本發(fā)明涉及半導(dǎo)體清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)及分類回收方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程工藝中，對石英管的潔凈度要求極高，但是制程工藝中常會(huì)有雜質(zhì)沉積在石英管管壁上，從而對后續(xù)的工藝有很大的影響。因此，需要對石英管進(jìn)行定期清洗，以保證其潔凈度。
在現(xiàn)有的半自動(dòng)或自動(dòng)化清洗機(jī)臺(tái)中，相對于過去的手工清洗石英管方式已經(jīng)有很大的進(jìn)步，但是現(xiàn)有清洗機(jī)臺(tái)對清洗液的分類回收工作做得仍不徹底。
公開號為CN1482071A的中國發(fā)明專利申請公開了一種石英管清洗臺(tái)的超純水回收管線系統(tǒng)，其回收管線已經(jīng)初步實(shí)現(xiàn)了對超純水的分類回收，但是仍未實(shí)現(xiàn)對化學(xué)清洗槽內(nèi)的清洗液進(jìn)行分類回收。
如果將化學(xué)清洗槽內(nèi)的清洗廢液不加區(qū)分直接排放至酸堿中和系統(tǒng)，既會(huì)造成處理過程中的大量浪費(fèi)，又會(huì)大量增加回收系統(tǒng)的負(fù)荷，使得回收效果仍達(dá)不到理想的狀況。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)及分類回收方法，以實(shí)現(xiàn)對石英管清洗機(jī)的各類清洗液進(jìn)行分類回收。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：
一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)，包括：
超純水工藝槽，用于容納超純水以清洗石英管；
超純水工藝外槽，用于容納超純水工藝槽以收集來自超純水工藝槽的溢流或外漏液體；
第一、第二化學(xué)工藝槽，用于各容納一種化學(xué)清洗液以清洗石英管；
化學(xué)工藝外槽，用于同時(shí)容納第一、第二化學(xué)工藝槽以收集來自第一、第二化學(xué)工藝槽的溢流或外漏液體；
排液管線，包括：
第一排液管，其一端連接超純水工藝外槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第二排液管，其一端連接化學(xué)工藝外槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第一氣動(dòng)閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第二氣動(dòng)閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至超純水回收處理系統(tǒng)；
第三氣動(dòng)閥，其一端連接至超純水工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第四氣動(dòng)閥，其一端連接至第一化學(xué)工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第五氣動(dòng)閥，其一端連接至第一化學(xué)工藝槽，另一端引至濃酸回收處理系統(tǒng)；
第六氣動(dòng)閥，其一端連接至第二化學(xué)工藝槽，另一端引至稀酸回收處理系統(tǒng)；
第七氣動(dòng)閥，其一端連接至第二化學(xué)工藝槽，另一端引至濃酸回收處理系統(tǒng)；
其中，通過控制第一-第七氣動(dòng)閥擇一開啟，以對超純水工藝槽、第一、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)不同工藝后狀態(tài)的廢液進(jìn)行分類排放及回收。
優(yōu)選地，通過控制所述第一氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第二-第七氣動(dòng)閥，以將超純水工藝槽內(nèi)的廢液通過第一氣動(dòng)閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第二氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一氣動(dòng)閥、第三-第七氣動(dòng)閥，以將超純水工藝槽內(nèi)的廢液通過第二氣動(dòng)閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第三氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一-第二氣動(dòng)閥、第四-第七氣動(dòng)閥，以將超純水工藝槽內(nèi)的廢液通過第三氣動(dòng)閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第四氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一-第三氣動(dòng)閥、第五-第七氣動(dòng)閥，以將第一化學(xué)工藝槽內(nèi)的廢液通過第四氣動(dòng)閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第五氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一-第四氣動(dòng)閥、第六-第七氣動(dòng)閥，以將第一化學(xué)工藝槽內(nèi)的廢液通過第五氣動(dòng)閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第六氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一-第五氣動(dòng)閥、第七氣動(dòng)閥，以將第二化學(xué)工藝槽內(nèi)的廢液通過第六氣動(dòng)閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過控制所述第七氣動(dòng)閥開啟，并關(guān)閉第一-第六氣動(dòng)閥，以將第二化學(xué)工藝槽內(nèi)的廢液通過第七氣動(dòng)閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
