理液生成裝置100，不具備等離子體產(chǎn)生器50。圖10表示本變形例的處理液生成裝置100的構(gòu)成。

如圖10所示，處理液生成裝置100具備容器20、供給部30、以及控制電路40。在容器20中經(jīng)供給口21加入例如通過其它裝置預(yù)先進(jìn)行了等離子體處理的堿性的第1處理液。供給部30和控制電路40的動作與上述的實(shí)施方式相同。但是，由于本變形例的處理液生成裝置100不具備等離子體產(chǎn)生器50，因此，供給部30和控制電路40也可以不進(jìn)行等離子體產(chǎn)生器50的動作。

根據(jù)本變形例的處理液生成裝置100，與上述的變形例同樣地，能夠生成具有高活性的酸性的處理液。此外，由于可以不具備等離子體產(chǎn)生器，因此即使在離開等離子體產(chǎn)生器的地方也能夠進(jìn)行對象物的分解和/或殺菌等。

(其它的實(shí)施方式)

以上，基于實(shí)施方式對一個(gè)或多個(gè)方式的處理液生成方法及處理液生成裝置等進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施方式。在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，基于本領(lǐng)域技術(shù)人員的想法對本實(shí)施方式實(shí)施各種變形而得到的方式以及將不同實(shí)施方式中的構(gòu)成要素組合構(gòu)成的方式均包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。

例如，上述的實(shí)施方式中，處理液生成裝置具備供給pH調(diào)整物質(zhì)的供給部，控制電路40以使供給部30供給pH調(diào)整物質(zhì)而生成第2處理液的方式構(gòu)成。但是，在僅使用第1處理液的情況下，這些構(gòu)成并不是必要的。

例如，上述的實(shí)施方式中，對等離子體產(chǎn)生器50在液體90中產(chǎn)生等離子體92的例子進(jìn)行了例示，但是等離子體產(chǎn)生器50也可以在液體90的附近產(chǎn)生等離子體92。例如，可以使第1電極52和第2電極53的至少一者不與液體90接觸，而配置在氣體中。

例如，通過在液體90的液面(與空氣的界面)的附近產(chǎn)生等離子體92，使液面和液面的附近的氣體暴露于等離子體中。由此，在液體(第1處理液)中生成離子、分子、自由基等活性種。并且，可生成內(nèi)部含有受等離子體作用的空氣的納米泡。進(jìn)一步，可認(rèn)為通過使第1處理液酸性化，通過這些等離子體處理生成的離子、分子、自由基、納米泡等發(fā)揮作用而在液體中生成其它的活性種。由此能夠生成具有活性的第2處理液。

此外，例如，上述的實(shí)施方式中，作為pH調(diào)整物質(zhì)例舉出了硫酸或氫氧化鈉水溶液，但是，也可以使用硝酸或氨水，或者只要是能夠使pH變化的物質(zhì)，就沒有特別的限定。例如，能夠使用一般的家庭用洗滌劑或檸檬汁等作為pH調(diào)整物質(zhì)。

例如，也可以在上述的實(shí)施方式中，代替pH調(diào)整物質(zhì)，通過電解來調(diào)整pH。例如，容器通過隔膜分割成第1區(qū)域和第2區(qū)域，在第1區(qū)域收納等離子體處理液，在第2區(qū)域收納規(guī)定的液體。電極A配置在第1區(qū)域中，電極B配置在第2區(qū)域中。在該構(gòu)成中，在電極A和電極B之間施加電壓時(shí)，將等離子體處理液電解。例如，在第1區(qū)域收納pH為9以上的等離子體處理液時(shí)，以電極A為陽極，以電極B為陰極，施加相對于電極B，電極A成為正的電壓。由此，等離子體處理液的pH降低。此時(shí)，pH的變化例如也可以用上述的pH傳感器監(jiān)視。

此外，上述的各實(shí)施方式能夠在權(quán)利要求書的范圍或其等同的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更、替換、增加、省略等。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明的處理液生成方法等由于能夠生成具有高活性、其持續(xù)性優(yōu)異的處理液，因此能夠用于有機(jī)物的分解處理、微生物或細(xì)菌等的殺菌處理等。

符號說明

10、100 處理液生成裝置

20 容器

21 供給口

22 排出口

30 供給部

40 控制電路

50 等離子體產(chǎn)生器

51 電源

52 第1電極

53 第2電極

53a 金屬電極部

53b 金屬螺栓部

54 絕緣體

55 保持塊

56 氣體供給器

57 反應(yīng)槽

60 接觸部

61 閥

80 循環(huán)泵

81 配管

90 液體

91 氣泡

92 等離子體