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一種清潔系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12356841閱讀:431來源:國(guó)知局
一種清潔系統(tǒng)的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種清潔系統(tǒng),特別涉及一種用于清潔噴嘴口金的清潔系統(tǒng)。



背景技術(shù):

涂料器(Coater)為彩色濾光片(CF)制程中的重要設(shè)備之一,主要功能為涂布成膜,并在成膜后利用真空干燥抽除光阻中70%成分的溶劑,保證成膜穩(wěn)定性。

Coater主要構(gòu)成部分Gantry傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(含Nozzle)、Vaccum Stage、Tray Unit、Wet unit和其他控制單元。

噴嘴(Nozzle)為Coater最重要部品,作用為均勻地涂布光阻,保證涂膜質(zhì)量,而rubber的作用即為刮拭干凈nozzle口金。

在CF制成工藝中,由于采用負(fù)性光阻,而負(fù)性光阻的粘性特別強(qiáng),經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)光阻凝結(jié)異物堵塞口金,從而導(dǎo)致形成裂縫不均勻(slit mura),造成貫穿性面板窄邊距(panel NG),嚴(yán)重影響生產(chǎn)良率以及成本提高。

而目前產(chǎn)線上的處理手法為利用rubber刮拭以及非接觸式清洗吹干,但這只是針對(duì)nozzle的外部,無法有效清洗處理nozzle里面的凝結(jié)物,此時(shí),為處理噴嘴里面的凝結(jié)物,通常處理手法為停機(jī)。這會(huì)造成停機(jī)會(huì)造成時(shí)間的浪費(fèi),進(jìn)而影響效率提高生產(chǎn)成本;人處理異常時(shí)難免會(huì)犯錯(cuò)造成設(shè)備的受損,人的效率,洗管的溶劑(solvent)用量,光阻用量都依靠人的主觀性,不容易管控;再者手法難免不統(tǒng)一,對(duì)于成功率無法保障,另外一直運(yùn)轉(zhuǎn)中的設(shè)備機(jī)構(gòu)及零部件不容易受損,頻繁干擾設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)會(huì)使設(shè)備更加不穩(wěn)定。

因此,有必要提供一種新的清潔系統(tǒng)。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的清潔系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,在刮拭的同時(shí)可進(jìn)行清洗,刮拭效果好,能夠很好地處理噴嘴中的凝結(jié)物,從而達(dá)到很好的刮拭效果,同時(shí)在清洗處理nozzle里面的凝結(jié)物時(shí),不需要停機(jī)操作,從而能夠避免了停機(jī)及人員操作帶來的風(fēng)險(xiǎn),操作簡(jiǎn)單,減少工作裝卸(loading)過程。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提出一種清潔系統(tǒng),其中,所述清潔系統(tǒng)用于清潔噴嘴口金,所述清潔系統(tǒng)包括:

清潔口金模塊;

能伸入所述噴嘴口金內(nèi)的刮片,其穿過所述清潔口金模塊且能在所述清潔口金模塊內(nèi)上下移動(dòng);

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與所述刮片相接。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),所述轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)通過轉(zhuǎn)軸連接器與所述刮片相接。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述轉(zhuǎn)軸連接器通過托盤與所述刮片相接。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述清潔口金模塊包括模塊本體和兩個(gè)設(shè)于所述模塊本體上方的模塊斜部。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述刮片穿過所述模塊本體,兩個(gè)所述模塊斜部相對(duì)所述刮片對(duì)稱設(shè)置。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述模塊斜部的縱截面的形狀為三角形,所述三角形的一條直角邊與所述模塊本體的上表面相平行,所述三角形的另一條直角邊與所述模塊本體的上表面相垂直。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述模塊斜部與所述噴嘴口金的外緣相配合。

如上所述的清潔系統(tǒng),其中,所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相接。

本發(fā)明的清潔系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,在刮拭的同時(shí)可進(jìn)行清洗,刮拭效果好,能夠很好地處理噴嘴中的凝結(jié)物,從而達(dá)到很好的刮拭效果,同時(shí)在清洗處理nozzle里面的凝結(jié)物時(shí),不需要停機(jī)操作,從而能夠避免了停機(jī)及人員操作帶來的風(fēng)險(xiǎn),操作簡(jiǎn)單,減少工作loading過程。

附圖說明

在此描述的附圖僅用于解釋目的,而不意圖以任何方式來限制本發(fā)明公開的范圍。另外,圖中的各部件的形狀和比例尺寸等僅為示意性的,用于幫助對(duì)本發(fā)明的理解,并不是具體限定本發(fā)明各部件的形狀和比例尺寸。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明的教導(dǎo)下,可以根據(jù)具體情況選擇各種可能的形狀和比例尺寸來實(shí)施本發(fā)明。

圖1為本發(fā)明的清潔系統(tǒng)的側(cè)視圖(狀態(tài)一);

圖2為本發(fā)明的清潔系統(tǒng)的側(cè)視圖(狀態(tài)二);

圖3為本發(fā)明的清潔系統(tǒng)的主視圖。

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖和本發(fā)明具體實(shí)施方式的描述,能夠更加清楚地了解本發(fā)明的細(xì)節(jié)。但是,在此描述的本發(fā)明的具體實(shí)施方式,僅用于解釋本發(fā)明的目的,而不能以任何方式理解成是對(duì)本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的教導(dǎo)下,技術(shù)人員可以構(gòu)想基于本發(fā)明的任意可能的變形,這些都應(yīng)被視為屬于本發(fā)明的范圍,下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。