優(yōu)選地，通過第一排液管及其所在排液管線直接將超純水工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并通過第二排液管及其所在排液管線直接將化學(xué)工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
一種石英管清洗機(jī)的分類回收方法，采用上述的石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)，包括以下步驟：
步驟S01：向超純水工藝槽內(nèi)注入超純水，將石英管放置于超純水工藝槽中進(jìn)行預(yù)清洗；
步驟S02：使第一氣動(dòng)閥唯一開啟，將超純水工藝槽內(nèi)預(yù)清洗后的廢液通過第一氣動(dòng)閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S03：將預(yù)清洗后的石英管分別放置于第一化學(xué)工藝槽和/或第二化學(xué)工藝槽中進(jìn)行化學(xué)清洗；
步驟S04：向超純水工藝槽內(nèi)注入超純水，將化學(xué)清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進(jìn)行第一次超純水清洗；
步驟S05：使第三氣動(dòng)閥唯一開啟，將超純水工藝槽內(nèi)第一次超純水清洗后的廢液通過第三氣動(dòng)閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S06：向超純水工藝槽內(nèi)注入超純水，將第一次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進(jìn)行第二次超純水清洗；
步驟S07：使第二氣動(dòng)閥唯一開啟，將超純水工藝槽內(nèi)第二次超純水清洗后的廢液通過第二氣動(dòng)閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S08：向超純水工藝槽內(nèi)注入超純水，將第二次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽中進(jìn)行第三次超純水清洗；
步驟S09：使第一氣動(dòng)閥唯一開啟，將超純水工藝槽內(nèi)第三次超純水清洗后的廢液通過第一氣動(dòng)閥所在排液管線排放至超純水回收處理系統(tǒng)；
步驟S10：重復(fù)步驟S01-步驟S09，對規(guī)定數(shù)量的石英管分別進(jìn)行預(yù)清洗、化學(xué)清洗及第一-第三次超純水清洗；以及
步驟S11：當(dāng)?shù)谝?、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)化學(xué)清洗液到達(dá)使用壽命時(shí)，分別使第五、第七氣動(dòng)閥唯一開啟，將第一、第二化學(xué)工藝槽中的廢液分別經(jīng)第五、第七氣動(dòng)閥所在排液管線排放至濃酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S12：向第一、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)分別注入超純水，對第一、第二化學(xué)工藝槽進(jìn)行清洗，并使第四、第六氣動(dòng)閥唯一開啟，將第一、第二化學(xué)工藝槽中的廢液分別經(jīng)第四、第六氣動(dòng)閥所在排液管線排放至稀酸回收處理系統(tǒng)；
步驟S13：向第一、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)分別注入新的化學(xué)清洗液，開始對新的規(guī)定數(shù)量的石英管分別進(jìn)行化學(xué)清洗；
上述步驟中，通過第一排液管及其所在排液管線直接將超純水工藝外槽內(nèi)由超純水工藝槽溢流出的液體廢液或由于超純水工藝槽結(jié)構(gòu)性損壞而導(dǎo)致外漏的液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并通過第二排液管及其所在排液管線直接將化學(xué)工藝外槽內(nèi)由第一、第二化學(xué)工藝槽溢流出的液體廢液或由于第一、第二化學(xué)工藝槽結(jié)構(gòu)性損壞而導(dǎo)致外漏的液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過在超純水工藝槽外圍設(shè)置超純水工藝外槽及在第一、第二化學(xué)工藝槽外圍設(shè)置化學(xué)工藝外槽，可分別通過排液管直接將超純水工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)、將化學(xué)工