本發(fā)明涉及一種水處理設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種超純水生產(chǎn)裝置。

背景技術(shù)：

超純水，是電阻率達(dá)到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化或者一些化工制備過(guò)程中的水汽源等。

車用尿素是柴油車尾氣處理裝置中一個(gè)必不可少的試劑，在車用尿素的混配和制備過(guò)程中，必須要用超純水，因?yàn)橐话愕乃泻写罅康慕饘匐x子和氯化物，會(huì)影響尾氣處理裝置的感應(yīng)器探頭的靈敏度甚至導(dǎo)致設(shè)備的損壞。

現(xiàn)有技術(shù)中制備超純水通常都會(huì)將原水進(jìn)行多道過(guò)濾，并檢測(cè)每道過(guò)濾后的水中離子濃度、電阻率、電導(dǎo)率等參數(shù)，造成裝置包括的零部件和機(jī)構(gòu)過(guò)多，體積過(guò)于龐大，不利于產(chǎn)品的小型化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供一種檢測(cè)項(xiàng)目少，小型化且水質(zhì)達(dá)標(biāo)的超純水生產(chǎn)裝置。

為解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的技術(shù)方案為采用一種超純水生產(chǎn)裝置，包括機(jī)構(gòu)本體，還包括位于所述機(jī)構(gòu)本體內(nèi)部的保安過(guò)濾器，所述保安過(guò)濾器的入水口連接預(yù)處理模塊，

所述反滲透裝置，包括一個(gè)或多個(gè)反滲透膜組件；從所述保安過(guò)濾器中過(guò)濾的水通過(guò)高壓泵進(jìn)入所述反滲透裝置；

電去離子模塊，入水口連接所述反滲透裝置的出水口；

電阻率檢測(cè)裝置，連接所述電去離子模塊的出水口。

優(yōu)選的，還包括電導(dǎo)率檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)所述反滲透裝置出水口水的電導(dǎo)率。

優(yōu)選的，所述預(yù)處理模塊包括通過(guò)管路依次連接的第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)；

所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)中一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾機(jī)構(gòu)的上部均設(shè)置有反沖洗裝置。

優(yōu)選的，還包括原水泵，所述原水泵的出水口與所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)的入水口連接；同時(shí)還連接所述反沖洗裝置。

優(yōu)選的，還包括廢水排放管路，一端與所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)中的一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾機(jī)構(gòu)的頂部連接，另一端連接有廢水收集排放裝置。

優(yōu)選的，所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)為石英砂過(guò)濾器；所述第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)為活性炭過(guò)濾器；所述第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)為軟化器。

優(yōu)選的，還包括鹽箱，連接所述第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述反滲透裝置包括多個(gè)并聯(lián)的反滲透膜組件；經(jīng)保安過(guò)濾器過(guò)濾的水經(jīng)多個(gè)高壓泵進(jìn)入所述多個(gè)并聯(lián)的反滲透膜組件。

優(yōu)選的，還包括第一回流管路，所述第一回流管路一端連接所述反滲透裝置，另一端連接所述預(yù)處理模塊。

優(yōu)選的，還包括第二回流管路，所述第二回流管路一端連接所述電去離子模塊，另一端連接所述預(yù)處理模塊。

本發(fā)明的首要改進(jìn)之處為一種超純水生產(chǎn)裝置，包括機(jī)構(gòu)本體，還包括位于所述機(jī)構(gòu)本體內(nèi)部的保安過(guò)濾器，所述保安過(guò)濾器的入水口連接預(yù)處理模塊，所述反滲透裝置，包括一個(gè)或多個(gè)反滲透膜組件；從所述保安過(guò)濾器中過(guò)濾的水通過(guò)高壓泵進(jìn)入所述反滲透裝置；電去離子模塊，入水口連接所述反滲透裝置的出水口；電阻率檢測(cè)裝置，連接所述電去離子模塊的出水口。本發(fā)明提供的超純水生產(chǎn)設(shè)備使用了預(yù)處理模塊對(duì)原水進(jìn)行預(yù)處理后，水進(jìn)入保安過(guò)濾器，通過(guò)保安過(guò)濾器除去其中濁度為1度以上的細(xì)小微粒。同時(shí)使用多個(gè)反滲透和電去離子模塊(EDI)共用，能夠除去水中的大部分有機(jī)物和無(wú)機(jī)物，使水能夠達(dá)到超純水標(biāo)準(zhǔn)。并且由于本發(fā)明提供的超純水生產(chǎn)裝置優(yōu)選用于小型化的尿素生產(chǎn)設(shè)備中，需要更緊湊和小體型的設(shè)備。所以需要檢測(cè)和控制緩解要盡可能的少，由于上述保安過(guò)濾器、反滲透裝置、EDI模塊和預(yù)處理模塊按照處理順序?qū)υM(jìn)行處理，能夠達(dá)到超純水的標(biāo)準(zhǔn)，僅僅在超純水出口處設(shè)置電阻率檢測(cè)就可以滿足超純水的檢測(cè)，節(jié)省了成本。