圖1至圖3分別為本發(fā)明的清潔系統(tǒng)的側(cè)視圖(狀態(tài)一)、清潔系統(tǒng)的側(cè)視圖(狀態(tài)二)和清潔系統(tǒng)的主視圖。

如圖1和圖2所示,本發(fā)明的清潔系統(tǒng)用于清潔噴嘴口金1,清潔系統(tǒng)包括:清潔口金模塊2、能伸入噴嘴口金1內(nèi)的刮片3,刮片3穿過清潔口金模塊2且能在清潔口金模塊2內(nèi)上下移動(dòng),刮片3與驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4相接。

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4能夠驅(qū)動(dòng)刮片3上下移動(dòng),刮片3上移的過程能夠伸入噴嘴口金1內(nèi),在清潔口金模塊2對(duì)噴嘴口金1的外部進(jìn)行刮拭時(shí),即可實(shí)現(xiàn)刮片3對(duì)噴嘴口金1內(nèi)的凝結(jié)物進(jìn)行清洗,從而實(shí)現(xiàn)刮拭的同時(shí)可進(jìn)行清洗,即達(dá)到刮拭效果強(qiáng)于刮拭,另外,通過在清潔口金模塊2對(duì)噴嘴口金1的外部進(jìn)行刮拭時(shí),同時(shí)實(shí)現(xiàn)刮片3對(duì)噴嘴口金1內(nèi)的凝結(jié)物進(jìn)行清洗,從而避免了停機(jī)及人員操作帶來的風(fēng)險(xiǎn),簡(jiǎn)單易學(xué),減少工作loading。

具體的,在本發(fā)明中,刮片3采用薄膜刮片(film刮片),驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41和轉(zhuǎn)軸連接器42,轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41通過轉(zhuǎn)軸連接器42與刮片3相接,即轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41沿如圖1中方向10旋轉(zhuǎn)后通過轉(zhuǎn)軸連接器42形成向上的推力,使刮片3上升,轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41沿圖1中方向10相反的方向旋轉(zhuǎn)后通過轉(zhuǎn)軸連接器42形成向下的拉力,使刮片3下降,即通過轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41的旋轉(zhuǎn),使film刮片上升或下降(lift&down),在一具體實(shí)施例中,本發(fā)明的轉(zhuǎn)軸連接器42通過托盤5與刮片3相接,即通過轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41的旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)軸連接器42推動(dòng)或拉動(dòng)托盤5上下移動(dòng),托盤5帶動(dòng)刮片3上下移動(dòng),從而使film刮片上升或下降(lift&down),從而使film刮片穩(wěn)定地上升或下降。

具體的,清潔口金模塊2(rubber)包括:模塊本體21和兩個(gè)設(shè)于模塊本體21上方的模塊斜部22,在一具體實(shí)施例中,刮片3穿過模塊本體21,兩個(gè)模塊斜部22相對(duì)刮片3對(duì)稱設(shè)置,具體的,在本發(fā)明中,模塊斜部22縱截面的形狀為三角形狀,三角形的一條直角邊221與模塊本體21的上表面相平行,該三角形的另一條直角邊222與模塊本體21的上表面相垂直,兩個(gè)三角形的斜邊223之間產(chǎn)生間隙,刮片3可以通過該間隙,從而film刮片能夠上升或下降,在一具體實(shí)施例中,模塊斜部222與噴嘴口金1的外緣相配合,從而實(shí)現(xiàn)清潔口金模塊2更好地對(duì)噴嘴口金1的外緣進(jìn)行刮拭的效果。

進(jìn)一步地,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)4中的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41與控制系統(tǒng)(圖中未示出)相接,通過控制系統(tǒng)來控制轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41的轉(zhuǎn)動(dòng),在一具體實(shí)施方式中,通過PLC控制轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)41旋轉(zhuǎn)后通過轉(zhuǎn)軸連接器42形成向上推力或向下的拉力,使film刮片lift&down。

本發(fā)明的清潔系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,在刮拭的同時(shí)可進(jìn)行清洗,刮拭效果強(qiáng)于現(xiàn)有技術(shù)中的僅刮拭,能夠很好地處理噴嘴中的凝結(jié)物,從而達(dá)到很好的刮拭效果;噴嘴口金的噴吐口只有100um左右,人員在將刮片插入內(nèi)部時(shí)非常困難,需要不斷嘗試,而此本發(fā)明的清潔系統(tǒng)在提前teaching好點(diǎn)位后,通過近距離插入,能使插入變得簡(jiǎn)單有效,同時(shí)在清洗處理噴嘴里面的凝結(jié)物時(shí),不需要停機(jī)操作,從而能夠避免了停機(jī)及人員操作帶來的風(fēng)險(xiǎn),操作簡(jiǎn)單,減少工作loading過程,通過程序自動(dòng)控制刮片3插入噴嘴內(nèi)的深度以及刮拭的速度、頻率,從而控制簡(jiǎn)單,即具有操作容易進(jìn)行的效果。

上述技術(shù)方案只是本發(fā)明的一種實(shí)施方式,對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員而言,在本發(fā)明公開了應(yīng)用方法和原理的基礎(chǔ)上,很容易做出各種類型的改進(jìn)或變形,而不僅限于本發(fā)明上述具體實(shí)施方式所描述的方法。雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述,但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下,可以對(duì)其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是,只要不存在結(jié)構(gòu)沖突,各個(gè)實(shí)施例中所提到的各項(xiàng)技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實(shí)施例,而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。

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