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)，不但可防止廢液外泄污染環(huán)境，還可加以分類回收；并針對超純水工藝槽及第一、第二化學(xué)工藝槽所處的不同工藝狀態(tài)，通過控制分別設(shè)置的第一-第七氣動(dòng)閥擇一開啟，并通過對應(yīng)排液管線對超純水工藝槽、第一、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)不同工藝后狀態(tài)的廢液進(jìn)行分類排放及回收，可全面實(shí)現(xiàn)對石英管清洗機(jī)包括超純水及化學(xué)清洗液在內(nèi)的各類廢液進(jìn)行細(xì)致的分類回收，從而減少了廢液處理過程中的大量浪費(fèi)，并有效降低了回收系統(tǒng)的負(fù)荷，因此節(jié)省了回收成本。
附圖說明
圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理圖；
圖中：1、超純水工藝外槽，2、化學(xué)工藝外槽，11、超純水工藝槽，21、第一化學(xué)工藝槽，22、第二化學(xué)工藝槽，31、第一排液管，32、第二排液管，33、第三排液管，34、第四排液管，35、第五排液管，36、第六排液管，37、第七排液管，38、第八排液管，39、第九排液管，41、第一氣動(dòng)閥，42、第二氣動(dòng)閥，43、第三氣動(dòng)閥，44、第四氣動(dòng)閥，45、第五氣動(dòng)閥，46、第六氣動(dòng)閥，47、第七氣動(dòng)閥。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
需要說明的是，在下述的具體實(shí)施方式中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說明，特對附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對本發(fā)明的限定來加以理解。
在以下本發(fā)明的具體實(shí)施方式中，請參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理圖。如圖1所示，本發(fā)明的一種石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)，包括：超純水工藝槽11，超純水工藝外槽1，第一化學(xué)工藝槽21，第二化學(xué)工藝槽22，化學(xué)工藝外槽2，以及排液管線；排液管線包括：第一-第九排液管31-39，設(shè)置在對應(yīng)排液管線上的第一-第七氣動(dòng)閥41-47。
請參閱圖1。超純水工藝槽11用于容納注入的潔凈超純水，以清洗放置于其中的石英管。超純水工藝槽11位于超純水工藝外槽1之內(nèi)。超純水工藝外槽1位于超純水工藝槽11外，且將超純水工藝槽包圍，以將超純水工藝槽容納其中；超純水工藝外槽1用于收集從超純水工藝槽11溢流出來的液體，或者是收集由于超純水工藝槽發(fā)生結(jié)構(gòu)性損壞等問題而導(dǎo)致外漏的液體。
第一、第二化學(xué)工藝槽21、22用于各容納一種用于清洗石英管的化學(xué)清洗液，如HF、HNO3或兩者混合液等；第一、第二化學(xué)工藝槽21、22可并列設(shè)置在超純水工藝槽11一側(cè)，并位于化學(xué)工藝外槽2之內(nèi)?；瘜W(xué)工藝外槽2位于第一化學(xué)工藝槽和第二化學(xué)工藝槽21和22外，且將第一、第二化學(xué)工藝槽包圍，以將第一、第二化學(xué)工藝槽同時(shí)容納其中；化學(xué)工藝外槽2用于收集從第一、第二化學(xué)工藝槽21、22溢流出來的液體，或者是收集由于第一、第二化學(xué)工藝槽發(fā)生結(jié)構(gòu)性損壞等問題而導(dǎo)致外漏的液體。
在上述的排液管線中，所述第一排液管31一端連接于超純水工藝外槽1，另一端可通過其所在排液管線例如排液管39連接至超純水回收處理系統(tǒng)。所述第二排液管32一端連接于化學(xué)工藝外槽2，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。
所述第一氣動(dòng)閥41可臨近于第一排液管31設(shè)置，其一端可通過其所在排液管線例如排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管路39連接至超純水回收處理系統(tǒng)。所述第二氣動(dòng)閥42可臨近于第一氣動(dòng)閥41設(shè)置，其一端可通過排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管38連接至超純水回收處理系統(tǒng)；所述第三氣動(dòng)閥43可臨近于第二氣動(dòng)閥42設(shè)置，其一端可通過排液管33連接于超純水工藝槽11，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。
所述第四氣動(dòng)閥44一端可通過排液管34連接于第一化學(xué)工藝槽21，另一端可通過排液管路37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。所述第五氣動(dòng)閥45可臨近于第四氣動(dòng)閥44設(shè)置，其一端可通過排液管34連接于第一化學(xué)工藝槽21，另一端可通過排液管36連接至濃酸回收處理系統(tǒng)。所述第六氣動(dòng)閥46一端可通過排液管路35連接于第二化學(xué)工藝槽22，另一端可通過排液管37連接至稀酸回收處理系統(tǒng)。所述第七氣動(dòng)閥47可臨近于第六氣動(dòng)閥46設(shè)置，其一端可通過排液管35連接于第二化學(xué)工藝槽21，另一端可通過排液管36連接至濃酸回收處理系統(tǒng)。