附圖說(shuō)明

圖1本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例提供的超純水生產(chǎn)裝置的主視圖示意圖；

圖2本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例提供的超純水生產(chǎn)裝置的側(cè)視圖示意圖；

圖3本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所示的超純水預(yù)處理模塊的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所示的超純水生產(chǎn)裝置及預(yù)處理模塊連接示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

本發(fā)明提供了一種超純水生產(chǎn)裝置，包括機(jī)構(gòu)本體，還包括位于所述機(jī)構(gòu)本體內(nèi)部的保安過(guò)濾器，所述保安過(guò)濾器的入水口連接預(yù)處理模塊，所述反滲透裝置，包括一個(gè)或多個(gè)反滲透膜組件；從所述保安過(guò)濾器中過(guò)濾的水通過(guò)高壓泵進(jìn)入所述反滲透裝置；電去離子模塊，入水口連接所述反滲透裝置的出水口；電阻率檢測(cè)裝置，連接所述電去離子模塊的出水口。

具體的在其中一個(gè)實(shí)施例中如圖1所示，所述超純水生產(chǎn)裝置包括：保安過(guò)濾器A1，高壓泵A2、反滲透裝置A3、保安過(guò)濾器入水口A5、儀表箱A6、EDI模塊A7、超純水出口A8，優(yōu)選在所述超純水出口上設(shè)置有電阻率檢測(cè)裝置。并發(fā)明優(yōu)選使用電阻率傳感器作為超純水電阻率的檢測(cè)裝置，所述電阻率傳感器將電阻率數(shù)據(jù)傳輸給儀表箱中的處理單元，并顯示在儀表箱電阻儀的顯示面板上。

按照本發(fā)明，為了能夠控制EDI工作的狀態(tài)及工作時(shí)間，本發(fā)明還包括電導(dǎo)率檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)所述反滲透裝置出水口水的電導(dǎo)率。檢測(cè)電導(dǎo)率顯示在所述儀表箱的電導(dǎo)儀的顯示面板上。如圖2所示，所述儀表箱優(yōu)選包括電導(dǎo)儀A61、電阻儀A62、壓力表A63和流量計(jì)A64。以上均為超純水生產(chǎn)設(shè)備中的常用的檢測(cè)儀器。按照本發(fā)明，EDI的工作過(guò)程，為填充在膜堆中的離子交換樹脂可答題分為兩部分，一部分稱作工作述職，其再生程度較低，主要起傳到離子的作用，另一部分稱作拋光述職，不僅起著傳到離子的作用，而且還起著離子交換的作用，另種樹脂的界限為工作前沿。工作述職承擔(dān)著除去鈉離子、氯離子、鈣離子、鎂離子硫酸根等大部分離子的任務(wù)，而拋光樹脂則承擔(dān)著去除碳酸、氨水、硅酸等弱電解質(zhì)的任務(wù)。在兩端的正、負(fù)電極上，會(huì)產(chǎn)生氯氣，氧氣和氫氣等電極反應(yīng)產(chǎn)物，這些產(chǎn)物必須由極水帶出EDI。所以為了充分發(fā)揮離子的快速遷移和樹脂的再生作用，EDI更適合于處理低含鹽量的誰(shuí)，而直接產(chǎn)生純水和高純水。

為了進(jìn)一步達(dá)到超純水的處理標(biāo)準(zhǔn)，優(yōu)選在超純水生產(chǎn)過(guò)程中加入預(yù)處理模塊，本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例提供的預(yù)處理模塊如圖3所示，所述預(yù)處理模塊包括通過(guò)管路依次連接的第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)B1、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)B2和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)B3；所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)中一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾機(jī)構(gòu)均設(shè)置有反沖洗裝置B5。還包括原水泵B4，所述原水泵的出水口與所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)B1的入水口連接；同時(shí)還連接所述反沖洗裝置。還包括廢水排放管路，一端與所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)B1、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)B2、第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)B3中的一個(gè)或多個(gè)過(guò)濾機(jī)構(gòu)的頂部連接，另一端連接有廢水收集排放裝置B7。所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)為石英砂過(guò)濾器；所述第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)為活性炭過(guò)濾器；所述第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)為軟化器。還包括鹽箱B6，連接所述第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)B3。由于B3為軟化器，所以為了使所述軟化器能夠再生，需要通過(guò)抽取鹽箱中的鹽水來(lái)指環(huán)軟化器中吸附的金屬離子。

