技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種基片清洗籃，包括籃體，所述籃體包括鏤空清洗槽和位于所述籃體的底面且與所述鏤空清洗槽相交的橫梁，所述橫梁向下凸出形成所述籃體的基座。包括一個(gè)或一個(gè)以上所述籃體，所述籃體的側(cè)面設(shè)置有連接部件，所有所述籃體的底面位于同一平面，所述籃體與所述籃體之間通過(guò)所述連接部件牢固連接。所述鏤空清洗槽呈若干“S”形或反“S”形依次首尾連接的形狀、或是呈同心圓或同心口字的形狀、或是呈螺旋線(xiàn)漸開(kāi)或回字漸開(kāi)的形狀。所述鏤空清洗槽的側(cè)壁相對(duì)籃體底面傾斜設(shè)置。本基片清洗籃清洗效果突出、能減少對(duì)基片污染、有益清洗后基片干燥、可進(jìn)行批量清洗、可清洗各長(zhǎng)度規(guī)格的剛性或柔性基片及對(duì)某一側(cè)面有清潔度要求的基片。

技術(shù)研發(fā)人員：謝國(guó)華;易建鵬;薛欽
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢大學(xué)
文檔號(hào)碼：201621173497
技術(shù)研發(fā)日：2016.11.02
技術(shù)公布日：2017.05.24