1.一種自動化干法清洗裝置，其特征是：所述的自動化干法清洗裝置包含高壓二氧化碳氣瓶（1）、控壓閥（2）、電控閥門（3）、空氣過濾器（4）、智能噴射探頭（5）、長焦距顯微鏡（6）、工作站（7）、五自由度電位移臺（8）、圖像轉(zhuǎn)換控制器（10）、五自由度電位移臺控制器（11）、電控閥門控制器（12）、智能噴射探頭控制器（13）；其中，所述的智能噴射探頭（5）含有文丘里管（51）、二極管激光器（52）、四象限光電二極管（53）、距離感應(yīng)器（54）、線纜轉(zhuǎn)換器（55）、定位板（56）、絕緣轉(zhuǎn)接板（57）；所述的五自由度電位移臺（8）含有水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）、俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）、x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）、載物臺（86）；
其連接關(guān)系是，所述的高壓二氧化碳氣瓶（1）、控壓閥（2）、電控閥門（3）、空氣過濾器（4）、智能噴射探頭（5）的文丘里管（51）通過高壓氣管依次連接；智能噴射探頭（5）中的文丘里管（51）通過螺釘固定在定位板（56）上，二極管激光器（52）、四象限光電二極管（53）、距離感應(yīng)器（54）固定在絕緣轉(zhuǎn)接板（57）上，絕緣轉(zhuǎn)接板（57）通過螺釘固定在定位板（56）上，線纜轉(zhuǎn)換器（55）固定在定位板（56）上，二極管激光器（52）、四象限光電二極管（53）、距離感應(yīng)器（54）的控制線連接至線纜轉(zhuǎn)換器（55）；五自由度電位移臺（8）的水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）、俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）、x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）從下往上依次固定連接，水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）與俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）的中軸線正交，水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）與z軸方向電動平移臺（85）同軸設(shè)置，x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）相互垂直且交于同一點，載物臺（86）固定在z軸方向電動平移臺（85）上；被清洗工件（9）固定在載物臺（86）上，被清洗工件（9）的法線方向與y軸方向一致；
所述的智能噴射探頭（5）與長焦距顯微鏡（6）位于被清洗工件的同一側(cè)；電控閥門（3）、電控閥門控制器（12）、工作站（7）通過信號傳輸電纜依次連接，長焦距顯微鏡（6）、圖像轉(zhuǎn)換控制器（10）、工作站（7）通過信號傳輸電纜依次連接，五自由度電位移臺（8）、五自由度電位移臺控制器（11）、工作站（7）通過信號傳輸電纜依次連接，智能噴射探頭（5）的線纜轉(zhuǎn)換器（55）、智能噴射探頭控制器（13）、工作站（7）通過信號傳輸電纜依次連接；清洗介質(zhì)二氧化碳氣體由高壓二氧化碳氣瓶（1）輸出，經(jīng)高壓氣管輸送，依次通過控壓閥（2）、電控閥門（3）、空氣過濾器（4）、智能噴射探頭（5）；智能噴射探頭（5）中的文丘里管（51）噴射出固體、液體、氣體混合物到達被清洗工件（9）表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化干法清洗裝置，其特征是：所述的五自由度電位移臺（8）的水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）、俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）、x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）的連接關(guān)系設(shè)置為x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）從下往上依次固定連接，水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）、俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）固定在z軸方向電動平移臺（85）上，水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）與俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）的中軸線正交，水平旋轉(zhuǎn)電位移臺（81）與z軸方向電動平移臺（85）同軸，x軸方向電動平移臺（83）、y軸方向電動平移臺（84）、z軸方向電動平移臺（85）相互垂直且交于同一點，載物臺（86）固定在俯仰角度旋轉(zhuǎn)電位移臺（82）上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化干法清洗裝置，其特征是：所述的高壓二氧化碳氣瓶（1）中氣體壓強的范圍為1MPa~50MPa。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動化干法清洗裝置，其特征是：所述的距離感應(yīng)器（54）為激光距離感應(yīng)器或超聲波距離感應(yīng)器。