本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，屬于藍(lán)寶石襯底研磨后的清洗加工技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

藍(lán)寶石（Sapphire）晶體具有優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和穩(wěn)定的化學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于高亮度LED襯底材料。藍(lán)寶石襯底片為了獲得優(yōu)良的平坦度，需要以碳化硼為主要研磨材料對(duì)藍(lán)寶石襯底片進(jìn)行雙面研磨加工，研磨后的藍(lán)寶石襯底片表面殘留有碳化硼微粉，在高溫退火前需要進(jìn)行清洗。由于碳化硼穩(wěn)定的化學(xué)性能，研磨后的清洗非常困難，碳化硼微粉殘留在藍(lán)寶石襯底片表面，高溫退火后在藍(lán)寶石襯底片表面形成油亮斑，導(dǎo)致藍(lán)寶石襯底片需要返工處理甚至報(bào)廢。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有清洗技術(shù)的缺陷，提供一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，具有操作方便，一次成品合格率高，清洗進(jìn)程無二次化學(xué)污染，清洗廢液無污染易處理等特點(diǎn)。

為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案是:

一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：

（1）將雙面研磨后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；

（2）將晾干后的藍(lán)寶石襯底片放入超聲清洗槽內(nèi)，隨后向超聲清洗槽內(nèi)放置氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍(lán)寶石襯底片上表面3～5mm；

（3）啟動(dòng)超聲清洗槽，使用頻率40～60KHZ的超聲，設(shè)置超聲強(qiáng)度為60W/cm2～80W/cm2，超聲震洗15min；

（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（5）將步驟（4）中，清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入清洗堿液內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入16M純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍(lán)寶石襯底片用甩干機(jī)在1800rpm轉(zhuǎn)速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍(lán)寶石襯底片。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述氧化鋁（AL2O3）的粒徑在W80～W120之間。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級(jí)氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。

本發(fā)明的有益效果為：

本發(fā)明公開的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，克服了現(xiàn)有雙面研磨后藍(lán)寶石襯底片清洗過程中需要用到多種化學(xué)試劑對(duì)藍(lán)寶石襯底片表面殘留的碳化硼微粉進(jìn)行去除，清洗廢液難處理，對(duì)環(huán)境污染大的缺點(diǎn)，使用本發(fā)明的清洗工藝，可有效減少表面碳化硼微粉殘留，降低高溫退火后藍(lán)寶石襯底片表面的油亮斑比例，減少藍(lán)寶石襯底片的返工成本，杜絕藍(lán)寶石襯底片的報(bào)廢情況，從而達(dá)到提高藍(lán)寶石襯底片質(zhì)量，降低藍(lán)寶石襯底片生產(chǎn)成本的目的。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例一

一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：

（1）將雙面研磨后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；

（2）將晾干后的藍(lán)寶石襯底片放入超聲清洗槽內(nèi)，隨后向超聲清洗槽內(nèi)放置粒徑W120的氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍(lán)寶石襯底片上表面4mm；

（3）啟動(dòng)超聲清洗槽，使用頻率40KHZ的超聲，設(shè)置超聲強(qiáng)度為60W/cm2，超聲震洗15min；

（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（5）將步驟（4）中，清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入清洗堿液內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入16M純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍(lán)寶石襯底片用甩干機(jī)在1800rpm轉(zhuǎn)速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍(lán)寶石襯底片。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述藍(lán)寶石襯底片的直徑為2英寸。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級(jí)氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。

實(shí)施例二

一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其特征在于，具體步驟如下：

（1）將雙面研磨后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min，清洗完成后取出，并在室溫下自然晾干；

（2）將晾干后的藍(lán)寶石襯底片放入超聲清洗槽內(nèi)，隨后向超聲清洗槽內(nèi)放置粒徑W80的氧化鋁（AL2O3），氧化鋁沒過藍(lán)寶石襯底片上表面5mm；

（3）啟動(dòng)超聲清洗槽，使用頻率60KHZ的超聲，設(shè)置超聲強(qiáng)度為80W/cm2，超聲震洗15min；

（4）將步驟（3）中，超聲震洗后的藍(lán)寶石襯底片放入RO純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（5）將步驟（4）中，清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入清洗堿液內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（6）將步驟（5）中，堿液清洗后的藍(lán)寶石襯底片放入16M純水內(nèi)，用強(qiáng)度為50W/cm2的超聲波清洗15min；

（7）將步驟（6）中，超聲清洗后的藍(lán)寶石襯底片用甩干機(jī)在1800rpm轉(zhuǎn)速下甩干180秒，得到清洗干凈的藍(lán)寶石襯底片。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述藍(lán)寶石襯底片的直徑為4英寸。

上述的一種藍(lán)寶石襯底片研磨后的清洗工藝，其中，所述清洗堿液由分析純AR級(jí)氫氧化鈉（NaOH）與16M純水以1kg：10L的配比制得。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。