請繼續(xù)參閱圖1?？赏ㄟ^控制第一-第七氣動(dòng)閥41-47的擇一開啟，來實(shí)現(xiàn)對超純水工藝槽11、第一、第二化學(xué)工藝槽21、22內(nèi)不同工藝后狀態(tài)的廢液進(jìn)行分類排放及回收。具體可采用如下方式：
當(dāng)所述第一氣動(dòng)閥41開啟，而第二-第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第一氣動(dòng)閥所在排液管線即排液管33和39，可以將超純水工藝槽11內(nèi)的廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第二氣動(dòng)閥42開啟，而第一氣動(dòng)閥、第三-第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第二氣動(dòng)閥所在排液管33和38，可以將超純水工藝槽11內(nèi)的廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第三氣動(dòng)閥43開啟，而第一-第二氣動(dòng)閥、第四-第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第三氣動(dòng)閥所在排液管33和37，可以將超純水工藝槽11內(nèi)的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第四氣動(dòng)閥44開啟，而第一-第三氣動(dòng)閥、第五-第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第四氣動(dòng)閥所在排液管34和37，可以將第一化學(xué)工藝槽21內(nèi)的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第五氣動(dòng)閥45開啟，而第一-第四氣動(dòng)閥、第六-第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第五氣動(dòng)閥所在排液管34和36，可以將第一化學(xué)工藝槽21內(nèi)的廢液排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第六氣動(dòng)閥46開啟，而第一-第五氣動(dòng)閥、第七氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第六氣動(dòng)閥所在排液管35和37，可以將第二化學(xué)工藝槽22內(nèi)的廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
當(dāng)所述第七氣動(dòng)閥47開啟，而第一-第六氣動(dòng)閥關(guān)閉時(shí)，通過第七氣動(dòng)閥所在排液管35和36，可以將第二化學(xué)工藝槽22內(nèi)的廢液排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
并且，可通過第一排液管31及排液管39直接將超純水工藝外槽1內(nèi)的溢流或外漏液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并可通過第二排液管32及排液管37直接將化學(xué)工藝外槽2內(nèi)的溢流或外漏液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
下面結(jié)合具體實(shí)施方式及附圖，對本發(fā)明的一種石英管清洗機(jī)的分類回收方法進(jìn)行詳細(xì)說明。
本發(fā)明的一種石英管清洗機(jī)的分類回收方法，采用上述的石英管清洗機(jī)的分類回收管線系統(tǒng)，可包括以下步驟：
首先，向超純水工藝槽11內(nèi)注入超純水，然后，將一個(gè)規(guī)定數(shù)量清洗批次中的第一個(gè)待清洗石英管放置于超純水工藝槽11中進(jìn)行超純水預(yù)清洗。預(yù)清洗時(shí)可伴隨溢流和鼓氮等工藝。
在完成預(yù)清洗后，將第一氣動(dòng)閥41打開，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；這時(shí)，超純水工藝槽11內(nèi)預(yù)清洗后的廢液將通過第一氣動(dòng)閥41所在排液管33和39排放至超純水回收處理系統(tǒng)，以利回收使用。
接著，將預(yù)清洗后的該石英管分別放置于第一化學(xué)工藝槽21和/或第二化學(xué)工藝槽22中進(jìn)行化學(xué)清洗；清洗完后，將石英管移向超純水工藝槽11。
此時(shí)的超純水工藝槽11內(nèi)已注入新的超純水，即可將化學(xué)清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中進(jìn)行第一次超純水清洗。由于在第一次超純水清洗時(shí)，剛從化學(xué)工藝槽中取出的石英管含酸量較大，所以在對其進(jìn)行第一次超純水清洗完畢后，將第三氣動(dòng)閥43打開，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；這時(shí)，超純水工藝槽11內(nèi)第一次超純水清洗后的廢液將通過第三氣動(dòng)閥43所在排液管33和37排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