在本發(fā)明的另一個(gè)具體實(shí)施例如圖4所述超純水處理裝置主要包括前后連通的預(yù)處理模塊以及超純水生產(chǎn)裝置，圖中只是示意圖，圖中的零件比例并沒有嚴(yán)格的限定。其中預(yù)處理模塊包括原水泵2，依次串聯(lián)連通的多介質(zhì)過(guò)濾器3、活性碳過(guò)濾器以及軟化過(guò)濾器5，超純水處理模塊包括依次連通的保安過(guò)濾器7、第一高壓泵9、第一級(jí)反滲透裝置10、第二高壓泵11、第二級(jí)反滲透裝置12、水泵13和EDI(連續(xù)電除鹽)模塊。所述的多介質(zhì)過(guò)濾器3、活性炭過(guò)濾器4以及軟化過(guò)濾器5采用自動(dòng)控制頭18控制，所述自動(dòng)控制頭18為市面上采購(gòu)，本發(fā)明的多介質(zhì)過(guò)濾器3和活性碳過(guò)濾器采用潤(rùn)新全自動(dòng)F71F67型過(guò)濾閥，軟化過(guò)濾器5采用潤(rùn)新全自動(dòng)F65型時(shí)間流量軟化閥。多介質(zhì)過(guò)濾器3和活性炭過(guò)濾器4分別設(shè)有沖洗管路(圖中未示出)與所述自動(dòng)控制頭18連通，在自動(dòng)控制頭18的控制下可實(shí)現(xiàn)正反方向的來(lái)回沖洗。所述軟化過(guò)濾器5與鹽箱6連通，在自動(dòng)控制頭18的控制下從鹽箱6抽入鹽水使軟化過(guò)濾器5得以再生。

按照實(shí)施例，所述超純水處理模塊的第一級(jí)反滲透裝置10為兩個(gè)并聯(lián)的反滲透膜組件，進(jìn)入第一級(jí)反滲透裝置10的水一分為二同時(shí)進(jìn)入兩個(gè)反滲透膜組件再同時(shí)從兩個(gè)反滲透膜組件中流出合并流入第二級(jí)反滲透裝置12。第二級(jí)反滲透裝置12為一個(gè)反滲透膜組件。在第一級(jí)反滲透膜組件前保安過(guò)濾器7之后設(shè)有第一高壓泵9，在第二級(jí)反滲透裝置12前設(shè)有第二高壓泵11，所述第一高壓泵9為第一級(jí)反滲透裝置10提供工作必須的水壓，所述第二高壓泵11為第二級(jí)反滲透裝置12提供工作必須的水壓。所述第二級(jí)反滲透裝置12后連接EDI模塊14，在EDI模塊14前設(shè)有水泵13。經(jīng)EDI處理之后的水流向超純水箱15存儲(chǔ)備用。

按照本實(shí)施例，所述的預(yù)處理模塊前連接有原水泵2，對(duì)于有自來(lái)水地區(qū)，自來(lái)水直接通過(guò)原水泵2進(jìn)入預(yù)處理模塊，對(duì)于條件不足地區(qū)，可以在原水泵2前加設(shè)原水箱1儲(chǔ)水。經(jīng)原水泵2抽出的水進(jìn)入多介質(zhì)過(guò)濾器3，流動(dòng)方向?yàn)閺纳系较?，紅多介質(zhì)過(guò)濾器3過(guò)濾的水留在多介質(zhì)過(guò)濾器3底部，再抽到活性炭過(guò)濾器4頂部由活性炭過(guò)濾器4過(guò)濾，過(guò)濾后再經(jīng)過(guò)軟化過(guò)濾器5過(guò)濾流入超純水處理模塊的保安過(guò)濾器7中。所述多介質(zhì)過(guò)濾器3作為本發(fā)明的一實(shí)施例可以采用石英沙和/或錳沙，優(yōu)選的上部采用石英沙，下部采用錳沙，用于除去顆粒大的雜質(zhì)和鐵。所述活性炭過(guò)濾器4用于除臭，所述軟化過(guò)濾器5用于除鈣離子和硅離子，以減少對(duì)反滲透膜的破壞。經(jīng)預(yù)處理后的水進(jìn)入保安過(guò)濾器7，經(jīng)保安過(guò)濾器7過(guò)濾后的水進(jìn)入第一高壓泵9，在取樣管路8上朝取樣口方向依次設(shè)有壓差開關(guān)和手動(dòng)控制閥，用于取樣以確定對(duì)所述預(yù)處理模塊進(jìn)行清洗的時(shí)間。水經(jīng)第一高壓泵9壓入第一級(jí)反滲透裝置10，在第一高壓泵9與第一級(jí)反滲透裝置10之間設(shè)有壓力表和壓差開關(guān)。經(jīng)第一級(jí)反滲透裝置10過(guò)濾后的水進(jìn)入第二高壓泵11，在第一級(jí)反滲透裝置10與第二高壓泵11之間沿水流方向依次設(shè)有流量計(jì)、電導(dǎo)儀、壓力表及壓差開關(guān)。第二高壓泵11壓出的水進(jìn)入第二級(jí)反滲透裝置12，在第二級(jí)反滲透裝置12后設(shè)有流量計(jì)、電導(dǎo)儀和壓差開關(guān)。經(jīng)第二級(jí)反滲透裝置12處理后剩下的水經(jīng)第一回流管路16流回到水箱，也可以流回到預(yù)處理模塊中的任一位置。經(jīng)EDI模塊14處理后的水流入超純水箱15，在EDI與超純水箱15之間的管路上設(shè)有流量計(jì)及電導(dǎo)儀，經(jīng)EDI處理后剩下的水經(jīng)第二回流管路17流回到原水箱1，也可以流回到預(yù)處理模塊中的任一位置。

