本實(shí)用新型涉及一種清潔裝置，尤其涉及一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置。

背景技術(shù)：

MOCVD石墨盤烤盤爐是生產(chǎn)LED外延片的裝置，烤盤爐每隔7小時(shí)就會完成一個(gè)循環(huán)，循環(huán)結(jié)束后，為了保持產(chǎn)品的質(zhì)量，需要對烤盤爐的腔體進(jìn)行清理，主要是高溫冷卻后粘結(jié)在腔壁上的GaN物質(zhì)去除。

現(xiàn)有技術(shù)中的烤盤爐保溫層呈圓柱體，高度較高，一般的為1.78米，頂端距地面達(dá)到1.8米，使用梯子撐高后仍然難清理干凈，清理需要耗費(fèi)大量的時(shí)間及人力成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：

一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置，MOCVD石墨盤烤盤爐包括冷卻筒及位于冷卻筒內(nèi)的保溫筒，所述冷卻筒的內(nèi)壁與所述保溫筒的外壁之間形成一環(huán)狀空間，

所述清潔裝置包括設(shè)置于所述環(huán)狀空間內(nèi)用于對保溫筒的外壁進(jìn)行清潔的弧形毛刷、及一驅(qū)動所述弧形毛刷在環(huán)狀空間內(nèi)軸向往復(fù)運(yùn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述弧形毛刷為用于對保溫筒的外壁及冷卻筒的內(nèi)壁進(jìn)行清潔的雙面毛刷。

優(yōu)選的，所述弧形毛刷包括弧形支撐架和設(shè)置于所述弧形支撐架上的毛刷體。

優(yōu)選的，所述弧形支撐架為空心的弧形軸管，并且弧形軸管上開設(shè)有吸塵孔，所述弧形軸管連接有吸塵機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述環(huán)狀空間內(nèi)具有至少兩根軸向設(shè)置的滑軌，任意兩滑軌之間均具有一弧形毛刷，弧形毛刷的兩端分別滑接于所述滑軌上。

優(yōu)選的，所述環(huán)狀空間內(nèi)具有三根軸向設(shè)置的滑軌，所述三根滑軌均勻分布于所述環(huán)狀空間內(nèi)。

優(yōu)選的，所述滑軌上設(shè)有滑動設(shè)置的滑塊，所述滑塊的兩側(cè)分別具有一用于連接所述弧形毛刷的連接部。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)為電動液壓推桿。

本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在：

1.在MOCVD石墨盤烤盤爐的環(huán)狀空間內(nèi)設(shè)置了自動清潔裝置，通過弧形毛刷實(shí)現(xiàn)對保溫筒外壁及冷卻筒內(nèi)壁的自動清潔，提高了清潔效率，降低了清潔成本；

2.弧形毛刷具有吸塵功能，當(dāng)弧形毛刷將保溫筒外壁及冷卻筒內(nèi)壁上的GaN等物質(zhì)清刷剝離為浮塵后，通過吸塵孔能及時(shí)排出；

3.滑軌能實(shí)現(xiàn)對弧形毛刷進(jìn)行導(dǎo)向，使弧形毛刷的往復(fù)運(yùn)動運(yùn)行更穩(wěn)定，使清潔裝置結(jié)構(gòu)更牢固。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置的截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是弧形毛刷的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合附圖所示的具體實(shí)施方式對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。但這些實(shí)施方式并不限于本實(shí)用新型，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)這些實(shí)施方式所做出的結(jié)構(gòu)、方法、或功能上的變換均包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。

一種MOCVD石墨盤烤盤爐的清潔裝置，MOCVD石墨盤烤盤爐包括冷卻筒1及位于冷卻筒1內(nèi)的保溫筒2，冷卻筒1的內(nèi)壁與保溫筒2的外壁之間形成一環(huán)狀空間3。

本實(shí)用新型的清潔裝置如圖1和圖2所示，其包括設(shè)置于環(huán)狀空間3內(nèi)用于對保溫筒2的外壁進(jìn)行清潔的弧形毛刷4、及一驅(qū)動弧形毛刷4在環(huán)狀空間3內(nèi)軸向往復(fù)運(yùn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)5。

具體的清潔過程及原理：

通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)5實(shí)現(xiàn)對弧形毛刷4的驅(qū)動，如圖2中箭頭方向所示，弧形毛刷在環(huán)狀空間3內(nèi)軸向線性往復(fù)運(yùn)動，弧形毛刷4的刷體部分與保溫筒2的外壁之間具有一定的壓力，在弧形毛刷4運(yùn)動過程中，對保溫筒2的外壁進(jìn)行清潔，將其表面上的GaN等物質(zhì)清刷剝離，實(shí)現(xiàn)了自動清潔。

對弧形毛刷進(jìn)行優(yōu)化，弧形毛刷4為用于對保溫筒2的外壁及冷卻筒1的內(nèi)壁進(jìn)行清潔的雙面毛刷?；⌒蚊⒕哂须p面的刷體，刷體分別與保溫筒外壁及冷卻筒內(nèi)壁相抵，能實(shí)現(xiàn)對兩者的清潔。

更優(yōu)地，如圖3所示，弧形毛刷4包括弧形支撐架6和設(shè)置于弧形支撐架6上的毛刷體7，毛刷體可拆卸設(shè)置于弧形支撐架6上，能實(shí)現(xiàn)毛刷體的替換?；⌒沃渭?為空心的弧形軸管，并且弧形軸管上開設(shè)有吸塵孔8，弧形軸管連接有吸塵機(jī)構(gòu)。通過該吸塵機(jī)構(gòu)使吸塵孔具有吸附力，將清刷剝離的GaN等物質(zhì)沿吸塵孔、弧形軸管進(jìn)入吸塵機(jī)構(gòu)內(nèi)，清潔有效。

另外，為增加清潔裝置的穩(wěn)定性，在環(huán)狀空間內(nèi)設(shè)置至少兩根軸向設(shè)置的滑軌9，任意兩滑軌之間均具有一弧形毛刷4，弧形毛刷4的兩端分別滑接于滑軌9上。通過滑軌在增加清潔裝置結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)對弧形毛刷的導(dǎo)向，增加弧形毛刷清潔的穩(wěn)定性。

優(yōu)選實(shí)施例中，環(huán)狀空間3內(nèi)具有三根軸向設(shè)置的滑軌9，三根滑軌9均勻分布于環(huán)狀空間內(nèi)。并且，為了簡化弧形毛刷的裝配結(jié)構(gòu)，在滑軌9上設(shè)有滑動設(shè)置的滑塊，滑塊的兩側(cè)分別具有一用于連接弧形毛刷4的連接部。通過該連接部能實(shí)現(xiàn)對弧形毛刷的快速裝配。

最后，對驅(qū)動機(jī)構(gòu)進(jìn)行描述，其為電動液壓推桿。電動液壓推桿能實(shí)現(xiàn)對弧形毛刷的往復(fù)推動，當(dāng)然亦可采用氣缸推桿等。

上文所列出的一系列的詳細(xì)說明僅僅是針對本實(shí)用新型的可行性實(shí)施方式的具體說明，它們并非用以限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡未脫離本實(shí)用新型技藝精神所作的等效實(shí)施方式或變更均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。