接著，向超純水工藝槽11內(nèi)再次注入新的超純水，將經(jīng)過第一次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中進(jìn)行第二次超純水清洗。此時(shí)由于石英管已經(jīng)過了第一次的超純水清洗，含酸量已降低很多；因此，在第二次超純水清洗完后，可將第二氣動(dòng)閥42打開，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；超純水工藝槽11內(nèi)第二次超純水清洗后的廢液即可通過第二氣動(dòng)閥42所在排液管33和38排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
最后，再次將超純水工藝槽11注滿新的超純水，將經(jīng)第二次超純水清洗后的石英管放置于超純水工藝槽11中，進(jìn)行第三次也是最后一次超純水清洗。此時(shí)的石英管表面已基本不含酸；因此，第三次清洗完后，可將第一氣動(dòng)閥41打開，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；這時(shí)，超純水工藝槽11內(nèi)第三次超純水清洗后的廢液將通過第一氣動(dòng)閥41所在排液管33和39排放至超純水回收處理系統(tǒng)。
在對上述第一個(gè)待清洗石英管進(jìn)行完整步驟的清洗后，即可對規(guī)定數(shù)量的該批次后續(xù)石英管按照上述步驟重復(fù)進(jìn)行預(yù)清洗、化學(xué)清洗及第一-第三次超純水清洗及廢液分類排放回收作業(yè)。
在各批次清洗過程中，當(dāng)遇到第一、第二化學(xué)工藝槽21、22內(nèi)化學(xué)清洗液到達(dá)使用壽命的情況時(shí)，即需要對第一、第二化學(xué)工藝槽21、22內(nèi)的化學(xué)清洗液進(jìn)行更新。
這時(shí)，需要分別對第一化學(xué)工藝槽21或第二化學(xué)工藝槽22內(nèi)的化學(xué)清洗液進(jìn)行排放；可將第五氣動(dòng)閥45或第七氣動(dòng)閥47打開，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；此時(shí)，第一化學(xué)工藝槽21中的廢液可經(jīng)第五氣動(dòng)閥45所在排液管34和36排放至濃酸回收處理系統(tǒng)；或者第二化學(xué)工藝槽22中的廢液可經(jīng)第七氣動(dòng)閥47所在排液管35和36排放至濃酸回收處理系統(tǒng)。
接著，需要先對第一化學(xué)工藝槽21或第二化學(xué)工藝槽22進(jìn)行清洗，然后才能注入新的化學(xué)清洗液?？上虻谝换瘜W(xué)工藝槽21或第二化學(xué)工藝槽22內(nèi)分別注入超純水對槽壁進(jìn)行清洗；然后分別打開第四氣動(dòng)閥44或第六氣動(dòng)閥46，并將其它氣動(dòng)閥關(guān)閉；這樣，第一化學(xué)工藝槽21或第二化學(xué)工藝槽22中的廢液就可分別經(jīng)第四氣動(dòng)閥44所在排液管34和37或第六氣動(dòng)閥46所在排液管35和37排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。之后，再向第一化學(xué)工藝槽21或第二化學(xué)工藝槽22內(nèi)分別注入新的化學(xué)清洗液，即可開始對新的規(guī)定數(shù)量的石英管批次分別進(jìn)行化學(xué)清洗。
在上述過程中，可通過第一排液管31及排液管39直接將超純水工藝外槽1內(nèi)由超純水工藝槽11溢流出的液體廢液或由于超純水工藝槽結(jié)構(gòu)性損壞而導(dǎo)致外漏的液體廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)，并可通過第二排液管32及排液管37直接將化學(xué)工藝外槽2內(nèi)由第一、第二化學(xué)工藝槽21、22溢流出的液體廢液或由于第一、第二化學(xué)工藝槽結(jié)構(gòu)性損壞而導(dǎo)致外漏的液體廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)。
綜上所述，本發(fā)明通過在超純水工藝槽外圍設(shè)置超純水工藝外槽及在第一、第二化學(xué)工藝槽外圍設(shè)置化學(xué)工藝外槽，可分別通過排液管直接將超純水工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏廢液排放至超純水回收處理系統(tǒng)、將化學(xué)工藝外槽內(nèi)的溢流或外漏廢液排放至稀酸回收處理系統(tǒng)，不但可防止廢液外泄污染環(huán)境，還可加以分類回收；并針對超純水工藝槽及第一、第二化學(xué)工藝槽所處的不同工藝狀態(tài)，通過控制分別設(shè)置的第一-第七氣動(dòng)閥擇一開啟，并通過對應(yīng)排液管線對超純水工藝槽、第一、第二化學(xué)工藝槽內(nèi)不同工藝后狀態(tài)的廢液進(jìn)行分類排放及回收，可全面實(shí)現(xiàn)對石英管清洗機(jī)包括超純水及化學(xué)清洗液在內(nèi)的各類廢液進(jìn)行細(xì)致的分類回收，從而減少了廢液處理過程中的大量浪費(fèi)，并有效降低了回收系統(tǒng)的負(fù)荷，因此節(jié)省了回收成本。
以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。