本發(fā)明涉及半導體和顯示行業(yè)中的對玻璃基板等進行清洗的技術領域，具體地，涉及一種等離子體清洗設備。

背景技術：

等離子體是物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。它由電離的導電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子以及光子。

低溫等離子體空間富集的離子、電子、激發(fā)態(tài)原子、分子及自由基均為活性粒子，易于和材料表面發(fā)生反應，，在等離子體區(qū)域，等離子可以將有機物發(fā)生化學反應使其分解，或使顆粒物荷電后沉積，或通過放電產(chǎn)生的紫外線或其他強氧化物質(zhì)將細菌去除。因而在滅菌、表面改性、薄膜沉積、刻蝕加工、器件清洗等領域得到廣泛應用。

就反應機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。

近年來，由于玻璃制品在幕墻、手機屏幕、電腦顯示屏等等方面的廣泛應用，對玻璃表面的改性以及清洗越來越重要。目前，對玻璃的表面處理有擦洗、噴射清洗、有機溶劑蒸氣脫脂、超聲波清洗等方法。其中：

擦洗方法：效果不佳且耗時費力。

噴射：一般先后使用熱水、含洗滌劑的水溶液、自來水、去離子水作為溶劑進行噴射清洗，此方法使用的溶劑易對玻璃表面造成損壞，且設備成本高、污染大。

有機溶劑蒸氣處理玻璃表面：在15min內(nèi)能清除玻璃表面的油脂膜，可作為最后一道清洗工序，但該方法處理后的玻璃帶靜電，易吸附灰塵，還需后續(xù)工序及設備來消除靜電。

超聲波清洗：雖能清洗玻璃表面污漬，但是超聲波清洗設備噪音較大、換能器易壞。

技術實現(xiàn)要素：

1、所要解決的技術問題：

本發(fā)明的目的是提供一種利用等離子技術能有效對玻璃進行表面清潔和提高表面張力的技術方案。

2、方案：

大氣常壓差分輸出激勵低溫等離子體玻璃清洗裝置，包括低溫等離子體激勵部分和低溫等離子體發(fā)生裝置；所述低溫等離子體激勵部分包括低溫等離子體電源發(fā)生器，低溫等離子體變壓器；低溫等離子體發(fā)生裝置包括兩只電極 4 ，所述低溫等離子體電源發(fā)生器通過等離子體變壓器與兩只等離子體電極 4 相連；低溫等離子體發(fā)生裝置還包括低溫等離子體電極間隙調(diào)整裝置、等離子體電極固定板 2 、整體金屬方形支架 1 ，和散熱排風的接口 3 ；

所述第一等離子體電極通過等離子體電極固定板 2 固定在金屬方形支架 1 的腰線上；第二等離子體電極與第一等離子電極平行，且第二等離子體電極設置等離子電極間隙調(diào)整裝置調(diào)整兩只電極的相對位置；所述散熱排風的接口 3 置于金屬方形支架 1 上。

進一步地，所述等離子體電極固定板 2 為絕緣體。

所述等離子體間隙調(diào)整裝置由間隙螺釘 5 和平衡螺釘 6 組成，所述調(diào)節(jié)間隙螺釘 5 至少兩個，通過調(diào)節(jié)電極固定板 2 的高低調(diào)節(jié)電極間隙；所述調(diào)節(jié)平衡螺釘 6 至少四個，通過調(diào)節(jié)電極固定板 2 的平衡調(diào)節(jié)電極平衡。

所述低溫等離子體電源發(fā)生器為中頻高壓差分輸出激勵的電源。

所述等離子體電極 4 由表面具有稀土涂層的剛玉管制作而成，所述等離子體電極 4 包括表面具有稀土涂層的剛玉電極管、內(nèi)冷進氣口9和內(nèi)冷出氣口7；所述內(nèi)冷進出氣口與風機通過管道相連等離子體電源采用高頻高壓差分輸出激勵方式能夠有效降低高壓絕緣難度，提高電氣安全性。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的前視結構示意圖；

圖2是俯視結構示意圖；

圖3是等離子體電極結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發(fā)明的技術方案做進一步的詳細說明：

本發(fā)明所公開的大氣常壓差分輸出激勵低溫等離子體玻璃清洗裝置結構示意圖如圖1所示，所述裝置包括等離子體電極4、等離子體電極固定板（2）、電極間隙調(diào)整裝置、方形外殼，其中一個電極通過絕緣材料與金屬方形支架 1 固定在一起，居于下方位置，另外一個電極同樣通過絕緣材料與金屬方形支架 1 固定在一起，居于上方位置，同時可以通過等離子體電極間隙調(diào)整裝置調(diào)節(jié)高度與平衡位置。當兩個電極與等離子體電源發(fā)生器接通，而且等離子體電源發(fā)生器采用差分輸出激勵方式，在兩電極中間形成零電勢面，材料在零電勢面上兩面獲得同樣的等離子體處理。

在金屬方形支架 1 設置散熱排風的接口3，散熱排風的接口3與風機相連，通過風機將腔室內(nèi)空氣向外抽取，則腔室內(nèi)外形成一定的氣壓差，使腔室內(nèi)的等離子氣體不斷的流動，將在清潔的過程中產(chǎn)生的氣體排出。

等離子體電極間隙調(diào)整裝置如圖2 所示包括兩個間隙螺母，四個平衡螺釘。2個間隙螺釘調(diào)節(jié)等離子體電極間隙；調(diào)節(jié)4個平衡螺釘調(diào)節(jié)等離子體電極的平衡。

如圖3 所示，等離子體電極4由表面具有稀土涂層的剛玉管制成，等離子體電極4電極包括表面具有稀土涂層的剛玉電極管、內(nèi)冷進出氣口；等離子體電源發(fā)生器通過等離子體變壓器與等離子體電極4相連 。排氣風機也同時和等離子體電極內(nèi)冷出氣口通過氣管相連；對等離子體電極4進行冷卻。

等離子體電極4固定在兩端的電極固定板2上，電極固定板2固定于玻璃清洗裝置的外殼上。

將內(nèi)冷氣管、外冷波紋管連接到排氣風機上，將等離子體電源發(fā)生器通、等離子體變壓器、等離子體電極4用適當?shù)碾姎膺B接線相連，通過調(diào)節(jié)2個間隙螺釘調(diào)節(jié)適當?shù)姆烹婇g隙。準備工作完成后，開啟等離子電源發(fā)生器以及排氣風機，產(chǎn)生穩(wěn)定的低溫等離子體來處理玻璃。

在上述實施的過程中，風機通過管道與金屬方形支架1的散熱排風口連接，對清洗裝置進行散熱，同時該風機也與兩只電極的內(nèi)冷進出氣口相連，整個裝置中可以用一臺風機就能滿足需要了。

雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上，但它們并不是用來限定本發(fā)明的，任何熟習此技藝者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，自當可作各種變化或潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍應當以本申請的權利要求保護范圍所界定的為準。