第一級(jí)反滲透裝置10之所以采用兩個(gè)并聯(lián)的反滲透膜組件，是因?yàn)槿缜懊娴姆礉B透膜因?yàn)閴毫Σ环€(wěn)、破損、堵塞或結(jié)垢等原因遭到破壞，很快就會(huì)導(dǎo)致后面的反滲透膜和EDI模塊14受到破壞。在第一級(jí)反滲透裝置10采用兩個(gè)并聯(lián)的反滲透膜組件，主要起一個(gè)緩沖作用。一方面若一個(gè)反滲透膜組件壞了，會(huì)導(dǎo)致第一級(jí)反滲透裝置10后面的電導(dǎo)率發(fā)生變化，經(jīng)電導(dǎo)儀檢測(cè)出，由此可以迅速的排除故障；另一方面若一個(gè)反滲透膜組件壞了，還有一個(gè)能正常工作，不會(huì)對(duì)后生產(chǎn)造成很大的影響。需要說(shuō)明的是本發(fā)明采用兩個(gè)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以根據(jù)需要予以擴(kuò)展，如在第一級(jí)反滲透膜裝置中采用兩個(gè)以上并聯(lián)的反滲透膜組件。

本發(fā)明通過(guò)兩個(gè)并聯(lián)的反滲透模組件組成的第一級(jí)反滲透裝置10為系統(tǒng)故障處理提供一個(gè)緩沖時(shí)間，在處理故障時(shí)系統(tǒng)還可以運(yùn)行，由此保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。通過(guò)在多介質(zhì)過(guò)濾器3、活性炭過(guò)濾器4以及軟化過(guò)濾器5上增加自動(dòng)控制頭18實(shí)現(xiàn)自身清潔，延長(zhǎng)了預(yù)處理系統(tǒng)的使用壽命。通過(guò)在第二反滲透裝置后設(shè)第一回流管路16，在EDI模塊14后設(shè)第二回流管路17，將第二反滲透裝置及EDI模塊14處理后剩下的水回流提高水資源利用率。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述超純水生產(chǎn)裝置的生產(chǎn)流程具體為：原水通過(guò)原水泵通過(guò)超濾膜進(jìn)行第一次過(guò)濾后，連續(xù)進(jìn)入第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)，所述第一過(guò)濾機(jī)構(gòu)、第二過(guò)濾機(jī)構(gòu)和第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)通過(guò)全自動(dòng)沖洗閥進(jìn)行控制，能夠?qū)崿F(xiàn)反沖洗，反沖洗的目的是為了洗去過(guò)濾機(jī)構(gòu)內(nèi)殘留的濾渣，使過(guò)濾機(jī)構(gòu)內(nèi)的過(guò)濾介質(zhì)再生。另外鹽箱內(nèi)還有含有鉀、鈉離子的鹽溶液，用于對(duì)第三過(guò)濾機(jī)構(gòu)的介質(zhì)進(jìn)行重生。通過(guò)預(yù)處理后的原水進(jìn)入保安過(guò)濾器，經(jīng)保安過(guò)濾器除去濁度為1以上的顆粒后，通過(guò)高壓泵進(jìn)入反滲透裝置進(jìn)行反滲透過(guò)濾，檢測(cè)電導(dǎo)率不超過(guò)預(yù)設(shè)值后，水進(jìn)入EDI模塊進(jìn)行分離，把極水、濃水和淡水分開，極水和濃水通過(guò)第二回流管路進(jìn)入廢水處理裝置，淡水通過(guò)電阻率檢測(cè)后達(dá)標(biāo)，得到超純水。

以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出的是，上述優(yōu)選實(shí)施方式不應(yīng)視為對(duì)本發(fā)明的限制，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。